सच्छिद्र टँटलम कार्बाइड

VeTek अर्धसंवाहक सच्छिद्र टँटलम कार्बाइड (TaC) एक उच्च-कार्यक्षमता असलेली सिरॅमिक सामग्री आहे जी टँटलम आणि कार्बनचे गुणधर्म एकत्र करते. त्याची सच्छिद्र रचना उच्च तापमान आणि अत्यंत वातावरणातील विशिष्ट अनुप्रयोगांसाठी अतिशय योग्य आहे. TaC उत्कृष्ट कडकपणा, थर्मल स्थिरता आणि रासायनिक प्रतिकार यांचा मेळ घालते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये ते एक आदर्श साहित्य पर्याय बनते.

सच्छिद्र टँटलम कार्बाइड (TaC) हे टँटलम (Ta) आणि कार्बन (C) चे बनलेले आहे, ज्यामध्ये टँटलम कार्बन अणूंसह एक मजबूत रासायनिक बंध तयार करते, ज्यामुळे सामग्रीला अत्यंत टिकाऊपणा आणि पोशाख प्रतिरोधकता मिळते. सच्छिद्र TaC ची सच्छिद्र रचना सामग्रीच्या उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान तयार केली जाते आणि विशिष्ट अनुप्रयोगाच्या गरजेनुसार सच्छिद्रता नियंत्रित केली जाऊ शकते. हे उत्पादन सहसा द्वारे उत्पादित केले जातेरासायनिक वाफ जमा करणे (CVD)पद्धत, त्याच्या छिद्र आकार आणि वितरणाचे अचूक नियंत्रण सुनिश्चित करते.

टँटलम कार्बाइडची आण्विक रचना

VeTek सेमीकंडक्टर पोरस टँटलम कार्बाइड (TaC) मध्ये खालील उत्पादन वैशिष्ट्ये आहेत:

- सच्छिद्रता: सच्छिद्र रचना वायू प्रसार, गाळण्याची प्रक्रिया किंवा नियंत्रित उष्णता अपव्यय यासह विशिष्ट अनुप्रयोग परिस्थितींमध्ये भिन्न कार्ये देते.

- उच्च वितळण्याचे बिंदू: टँटलम कार्बाइडचा अत्यंत उच्च वितळण्याचा बिंदू सुमारे 3,880°C आहे, जो अत्यंत उच्च तापमान वातावरणासाठी योग्य आहे.

- उत्कृष्ट कडकपणा: सच्छिद्र TaC ची अत्यंत उच्च कडकपणा मोहस कडकपणा स्केलमध्ये 9-10 इतकी असते, हिऱ्याप्रमाणेच. , आणि अत्यंत परिस्थितीत यांत्रिक पोशाखांचा प्रतिकार करू शकतो.

- थर्मल स्थिरता: टँटलम कार्बाइड (TaC) मटेरियल उच्च तापमानाच्या वातावरणात स्थिर राहू शकते आणि उच्च तापमान वातावरणात त्याची सातत्यपूर्ण कामगिरी सुनिश्चित करून मजबूत थर्मल स्थिरता असते.

- उच्च थर्मल चालकता: सच्छिद्रता असूनही, सच्छिद्र टँटलम कार्बाइड अजूनही चांगली थर्मल चालकता टिकवून ठेवते, कार्यक्षम उष्णता हस्तांतरण सुनिश्चित करते.

- कमी थर्मल विस्तार गुणांक: टँटलम कार्बाइड (TaC) चे कमी थर्मल विस्तार गुणांक तापमानातील लक्षणीय चढउतारांमध्ये सामग्रीला आयामी स्थिर राहण्यास मदत करते आणि थर्मल तणावाचा प्रभाव कमी करते.

TaC कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म：

सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये, सच्छिद्र टँटलम कार्बाइड (TaC) खालील विशिष्ट महत्त्वाची भूमिका बजावतेs:

उच्च-तापमान प्रक्रियांमध्ये जसे कीप्लाझ्मा एचिंगआणि CVD, VeTek सेमीकंडक्टर सच्छिद्र टँटलम कार्बाइड बहुतेकदा प्रक्रिया उपकरणांसाठी संरक्षक आवरण म्हणून वापरले जाते. च्या मजबूत गंज प्रतिकारामुळे हे घडतेटीएसी कोटिंगआणि त्याची उच्च-तापमान स्थिरता. हे गुणधर्म हे सुनिश्चित करतात की ते प्रतिक्रियाशील वायू किंवा अति तापमानाच्या संपर्कात असलेल्या पृष्ठभागांचे प्रभावीपणे संरक्षण करते, ज्यामुळे उच्च-तापमान प्रक्रियेची सामान्य प्रतिक्रिया सुनिश्चित होते.

प्रसार प्रक्रियेत, सच्छिद्र टँटलम कार्बाइड उच्च-तापमान प्रक्रियेत सामग्रीचे मिश्रण टाळण्यासाठी प्रभावी प्रसार अडथळा म्हणून काम करू शकते. आयन इम्प्लांटेशन आणि सेमीकंडक्टर वेफर्सची शुद्धता नियंत्रण यासारख्या प्रक्रियांमध्ये डोपेंट्सचा प्रसार नियंत्रित करण्यासाठी या वैशिष्ट्याचा वापर केला जातो.

VeTek सेमीकंडक्टर सच्छिद्र टँटलम कार्बाइडची सच्छिद्र रचना सेमीकंडक्टर प्रक्रिया वातावरणासाठी अतिशय योग्य आहे ज्यासाठी अचूक वायू प्रवाह नियंत्रण किंवा गाळण्याची प्रक्रिया आवश्यक आहे. या प्रक्रियेत, सच्छिद्र TaC मुख्यत्वे गॅस फिल्टरेशन आणि वितरणाची भूमिका बजावते. त्याची रासायनिक जडत्व हे सुनिश्चित करते की गाळण्याची प्रक्रिया करताना कोणतेही दूषित पदार्थ येऊ नयेत. हे प्रभावीपणे प्रक्रिया केलेल्या उत्पादनाच्या शुद्धतेची हमी देते.

मायक्रोस्कोपिक क्रॉस-सेक्शनवर टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग: