VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील क्षैतिज भट्टीसाठी सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोटसाठी एक व्यावसायिक निर्माता आणि पुरवठादार आहे, ज्याला R&D आणि उत्पादनातील अनेक वर्षांचा अनुभव आहे, गुणवत्ता चांगल्या प्रकारे नियंत्रित करू शकते आणि स्पर्धात्मक किंमत देऊ शकते. तुम्ही आमच्याकडून आडव्या भट्टीसाठी सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट खरेदी करण्यासाठी निश्चिंत राहू शकता.
क्षैतिज भट्टीसाठी उच्च दर्जाची सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट चीन उत्पादक VeTek सेमीकंडक्टरने ऑफर केली आहे. क्षैतिज भट्टीसाठी सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट खरेदी करा जी कमी किंमतीत थेट कारखान्यातून उच्च दर्जाची आहे. आडव्या भट्टीसाठी सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट भट्टीच्या नळ्यांमध्ये उच्च-तापमान उपचारांदरम्यान वेफर्स लोड करण्यासाठी आणि स्थानांतरित करण्यासाठी वापरली जाते. उच्च तापमान प्रतिरोध, रासायनिक गंज प्रतिकार आणि थर्मल स्थिरता यासारख्या सिलिकॉन कार्बाइड सामग्रीच्या उत्कृष्ट गुणधर्मांमुळे, ते प्रसार, ऑक्सिडेशन, सीव्हीडी आणि ॲनिलिंग सारख्या विविध उष्णता उपचार प्रक्रियेमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात.
1. उच्च कडकपणा आणि पोशाख प्रतिरोध: सिलिकॉन कार्बाइडची कडकपणा हिऱ्यानंतर दुसऱ्या क्रमांकावर आहे, ज्यामुळे तो अत्यंत पोशाख-प्रतिरोधक बनतो. हे सिलिकॉन कार्बाइड बोटींना वारंवार यांत्रिक प्रभाव आणि घर्षण सहन करण्यास अनुमती देते, त्यांचे सेवा आयुष्य वाढवते.
2. उच्च तापमान प्रतिरोध: सिलिकॉन कार्बाइडचा वितळण्याचा बिंदू 2730°C आहे, ज्यामुळे सिलिकॉन कार्बाइड बोट्स उच्च-तापमान वातावरण आणि उच्च-तापमान ऑक्सिडेशन आणि प्रसार यांसारख्या विविध सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियांसाठी योग्य बनतात.
3. कमी थर्मल विस्तार गुणांक: सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये कमी थर्मल विस्तार गुणांक असतो, जो उच्च तापमानात मितीय स्थिरता राखण्यास मदत करतो, बोटीचे विकृतीकरण प्रतिबंधित करतो आणि वेफर प्रक्रियेच्या अचूकतेवर परिणाम करतो.
4. चांगली रासायनिक स्थिरता: सिलिकॉन कार्बाइड बहुतेक रसायनांना प्रतिरोधक आहे आणि सामान्य ऍसिड आणि अल्कधर्मी द्रावणांवर प्रतिक्रिया देत नाही, ज्यामुळे वेफर्सची सुरक्षा आणि स्वच्छता सुनिश्चित होते.
आम्ही वेगवेगळ्या प्रकारच्या सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट जसे की क्षैतिज वेफर बोट, उभ्या वेफर बोट आणि इतर कोणत्याही सानुकूलित बोटी तयार करू शकतो.
रीक्रिस्टलाइज्ड सिलिकॉन कार्बाइडचे भौतिक गुणधर्म | |
मालमत्ता | ठराविक मूल्य |
कार्यरत तापमान (°C) | 1600°C (ऑक्सिजनसह), 1700°C (वातावरण कमी करणारे) |
SiC सामग्री | > 99.96% |
मोफत Si सामग्री | < ०.१% |
मोठ्या प्रमाणात घनता | 2.60-2.70 ग्रॅम/सेमी3 |
उघड सच्छिद्रता | < 16% |
संक्षेप शक्ती | > 600 MPa |
थंड झुकण्याची ताकद | 80-90 MPa (20°C) |
गरम झुकण्याची ताकद | 90-100 MPa (1400°C) |
थर्मल विस्तार @1500°C | 4.70 10-6/°C |
थर्मल चालकता @1200°C | २३ W/m•K |
लवचिक मापांक | 240 GPa |
थर्मल शॉक प्रतिकार | अत्यंत चांगले |
क्षैतिज भट्टीसाठी सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट अर्धसंवाहक आणि फोटोव्होल्टेइक उद्योगांमध्ये विस्तृत अनुप्रयोग शोधते:
वेफर साफ करणे आणि कोरीव काम
प्रसार आणि ऑक्सिडेशन
इलेक्ट्रोप्लेटिंग आणि एचिंग
केमिकल मेकॅनिकल पॉलिशिंग (CMP)
उष्णता उपचार
वेफर ट्रान्सफर आणि स्टोरेज