LPE साठी टँटलम कार्बाइड लेपित हाफमून भाग

VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील LPE उत्पादक आणि नवोन्मेषकासाठी मोठ्या प्रमाणात टँटलम कार्बाइड कोटेड हाफमून पार्ट आहे. आम्ही अनेक वर्षांपासून TaC कोटिंगमध्ये खास आहोत. आमची उत्पादने 2000 अंश सेल्सिअसपेक्षा जास्त तापमान सहन करू शकतात, उपभोग्य वस्तूंचे आयुष्य वाढवू शकतात. आम्ही उत्सुक आहोत. चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

व्यावसायिक निर्माता म्हणून, VeTek सेमीकंडक्टर तुम्हाला LPE साठी उच्च दर्जाचे टँटलम कार्बाइड कोटेड हाफमून पार्ट देऊ इच्छितो.

VeTek सेमीकंडक्टर एक व्यावसायिक लीडर चायना SiC, TaC कोटिंग, उच्च गुणवत्ता आणि वाजवी किमतीसह ठोस SiC निर्माता आहे. LPE साठी आमचे टँटलम कार्बाइड लेपित हाफमून भाग थर, तापमान नियंत्रण, उष्णता वाहून नेण्यासाठी क्षैतिज आणि उभ्या एपिटॅक्सी उपकरणांच्या प्रतिक्रिया कक्षांमध्ये वापरले जातात. परिरक्षण, वायुवीजन, संरक्षण आणि इतर कार्ये, ज्यामुळे प्रतिक्रिया कक्षातील SiC एपिटॅक्सी लेयरच्या वाढीची जाडी, डोपिंग, दोष आणि इतर भौतिक वैशिष्ट्ये एकत्रितपणे नियंत्रित करणे.

VeTek सेमीकंडक्टर संबंधित उत्पादने: अप्पर हाफमून, लोअर हाफमून, प्रोटेक्टिव्ह कव्हर, इन्सुलेशन कव्हर, प्रोसेस एअर डायव्हर्जन इंटरफेस. आमची कंपनी ग्राहकांना रिॲक्शन चेंबर SiC कोटेड आणि TaC कोटेड घटक सोल्यूशन्सची संपूर्ण श्रेणी प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे.

LPE साठी टँटलम कार्बाइड कोटेड हाफमून पार्टचे उत्पादन पॅरामीटर

TaC कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म
घनता	14.3 (g/cm³)
विशिष्ट उत्सर्जन	0.3
थर्मल विस्तार गुणांक	६.३ १०-६/के
कडकपणा (HK)	2000 HK
प्रतिकार	1×10-5 Ohm*cm
थर्मल स्थिरता	<2500℃
ग्रेफाइटचा आकार बदलतो	-10~-20um
कोटिंग जाडी	≥20um ठराविक मूल्य (35um±10um)