LPE अणुभट्टी कारखान्यासाठी 8 इंच हाफमून भाग

टँटलम कार्बाइड लेपित प्लॅनेटरी रोटेशन डिस्क उत्पादक

LPE PE2061S पुरवठादारासाठी SiC कोटेड बॅरल ससेप्टर

टँटलम कार्बाइड कोटिंग

VeTek सेमीकंडक्टर ही सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी टँटलम कार्बाइड कोटिंग मटेरियलची आघाडीची उत्पादक आहे. आमच्या मुख्य उत्पादन ऑफरिंगमध्ये CVD टँटलम कार्बाइड कोटिंग पार्ट, SiC क्रिस्टल ग्रोथ किंवा सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी प्रोसेससाठी सिंटर्ड TaC कोटिंग पार्ट यांचा समावेश आहे. ISO9001 उत्तीर्ण, VeTek सेमीकंडक्टरचे गुणवत्तेवर चांगले नियंत्रण आहे. VeTek सेमीकंडक्टर चालू संशोधन आणि पुनरावृत्ती तंत्रज्ञानाच्या विकासाद्वारे टँटलम कार्बाइड कोटिंग उद्योगात नाविन्यपूर्ण बनण्यासाठी समर्पित आहे.

मुख्य उत्पादने म्हणजे टँटलम कार्बाइड कोटिंग डिफेक्टर रिंग, TaC कोटेड डायव्हर्जन रिंग, TaC कोटेड हाफमून पार्ट्स, टँटलम कार्बाइड कोटेड प्लॅनेटरी रोटेशन डिस्क (Aixtron G10), TaC कोटेड क्रूसिबल; टीएसी लेपित रिंग; TaC लेपित सच्छिद्र ग्रेफाइट; टँटलम कार्बाइड कोटिंग ग्रेफाइट ससेप्टर; TaC लेपित मार्गदर्शक रिंग; TaC टँटलम कार्बाइड लेपित प्लेट; TaC लेपित वेफर ससेप्टर; टीएसी कोटिंग रिंग; टीएसी कोटिंग ग्रेफाइट कव्हर; TaC कोटेड चंक इ., शुद्धता 5ppm पेक्षा कमी आहे, ग्राहकांच्या गरजा पूर्ण करू शकते.

TaC कोटिंग ग्रेफाइट उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइट सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर टँटलम कार्बाइडच्या बारीक थराने प्रोप्रायटरी केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (CVD) प्रक्रियेद्वारे कोटिंग करून तयार केले जाते. फायदा खालील चित्रात दर्शविला आहे:

टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंगचा 3880°C पर्यंत उच्च वितळण्याचा बिंदू, उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ती, कडकपणा आणि थर्मल धक्क्यांचा प्रतिकार यामुळे लक्ष वेधून घेतले आहे, ज्यामुळे ते उच्च तापमान आवश्यकतांसह मिश्रित सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी प्रक्रियेसाठी एक आकर्षक पर्याय बनले आहे. जसे की Aixtron MOCVD सिस्टीम आणि LPE SiC epitaxy process. PVT पद्धती SiC क्रिस्टल ग्रोथ प्रक्रियेमध्ये देखील याचा विस्तृत उपयोग आहे.

VeTek सेमीकंडक्टर टँटलम कार्बाइड कोटिंगचे पॅरामीटर:

TaC कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म
घनता	14.3 (g/cm³)
विशिष्ट उत्सर्जन	0.3
थर्मल विस्तार गुणांक	६.३ १०-६/के
कडकपणा (HK)	2000 HK
प्रतिकार	1×10-5 Ohm*cm
थर्मल स्थिरता	<2500℃
ग्रेफाइटचा आकार बदलतो	-10~-20um
कोटिंग जाडी	≥20um ठराविक मूल्य (35um±10um)

TaC कोटिंग EDX डेटा

TaC कोटिंग क्रिस्टल स्ट्रक्चर डेटा

घटक	अणु टक्के
	पं. १	पं. 2	पं. 3	सरासरी
सी के	52.10	57.41	52.37	53.96
टा एम	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC कोटिंग चक TaC कोटिंग प्लॅनेटरी डिस्क TaC लेपित प्लेट TaC कोटिंग रोटेशन प्लेट TaC कोटिंग ससेप्टर CVD TaC कोटिंग कव्हर CVD TaC कोटिंग रिंग TaC कोटिंग प्लेट

सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग

VeTek सेमीकंडक्टर अल्ट्रा प्युअर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादनांच्या निर्मितीमध्ये माहिर आहे, हे कोटिंग्स शुद्ध ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स आणि रिफ्रॅक्टरी मेटल घटकांवर लागू करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत.

आमचे उच्च शुद्धता कोटिंग्स प्रामुख्याने सेमीकंडक्टर आणि इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगांमध्ये वापरण्यासाठी लक्ष्यित आहेत. ते वेफर कॅरिअर्स, ससेप्टर्स आणि हीटिंग एलिमेंट्ससाठी संरक्षणात्मक स्तर म्हणून काम करतात, MOCVD आणि EPI सारख्या प्रक्रियांमध्ये उद्भवलेल्या संक्षारक आणि प्रतिक्रियाशील वातावरणापासून त्यांचे संरक्षण करतात. या प्रक्रिया वेफर प्रक्रिया आणि उपकरण निर्मितीसाठी अविभाज्य आहेत. याव्यतिरिक्त, आमचे कोटिंग्स व्हॅक्यूम फर्नेस आणि सॅम्पल हीटिंगमधील अनुप्रयोगांसाठी योग्य आहेत, जेथे उच्च व्हॅक्यूम, प्रतिक्रियाशील आणि ऑक्सिजन वातावरणाचा सामना करावा लागतो.

VeTek Semiconductor वर, आम्ही आमच्या प्रगत मशीन शॉप क्षमतेसह सर्वसमावेशक उपाय ऑफर करतो. हे आम्हाला ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स किंवा रीफ्रॅक्टरी धातू वापरून बेस घटक तयार करण्यास आणि SiC किंवा TaC सिरेमिक कोटिंग्ज घरामध्ये लागू करण्यास सक्षम करते. विविध गरजा पूर्ण करण्यासाठी लवचिकता सुनिश्चित करून, आम्ही ग्राहकांनी पुरवलेल्या भागांसाठी कोटिंग सेवा देखील प्रदान करतो.

आमची सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादने Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD प्रणाली, RTP/RTA प्रक्रिया, एचिंग प्रक्रिया, ICP/PSS एचिंग प्रक्रिया, निळ्या आणि हिरव्या एलईडी, UV LED आणि खोल-UV सह विविध LED प्रकारांच्या प्रक्रियेत मोठ्या प्रमाणावर वापरल्या जातात. LED इ., जे LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI इत्यादी उपकरणांशी जुळवून घेतले जाते.

अणुभट्टीचे भाग आम्ही करू शकतो:

सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगचे अनेक अद्वितीय फायदे:

VeTek सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग पॅरामीटर:

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म
मालमत्ता	ठराविक मूल्य
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड
घनता	3.21 g/cm³
कडकपणा	2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड)
धान्य आकार	2~10μm
रासायनिक शुद्धता	99.99995%
उष्णता क्षमता	640 J·kg-1·K-1
उदात्तीकरण तापमान	2700℃
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	415 MPa RT 4-पॉइंट
तरुणांचे मॉड्यूलस	430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
औष्मिक प्रवाहकता	300W·m-1·K-1
थर्मल विस्तार (CTE)	4.5×10-6K-1

वैशिष्ट्यीकृत उत्पादने

आमच्याबद्दल

VeTek semiconductor Technology Co., LTD, 2016 मध्ये स्थापित, अर्धसंवाहक उद्योगासाठी प्रगत कोटिंग सामग्रीचा अग्रगण्य प्रदाता आहे. आमचे संस्थापक, चायनीज ऍकॅडमी ऑफ सायन्सेस' इन्स्टिट्यूट ऑफ मटेरियलचे माजी तज्ज्ञ, यांनी उद्योगासाठी अत्याधुनिक उपाय विकसित करण्यावर लक्ष केंद्रित करून कंपनीची स्थापना केली.

आमच्या मुख्य उत्पादन ऑफरमध्ये समाविष्ट आहेCVD सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग्ज, टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्ज, मोठ्या प्रमाणात SiC, SiC पावडर आणि उच्च-शुद्धता SiC साहित्य. मुख्य उत्पादने म्हणजे SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर, प्रीहीट रिंग, TaC कोटेड डायव्हर्शन रिंग, हाफमून पार्ट इ., शुद्धता 5ppm पेक्षा कमी आहे, ग्राहकांच्या गरजा पूर्ण करू शकतात.

पुढे वाचा