चीन सिलिकॉन नायट्राइड उत्पादक, पुरवठादार, कारखाना

VeTek सेमीकंडक्टर सिलिकॉन नायट्राइडच्या उत्पादनावर लक्ष केंद्रित करते आणि वरिष्ठ तज्ञ आणि उच्च तांत्रिक प्रतिभांनी बनलेला एक संशोधन आणि विकास संघ आहे. सिलिकॉन नायट्राइड सिरॅमिक्समध्ये कडकपणा, उष्णता प्रतिरोधकता, सामान्य सिरॅमिक सामग्रीचा पोशाख प्रतिरोध आणि गंज प्रतिरोधक फायदे आहेत आणि चांगले थर्मल शॉक प्रतिरोध, उच्च तापमान रेंगाळणे प्रतिरोध, चांगले स्व-वंगण आणि चांगली रासायनिक स्थिरता हे फायदे आहेत आणि ते मोठ्या प्रमाणावर आहेत. नवीन ऊर्जा, रासायनिक उद्योग, एरोस्पेस आणि सेमीकंडक्टर क्षेत्रात वापरले जाते.

VeTek सेमीकंडक्टरच्या सिलिकॉन नायट्राइड सामग्रीचे खालील प्रमुख फायदे आहेत:

1. उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता

सिलिकॉन नायट्राइड सिरॅमिक्समध्ये उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता असते आणि ते विविध प्रकारचे मजबूत ऍसिड, अल्कली आणि संक्षारक वायूंचा सामना करू शकतात. सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत अनेकदा संक्षारक रसायनांचा सामना करावा लागतो, सिलिकॉन नायट्राइड सिरॅमिक्स दीर्घकालीन स्थिर कामगिरीची हमी देऊ शकतात.

2. उत्कृष्ट यांत्रिक गुणधर्म

सिलिकॉन नायट्राइड सिरॅमिक्समध्ये उच्च कडकपणा, उत्कृष्ट संकुचित सामर्थ्य आणि पोशाख प्रतिरोधकता असते, यांत्रिक ताण आणि पृष्ठभागाच्या पोशाखांना तोंड देण्यास सक्षम, विकृत किंवा फाटणे सोपे नसते. या यांत्रिक गुणधर्मामुळे सेमीकंडक्टर उपकरणांमधील संरचनात्मक आणि प्रक्रिया भागांसाठी सामग्री म्हणून ते अतिशय योग्य बनते.

3. उच्च-तापमान स्थिरता

सिलिकॉन नायट्राइड सिरॅमिक्स उच्च-तापमान वातावरणात स्थिरता राखू शकतात, मऊ करणे किंवा वितळणे सोपे नाही आणि सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत उच्च-तापमान प्रक्रिया आणि हाताळणीचा सामना करू शकतात. हे उच्च-तापमान प्रक्रियेच्या उपकरणाच्या मुख्य घटकांच्या निर्मितीमध्ये वापरण्यास अनुमती देते, जसे की ग्रिपर, प्रतिक्रिया कक्ष घटक आणि असेच.

4. उत्कृष्ट इन्सुलेट गुणधर्म

सेमीकंडक्टर उपकरण निर्मितीमध्ये इन्सुलेट गुणधर्म महत्त्वपूर्ण आहेत. सिलिकॉन नायट्राइड सिरॅमिक्समध्ये चांगले इन्सुलेट गुणधर्म आहेत, जे सर्किट घटकांना वर्तमान गळती किंवा इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक हस्तक्षेपापासून प्रभावीपणे वेगळे आणि संरक्षित करू शकतात, ज्यामुळे डिव्हाइसची स्थिरता आणि विश्वासार्हता सुधारण्यास मदत होते.

5. थर्मल चालकता आणि थर्मल चालकता

सिलिकॉन नायट्राइड सिरॅमिक्समध्ये उच्च थर्मल चालकता असते, ते उपकरणाद्वारे निर्माण होणारी उष्णता प्रभावीपणे चालवू शकते आणि नष्ट करू शकते, ऑपरेटिंग प्रक्रियेत डिव्हाइसचे तापमान स्थिरता राखण्यास मदत करते. सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या उच्च-कार्यक्षमतेच्या ऑपरेशनसाठी हे महत्त्वपूर्ण आहे.

सौर आणि सेमीकंडक्टर उद्योगांमध्ये VeTek सेमीकंडक्टरच्या सिलिकॉन नायट्राइड सामग्रीच्या अनुप्रयोगांमध्ये प्रामुख्याने हे समाविष्ट आहे:

1. इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक्स आणि एचिंग चेंबर घटक

सिलिकॉन नायट्राइड सिरॅमिक्स बहुतेक वेळा इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक्स आणि एचिंग चेंबर घटकांसाठी साहित्य म्हणून वापरले जातात कारण त्यांची उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता आणि उच्च तापमान प्रतिरोधक सेमीकंडक्टर उत्पादनात. इलेक्ट्रोस्टॅटिक चकचा वापर वेफर्स किंवा सब्सट्रेट्सचे निराकरण आणि स्थिरीकरण करण्यासाठी केला जातो, तर खोदकाम चेंबरचे घटक संक्षारक वायू आणि उच्च-तापमान वातावरणाचा सामना करण्यासाठी वापरले जातात.

2. गॅस वितरण प्लेट्स आणि परावर्तक

गॅस वितरण प्लेट्स आणि रिफ्लेक्टरमध्ये सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मितीमध्ये सिलिकॉन नायट्राइड सिरॅमिक्स देखील वापरतात. गॅस वितरण प्लेट्सचा वापर प्रतिक्रिया चेंबरमध्ये समान रीतीने प्रतिक्रियाशील किंवा संरक्षणात्मक वायूंचे वितरण करण्यासाठी केला जातो, तर रिफ्लेक्टरचा वापर प्रतिक्रिया चेंबरमधील प्रकाशाचे वितरण आणि परावर्तन ऑप्टिमाइझ करण्यासाठी प्रतिक्रिया कार्यक्षमता आणि एकसमानता सुधारण्यासाठी केला जातो.

3. धारक आणि थर्मल घटक

सिलिकॉन नायट्राइड सिरॅमिक्स बहुतेक वेळा सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये धारक आणि थर्मल व्यवस्थापन घटक म्हणून वापरले जातात. या घटकांमध्ये चांगली यांत्रिक शक्ती असणे आवश्यक आहे, स्थिर उपकरणांचे ऑपरेशन आणि डिव्हाइस प्रक्रियेची अचूकता सुनिश्चित करण्यासाठी प्रतिरोधकपणा आणि थर्मल चालकता असणे आवश्यक आहे.

4. केमिकल मेकॅनिकल पॉलिशिंग (CMP) पॅड

केमिकल मेकॅनिकल पॉलिशिंग (CMP) प्रक्रियेमध्ये सिलिकॉन नायट्राइड सिरॅमिकचा वापर पॅड मटेरियल म्हणून मोठ्या प्रमाणावर केला जातो. यात उत्कृष्ट सपाटपणा आणि पोशाख प्रतिरोधकता आहे आणि सेमीकंडक्टर वेफर पृष्ठभागाची सपाटपणा आणि अचूकता सुनिश्चित करण्यासाठी पॉलिशिंग प्रक्रियेदरम्यान स्थिर समर्थन प्रदान करू शकते.