VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील एक आघाडीचा सॉलिड SiC एचिंग फोकसिंग रिंग निर्माता आणि नवोदित आहे. आम्ही अनेक वर्षांपासून SiC मटेरियलमध्ये विशेषीकृत आहोत. उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता, उच्च यांत्रिक शक्ती आणि प्लाझ्माचा प्रतिकार यामुळे सॉलिड SiC ची फोकसिंग रिंग सामग्री म्हणून निवड केली जाते. erosion.आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.
तुम्ही आमच्या कारखान्यातून सॉलिड SiC एचिंग फोकसिंग रिंग खरेदी करण्यासाठी निश्चिंत राहू शकता. VeTek सेमीकंडक्टरचे क्रांतिकारी तंत्रज्ञान सॉलिड SiC एचिंग फोकसिंग रिंगचे उत्पादन करण्यास सक्षम करते, रासायनिक वाफ जमा करण्याच्या प्रक्रियेद्वारे तयार केलेली अति-उच्च शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री.
सॉलिड SiC एचिंग फोकसिंग रिंग सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत, विशेषतः प्लाझ्मा एचिंग सिस्टममध्ये वापरली जाते. SiC फोकस रिंग हा एक महत्त्वाचा घटक आहे जो सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) वेफर्सचे अचूक आणि नियंत्रित नक्षीकाम साध्य करण्यात मदत करतो.
● प्लाझ्मा फोकस करणे: सॉलिड SiC एचिंग फोकसिंग रिंग वेफरभोवती प्लाझमाला आकार देण्यास आणि लक्ष केंद्रित करण्यास मदत करते, हे सुनिश्चित करते की कोरीव प्रक्रिया एकसमान आणि कार्यक्षमतेने होते. हे प्लाझ्माला इच्छित क्षेत्रापर्यंत मर्यादित ठेवण्यास मदत करते, भटक्या कोरीव काम किंवा आसपासच्या प्रदेशांना होणारे नुकसान टाळते.
● चेंबरच्या भिंतींचे संरक्षण: फोकसिंग रिंग प्लाझ्मा आणि चेंबरच्या भिंतींमधील अडथळा म्हणून काम करते, थेट संपर्क आणि संभाव्य नुकसान टाळते. SiC प्लाझ्मा इरोशनसाठी अत्यंत प्रतिरोधक आहे आणि चेंबरच्या भिंतींसाठी उत्कृष्ट संरक्षण प्रदान करते.
● Tतापमान नियंत्रण: sic फोकस रिंग नक्षी प्रक्रियेदरम्यान संपूर्ण वेफरमध्ये समान तापमान वितरण राखण्यात मदत करते. हे उष्णता नष्ट करण्यास मदत करते आणि स्थानिकीकृत ओव्हरहाटिंग किंवा थर्मल ग्रेडियंट्स प्रतिबंधित करते जे एचिंग परिणामांवर परिणाम करू शकतात.
उत्कृष्ट थर्मल आणि रासायनिक स्थिरता, उच्च यांत्रिक शक्ती आणि प्लाझ्मा इरोशनच्या प्रतिकारामुळे फोकसिंग रिंग्ससाठी सॉलिड SiC निवडले जाते. हे गुणधर्म SiC ला प्लाझ्मा एचिंग सिस्टममधील कठोर आणि मागणी असलेल्या परिस्थितीसाठी योग्य सामग्री बनवतात.
हे लक्षात घेण्यासारखे आहे की फोकसिंग रिंगची रचना आणि वैशिष्ट्ये विशिष्ट प्लाझ्मा एचिंग सिस्टम आणि प्रक्रियेच्या आवश्यकतांवर अवलंबून बदलू शकतात. VeTek सेमीकंडक्टर फोकसिंग रिंग्सचा आकार, परिमाणे आणि पृष्ठभागाची वैशिष्ट्ये इष्टतम नक्षीची कार्यक्षमता आणि दीर्घायुष्य सुनिश्चित करण्यासाठी अनुकूल करते. सॉलिड SiC मोठ्या प्रमाणावर वेफर कॅरिअर्स, ससेप्टर्स, डमी वेफर, गाइड रिंग्स, एचिंग प्रक्रियेचे भाग, CVD प्रक्रिया इत्यादींसाठी वापरले जाते.
सॉलिड SiC चे भौतिक गुणधर्म | |||
घनता | 3.21 | g/cm3 | |
विद्युत प्रतिरोधकता | 102 | Ω/सेमी | |
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ | 590 | एमपीए | (6000kgf/cm2) |
यंगचे मॉड्यूलस | 450 | GPa | (6000kgf/mm2) |
विकर्स कडकपणा | 26 | GPa | (2650kgf/mm2) |
C.T.E.(RT-1000℃) | 4.0 | x10-6/के | |
थर्मल चालकता (RT) | 250 | W/mK |