भौतिक वाष्प संचय कोटिंगची तत्त्वे आणि तंत्रज्ञान (1/2) - VeTek सेमीकंडक्टर

ची भौतिक प्रक्रियाव्हॅक्यूम कोटिंग

व्हॅक्यूम कोटिंग मुळात तीन प्रक्रियांमध्ये विभागली जाऊ शकते: "फिल्म मटेरियल बाष्पीभवन", "व्हॅक्यूम वाहतूक" आणि "पातळ फिल्म वाढ". व्हॅक्यूम कोटिंगमध्ये, जर फिल्म सामग्री घन असेल, तर घन फिल्म सामग्रीचे वायूमध्ये वाष्पीकरण किंवा उदात्तीकरण करण्यासाठी उपाययोजना करणे आवश्यक आहे आणि नंतर बाष्पयुक्त फिल्म सामग्रीचे कण व्हॅक्यूममध्ये वाहून नेले जातात. वाहतूक प्रक्रियेदरम्यान, कण टक्कर अनुभवू शकत नाहीत आणि थेट सब्सट्रेटपर्यंत पोहोचू शकतात किंवा ते जागेत आदळू शकतात आणि विखुरल्यानंतर थर पृष्ठभागावर पोहोचू शकतात. शेवटी, कण सब्सट्रेटवर घनीभूत होतात आणि पातळ फिल्ममध्ये वाढतात. म्हणून, कोटिंग प्रक्रियेमध्ये फिल्म सामग्रीचे बाष्पीभवन किंवा उदात्तीकरण, व्हॅक्यूममध्ये वायू अणूंचे वाहतूक आणि घन पृष्ठभागावरील वायू अणूंचे शोषण, प्रसार, न्यूक्लिएशन आणि पृथक्करण यांचा समावेश होतो.

व्हॅक्यूम कोटिंगचे वर्गीकरण

फिल्म मटेरिअल घन ते वायूमध्ये बदलण्याच्या विविध पद्धतींनुसार आणि व्हॅक्यूममधील फिल्म मटेरियल अणूंच्या विविध वाहतूक प्रक्रियांनुसार, व्हॅक्यूम कोटिंगची मुळात चार प्रकारांमध्ये विभागणी केली जाऊ शकते: व्हॅक्यूम बाष्पीभवन, व्हॅक्यूम स्पटरिंग, व्हॅक्यूम आयन प्लेटिंग, आणि व्हॅक्यूम रासायनिक वाष्प जमा. पहिल्या तीन पद्धती म्हणतातभौतिक वाष्प निक्षेप (PVD), आणि नंतरचे म्हणतातरासायनिक वाफ जमा करणे (CVD).

व्हॅक्यूम बाष्पीभवन कोटिंग

व्हॅक्यूम बाष्पीभवन कोटिंग ही सर्वात जुनी व्हॅक्यूम कोटिंग तंत्रज्ञान आहे. 1887 मध्ये, आर. नहरवोल्ड यांनी व्हॅक्यूममध्ये प्लॅटिनमचे उदात्तीकरण करून प्लॅटिनम फिल्म तयार केल्याचा अहवाल दिला, ज्याला बाष्पीभवन कोटिंगचे मूळ मानले जाते. आता बाष्पीभवन कोटिंग प्रारंभिक प्रतिरोधक बाष्पीभवन कोटिंगपासून इलेक्ट्रॉन बीम बाष्पीभवन कोटिंग, इंडक्शन हीटिंग बाष्पीभवन कोटिंग आणि पल्स लेसर बाष्पीभवन कोटिंग यांसारख्या विविध तंत्रज्ञानापर्यंत विकसित झाले आहे.

प्रतिरोधक हीटिंगव्हॅक्यूम बाष्पीभवन कोटिंग

प्रतिरोधक बाष्पीभवन स्त्रोत हे असे उपकरण आहे जे प्रत्यक्ष किंवा अप्रत्यक्षपणे फिल्म सामग्री गरम करण्यासाठी विद्युत उर्जेचा वापर करते. प्रतिरोधक बाष्पीभवन स्त्रोत सामान्यतः धातू, ऑक्साईड्स किंवा नायट्राइड्सचा बनलेला असतो ज्यामध्ये उच्च वितळण्याचे बिंदू, कमी बाष्प दाब, चांगले रासायनिक आणि यांत्रिक स्थिरता, जसे की टंगस्टन, मॉलिब्डेनम, टँटलम, उच्च शुद्धता ग्रेफाइट, ॲल्युमिनियम ऑक्साईड सिरॅमिक्स, बोरॉन नायट्राइड सिरॅमिक्स आणि इतर सामग्री. . प्रतिरोधक बाष्पीभवन स्त्रोतांच्या आकारांमध्ये प्रामुख्याने फिलामेंट स्त्रोत, फॉइल स्त्रोत आणि क्रूसिबल यांचा समावेश होतो.

फिलामेंट स्त्रोत आणि फॉइल स्त्रोतांसाठी वापरताना, बाष्पीभवन स्त्रोताच्या दोन टोकांना नटांसह टर्मिनल पोस्टवर निश्चित करा. क्रूसिबल सामान्यतः सर्पिल वायरमध्ये ठेवलेले असते, आणि सर्पिल वायर क्रूसिबल गरम करण्यासाठी समर्थित असते आणि नंतर क्रूसिबल फिल्म सामग्रीमध्ये उष्णता हस्तांतरित करते.

VeTek सेमीकंडक्टर एक व्यावसायिक चीनी निर्माता आहेटँटलम कार्बाइड कोटिंग, सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग, विशेष ग्रेफाइट, सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्सआणिइतर सेमीकंडक्टर सिरॅमिक्स.VeTek सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी विविध कोटिंग उत्पादनांसाठी प्रगत उपाय प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे.

आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

ईमेल: anny@veteksemi.com