सच्छिद्र SiC व्हॅक्यूम चक

चीनमध्ये व्यावसायिक सच्छिद्र SiC व्हॅक्यूम चक निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून, वेटेक सेमीकंडक्टरचे सच्छिद्र SiC व्हॅक्यूम चक हे सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांच्या प्रमुख घटकांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते, विशेषत: जेव्हा ते CVD आणि PECVD प्रक्रियेसाठी येते. वेटेक सेमीकंडक्टर उच्च-कार्यक्षमता सच्छिद्र SiC व्हॅक्यूम चक तयार करण्यात आणि पुरवण्यात माहिर आहे. तुमच्या पुढील चौकशीचे स्वागत आहे.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

वेटेक सेमीकंडक्टर सच्छिद्र SiC व्हॅक्यूम चक मुख्यत्वे सिलिकॉन कार्बाइड (SiC), उत्कृष्ट कार्यक्षमतेसह एक सिरॅमिक सामग्रीपासून बनलेला आहे. सच्छिद्र SiC व्हॅक्यूम चक अर्धसंवाहक प्रक्रिया प्रक्रियेत वेफर सपोर्ट आणि फिक्सेशनची भूमिका बजावू शकतो. हे उत्पादन वेफर आणि चक यांच्यामध्ये एकसमान सक्शन प्रदान करून, वेफरचे वार्पिंग आणि विकृतीकरण प्रभावीपणे टाळून, प्रक्रिया करताना प्रवाहाच्या सपाटपणाची खात्री करून खात्री करू शकते. याव्यतिरिक्त, सिलिकॉन कार्बाइडचा उच्च तापमान प्रतिकार चकची स्थिरता सुनिश्चित करू शकतो आणि थर्मल विस्तारामुळे वेफर पडण्यापासून रोखू शकतो. पुढील सल्लामसलत करण्यासाठी आपले स्वागत आहे.

इलेक्ट्रॉनिक्सच्या क्षेत्रात, पोरस SiC व्हॅक्यूम चकचा वापर लेझर कटिंग, पॉवर उपकरणे, फोटोव्होल्टेइक मॉड्यूल्स आणि पॉवर इलेक्ट्रॉनिक घटकांसाठी अर्धसंवाहक सामग्री म्हणून केला जाऊ शकतो. त्याची उच्च थर्मल चालकता आणि उच्च तापमान प्रतिकार यामुळे इलेक्ट्रॉनिक उपकरणांसाठी एक आदर्श सामग्री बनते. ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्सच्या क्षेत्रात, पोरस SiC व्हॅक्यूम चकचा वापर ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणे जसे की लेसर, एलईडी पॅकेजिंग साहित्य आणि सौर सेल तयार करण्यासाठी केला जाऊ शकतो. त्याचे उत्कृष्ट ऑप्टिकल गुणधर्म आणि गंज प्रतिकार उपकरणाची कार्यक्षमता आणि स्थिरता सुधारण्यास मदत करतात.

वेटेक सेमीकंडक्टर देऊ शकतात:

1. स्वच्छता: SiC वाहक प्रक्रिया, खोदकाम, साफसफाई आणि अंतिम वितरणानंतर, सर्व अशुद्धता जाळून टाकण्यासाठी 1200 अंशांवर 1.5 तास टेम्पर केले पाहिजे आणि नंतर व्हॅक्यूम बॅगमध्ये पॅक केले पाहिजे.

2. उत्पादन सपाटपणा: वेफर ठेवण्यापूर्वी, ते उपकरणावर ठेवल्यावर ते -60kpa पेक्षा जास्त असणे आवश्यक आहे जेणेकरून जलद प्रसारणादरम्यान वाहक उडू नये. वेफर ठेवल्यानंतर, ते -70kpa वर असणे आवश्यक आहे. जर नो-लोड तापमान -50kpa पेक्षा कमी असेल, तर मशीन सतर्क राहते आणि ऑपरेट करू शकत नाही. म्हणून, पाठीचा सपाटपणा खूप महत्वाचा आहे.

3. गॅस मार्ग डिझाइन: ग्राहकांच्या गरजेनुसार सानुकूलित.

ग्राहक चाचणीचे 3 टप्पे:

1. ऑक्सिडेशन चाचणी: ऑक्सिजन नाही (ग्राहक पटकन 900 अंशांपर्यंत गरम करतो, म्हणून उत्पादन 1100 अंशांवर ऍनिल करणे आवश्यक आहे).

2. धातूच्या अवशेषांची चाचणी: जलद गतीने 1200 अंशांपर्यंत उष्णता, वेफर दूषित करण्यासाठी कोणतीही धातूची अशुद्धता सोडली जात नाही.

3. व्हॅक्यूम चाचणी: वेफरसह आणि शिवाय दाबामधील फरक +2ka (सक्शन फोर्स) मध्ये आहे.