SiC लेपित सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट

VeTek सेमीकंडक्टर हे SiC कोटेड सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोटसाठी चीनमधील व्यावसायिक निर्माता आणि पुरवठादार आहे, ज्याला R&D आणि उत्पादनातील अनेक वर्षांचा अनुभव आहे, तो गुणवत्तेवर चांगले नियंत्रण ठेवू शकतो आणि स्पर्धात्मक किंमत देऊ शकतो. आमच्या कारखान्याला भेट दिल्याबद्दल स्वागत आहे आणि सहकार्यावर पुढील चर्चा करा.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

VeTek सेमीकंडक्टर हा चीन निर्माता आणि पुरवठादार आहे जो मुख्यतः SiC कोटेड सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट अनेक वर्षांच्या अनुभवासह तयार करतो. तुमच्याशी व्यावसायिक संबंध निर्माण करण्याची आशा आहे. SiC कोटेड सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट सेमीकंडक्टर डिफ्यूजन फर्नेसमध्ये आयन इम्प्लांटेशन, डिफ्यूजन आणि ॲनिलिंग अशा विविध उच्च-तापमान प्रक्रियांसाठी वेफर्स वाहून नेण्यासाठी वापरली जाते. हे वेफर्ससाठी एक स्थिर वातावरण प्रदान करू शकते, प्रक्रिया दरम्यान तापमान एकसमानता आणि सुसंगतता सुनिश्चित करते.

SiC कोटेड सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट्समध्ये उच्च उष्णता प्रतिरोधकता आणि रासायनिक स्थिरता असते, ज्यामुळे त्यांना उच्च तापमानात काम करता येते आणि दीर्घ आयुष्य मिळते. याव्यतिरिक्त, त्यांच्याकडे सामग्रीचे बाष्पीभवन दर आणि गॅस शोषण दर कमी आहेत, ज्यामुळे वेफर प्रक्रियेवरील अशुद्धतेचा प्रभाव कमी होण्यास मदत होते.

आम्ही वेगवेगळ्या प्रकारच्या सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट जसे की क्षैतिज वेफर बोट, उभ्या वेफर बोट आणि इतर कोणत्याही सानुकूलित बोटी तयार करू शकतो.

आमच्या उच्च शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइडचे फायदे:

1.उच्च-तापमान स्थिरता

2.रासायनिक जडत्व

3.कमी अशुद्धता सामग्री

4. थर्मल चालकता

रीक्रिस्टलाइज्ड सिलिकॉन कार्बाइडचे भौतिक गुणधर्म

रीक्रिस्टलाइज्ड सिलिकॉन कार्बाइडचे भौतिक गुणधर्म
मालमत्ता	ठराविक मूल्य
कार्यरत तापमान (°C)	1600°C (ऑक्सिजनसह), 1700°C (वातावरण कमी करणारे)
SiC सामग्री	> 99.96%
मोफत Si सामग्री	< ०.१%
मोठ्या प्रमाणात घनता	2.60-2.70 ग्रॅम/सेमी3
उघड सच्छिद्रता	< 16%
संक्षेप शक्ती	> 600 MPa
थंड झुकण्याची ताकद	80-90 MPa (20°C)
गरम झुकण्याची ताकद	90-100 MPa (1400°C)
थर्मल विस्तार @1500°C	4.70 10-6/°C
थर्मल चालकता @1200°C	२३ W/m•K
लवचिक मापांक	240 GPa
थर्मल शॉक प्रतिकार	अत्यंत चांगले