टँटलम कार्बाइड कोटिंग म्हणजे काय?

टँटलम कार्बाइड (TaC) सिरॅमिक मटेरियलचा वितळण्याचा बिंदू 3880 ℃ पर्यंत असतो आणि उच्च वितळ बिंदू आणि चांगली रासायनिक स्थिरता असलेले संयुग आहे. हे उच्च तापमान वातावरणात स्थिर कामगिरी राखू शकते. याव्यतिरिक्त, त्यात उच्च तापमान प्रतिरोधक क्षमता, रासायनिक गंज प्रतिरोधक क्षमता आणि कार्बन सामग्रीसह चांगली रासायनिक आणि यांत्रिक सुसंगतता देखील आहे, ज्यामुळे ते एक आदर्श ग्रेफाइट सब्सट्रेट संरक्षणात्मक कोटिंग सामग्री बनते. 

टँटलम कार्बाइड कोटिंग ग्रेफाइट घटकांना गरम अमोनिया, हायड्रोजन, सिलिकॉन वाष्प आणि वितळलेल्या धातूच्या प्रभावापासून प्रभावीपणे संरक्षित करू शकते, कठोर वापर वातावरणात, ग्रेफाइट घटकांचे सेवा आयुष्य लक्षणीय वाढवते आणि ग्रेफाइटमधील अशुद्धतेचे स्थलांतर रोखते, गुणवत्ता सुनिश्चित करते.एपिटॅक्सियलआणिक्रिस्टल वाढ.

आकृती 1. सामान्य टँटलम कार्बाइड लेपित घटक

ग्रेफाइट पृष्ठभागांवर TaC कोटिंग्ज तयार करण्यासाठी रासायनिक वाष्प जमा करणे (CVD) ही सर्वात परिपक्व आणि इष्टतम पद्धत आहे.

TaCl5 आणि Propylene यांचा अनुक्रमे कार्बन आणि टँटलम स्रोत म्हणून वापर करून आणि वाहक वायू म्हणून आर्गॉनचा वापर करून, उच्च-तापमानाची बाष्पयुक्त TaCl5 वाष्प अभिक्रिया कक्षेत आणले जाते. लक्ष्य तापमान आणि दाबावर, ग्रेफाइटच्या पृष्ठभागावर पूर्ववर्ती सामग्री वाष्प शोषून घेते, ज्यामध्ये कार्बन आणि टँटलम स्त्रोतांचे विघटन आणि संयोजन यासारख्या जटिल रासायनिक अभिक्रियांच्या मालिकेतून तसेच प्रसार आणि विच्छेदन यांसारख्या पृष्ठभागाच्या प्रतिक्रियांची मालिका होते. पूर्ववर्ती उप-उत्पादने. शेवटी, ग्रेफाइटच्या पृष्ठभागावर एक दाट संरक्षणात्मक थर तयार होतो, जो अत्यंत पर्यावरणीय परिस्थितीत ग्रेफाइटचे स्थिर अस्तित्वापासून संरक्षण करतो आणि ग्रेफाइट सामग्रीच्या अनुप्रयोगाच्या परिस्थितीचा लक्षणीय विस्तार करतो.

आकृती 2.रासायनिक वाष्प जमा (CVD) प्रक्रिया तत्त्व

VeTek सेमीकंडक्टरप्रामुख्याने टँटलम कार्बाइड उत्पादने प्रदान करतात: TaC मार्गदर्शक रिंग, TaC कोटेड तीन पाकळ्या रिंग, TaC कोटिंग क्रूसिबल, TaC कोटिंग सच्छिद्र ग्रेफाइटचा मोठ्या प्रमाणावर वापर केला जातो SiC क्रिस्टल वाढ प्रक्रिया; TaC कोटेड सह सच्छिद्र ग्रेफाइट, TaC कोटेड मार्गदर्शक रिंग, TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर वाहक, TaC कोटिंग ससेप्टर्स, प्लॅनेटरी ससेप्टर, TaC कोटेड सॅटेलाइट ससेप्टर आणि ही टँटलम कार्बाइड कोटिंग उत्पादने मोठ्या प्रमाणात वापरली जातातSiC epitaxy प्रक्रियाआणिSiC सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ प्रक्रिया.

आकृती 3.VeTek सेमीकंडक्टरची सर्वाधिक लोकप्रिय टँटलम कार्बाइड कोटिंग उत्पादने