चीन ऑक्सिडेशन आणि डिफ्यूजन फर्नेस उत्पादक, पुरवठादार, कारखाना

ऑक्सिडेशन आणि डिफ्यूजन फर्नेसेसचा वापर सेमीकंडक्टर उपकरणे, स्वतंत्र उपकरणे, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणे, पॉवर इलेक्ट्रॉनिक उपकरणे, सौर पेशी आणि मोठ्या प्रमाणात एकात्मिक सर्किट निर्मिती यांसारख्या विविध क्षेत्रात केला जातो. ते प्रसरण, ऑक्सिडेशन, ॲनिलिंग, मिश्र धातु आणि वेफर्सचे सिंटरिंग यासह प्रक्रियांसाठी वापरले जातात.

VeTek सेमीकंडक्टर ही ऑक्सिडेशन आणि डिफ्यूजन फर्नेसमध्ये उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट, सिलिकॉन कार्बाइड आणि क्वार्ट्ज घटकांच्या उत्पादनात विशेष असणारी आघाडीची उत्पादक आहे. आम्ही सेमीकंडक्टर आणि फोटोव्होल्टेइक उद्योगांसाठी उच्च-गुणवत्तेचे फर्नेस घटक प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहोत आणि CVD-SiC, CVD-TaC, पायरोकार्बन इत्यादी सारख्या पृष्ठभागाच्या कोटिंग तंत्रज्ञानामध्ये आघाडीवर आहोत.

VeTek सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड घटकांचे फायदे:

उच्च तापमान प्रतिकार (1600℃ पर्यंत)

उत्कृष्ट थर्मल चालकता आणि थर्मल स्थिरता

चांगला रासायनिक गंज प्रतिकार

थर्मल विस्तार कमी गुणांक

उच्च शक्ती आणि कडकपणा

दीर्घ सेवा जीवन

ऑक्सिडेशन आणि डिफ्यूजन फर्नेसमध्ये, उच्च तापमान आणि संक्षारक वायूंच्या उपस्थितीमुळे, अनेक घटकांना उच्च-तापमान आणि गंज-प्रतिरोधक सामग्री वापरण्याची आवश्यकता असते, त्यापैकी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) ही सामान्यतः वापरली जाणारी निवड आहे. ऑक्सिडेशन फर्नेस आणि डिफ्यूजन फर्नेसमध्ये आढळणारे सामान्य सिलिकॉन कार्बाइड घटक खालीलप्रमाणे आहेत:

वेफर बोट

सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट हे सिलिकॉन वेफर्स वाहून नेण्यासाठी वापरले जाणारे कंटेनर आहे, जे उच्च तापमानाला तोंड देऊ शकते आणि सिलिकॉन वेफर्सवर प्रतिक्रिया देत नाही.

फर्नेस ट्यूब

फर्नेस ट्यूब हा डिफ्यूजन फर्नेसचा मुख्य घटक आहे, ज्याचा वापर सिलिकॉन वेफर्स सामावून घेण्यासाठी आणि प्रतिक्रिया वातावरण नियंत्रित करण्यासाठी केला जातो. सिलिकॉन कार्बाइड फर्नेस ट्यूब्समध्ये उत्कृष्ट उच्च-तापमान आणि गंज प्रतिरोधक कार्यक्षमता असते.

बाफली प्लेट

भट्टीच्या आत वायु प्रवाह आणि तापमान वितरणाचे नियमन करण्यासाठी वापरले जाते

थर्मोकूपल संरक्षण ट्यूब

संक्षारक वायूंच्या थेट संपर्कापासून तापमान मोजणाऱ्या थर्मोकपल्सचे संरक्षण करण्यासाठी वापरले जाते.

कॅन्टिलिव्हर पॅडल

सिलिकॉन कार्बाइड कॅन्टीलिव्हर पॅडल्स उच्च तापमान आणि गंजांना प्रतिरोधक असतात आणि सिलिकॉन बोट्स किंवा सिलिकॉन वेफर्स वाहून नेणाऱ्या क्वार्ट्ज बोट्स डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूबमध्ये नेण्यासाठी वापरले जातात.

गॅस इंजेक्टर

भट्टीमध्ये प्रतिक्रिया वायूचा परिचय करण्यासाठी वापरला जातो, तो उच्च तापमान आणि गंजला प्रतिरोधक असणे आवश्यक आहे.

बोट वाहक

सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट वाहक सिलिकॉन वेफर्सचे निराकरण आणि समर्थन करण्यासाठी वापरले जाते, ज्याचे फायदे जसे की उच्च शक्ती, गंज प्रतिकार आणि चांगली संरचनात्मक स्थिरता आहे.

भट्टीचा दरवाजा

सिलिकॉन कार्बाइड लेप किंवा घटक भट्टीच्या दरवाजाच्या आतील बाजूस देखील वापरले जाऊ शकतात.

हीटिंग एलिमेंट

सिलिकॉन कार्बाइड हीटिंग एलिमेंट्स उच्च तापमानासाठी, उच्च शक्तीसाठी योग्य आहेत आणि त्वरीत तापमान 1000℃ पर्यंत वाढवू शकतात.

SiC लाइनर

भट्टीच्या नळ्यांच्या आतील भिंतीचे संरक्षण करण्यासाठी वापरल्या जाणाऱ्या, ते उष्णतेच्या ऊर्जेचे नुकसान कमी करण्यास आणि उच्च तापमान आणि उच्च दाब यांसारख्या कठोर वातावरणाचा सामना करण्यास मदत करू शकते.