क्षैतिज SiC वेफर वाहक

VeTek सेमीकंडक्टरचेक्षैतिज SiC वेफर वाहक/बोटमध्ये अत्यंत उच्च वितळ बिंदू आहे (सुमारे 2700°C), जे सक्षम करतेक्षैतिज SiC वेफर वाहक/बोट उच्च तापमानाच्या वातावरणात विकृत किंवा खराब न होता स्थिरपणे काम करते. सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत हे वैशिष्ट्य विशेषतः महत्वाचे आहे, विशेषत: उच्च-तापमान ॲनिलिंग किंवा रासायनिक वाष्प संचय (CVD) सारख्या प्रक्रियांमध्ये.

दक्षैतिज SiC वेफर वाहक/बोट विशेषत: वेफर वाहक वाहून नेण्याच्या प्रक्रियेत खालील भूमिका बजावते:

सिलिकॉन वेफर वाहून नेणे आणि आधार: क्षैतिज SiC वेफर बोट मुख्यतः सेमीकंडक्टर उत्पादनादरम्यान सिलिकॉन वेफर्स वाहून नेण्यासाठी आणि समर्थन देण्यासाठी वापरली जाते. संपूर्ण प्रक्रिया प्रक्रियेदरम्यान ते चांगल्या स्थितीत आणि स्थिरतेमध्ये राहतील याची खात्री करण्यासाठी ते अनेक सिलिकॉन वेफर्स एकत्र व्यवस्थितपणे व्यवस्थित करू शकतात.

एकसमान हीटिंग आणि कूलिंग: SiC च्या उच्च थर्मल चालकतेमुळे, वेफर बोट सर्व सिलिकॉन वेफर्समध्ये समान रीतीने उष्णता वितरीत करू शकते. हे उच्च-तापमान प्रक्रियेदरम्यान सिलिकॉन वेफर्सचे एकसमान गरम किंवा थंड होण्यास मदत करते, प्रक्रिया प्रक्रियेची सुसंगतता आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करते.

दूषित होण्यास प्रतिबंध करा: SiC ची रासायनिक स्थिरता उच्च-तापमान आणि संक्षारक वायू वातावरणात चांगली कामगिरी करण्यास सक्षम करते, ज्यामुळे सिलिकॉन वेफर्सचा संभाव्य दूषित पदार्थ किंवा अभिक्रियाकांचा संपर्क कमी होतो, सिलिकॉन वेफर्सची शुद्धता आणि गुणवत्ता सुनिश्चित होते.

खरं तर, क्षैतिज SiC वेफर बोट त्याच्या अद्वितीय उत्पादन वैशिष्ट्यांमुळे वरील भूमिका बजावू शकते:

उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता: SiC सामग्रीमध्ये विविध रासायनिक माध्यमांना उत्कृष्ट गंज प्रतिरोधक क्षमता असते. संक्षारक वायू किंवा द्रवपदार्थांवर प्रक्रिया करण्याच्या प्रक्रियेत, SiC वेफर बोट रासायनिक गंजांना प्रभावीपणे प्रतिकार करू शकते आणि सिलिकॉन वेफर्सचे दूषित किंवा नुकसानापासून संरक्षण करू शकते.

उच्च थर्मल चालकता: SiC ची उच्च थर्मल चालकता वाहक प्रक्रियेत समान रीतीने उष्णता वितरित करण्यास आणि उष्णता संचय कमी करण्यास मदत करते. हे अचूक प्रक्रियेदरम्यान तापमान नियंत्रणाची अचूकता सुधारू शकते आणि सिलिकॉन वेफर्स एकसमान गरम करणे किंवा थंड करणे सुनिश्चित करू शकते.

कमी थर्मल विस्तार गुणांक: SiC सामग्रीचा कमी थर्मल विस्तार गुणांक म्हणजे तापमान बदलांदरम्यान SiC वेफर बोटचा मितीय बदल खूपच लहान असतो. हे उच्च-तापमान प्रक्रियेदरम्यान मितीय स्थिरता राखण्यास मदत करते आणि थर्मल विस्तारामुळे सिलिकॉन वेफर्सचे विकृत किंवा स्थितीत विस्थापन प्रतिबंधित करते.

क्षैतिज SiC वेफर कॅरियरचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

VeTek सेमीकंडक्टर उत्पादन दुकान:

सेमीकंडक्टर चिप एपिटॅक्सी उद्योग साखळीचे विहंगावलोकन: