रॅपिड थर्मल एनीलिंग ससेप्टर

VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील अग्रगण्य रॅपिड थर्मल एनीलिंग ससेप्टर निर्माता आणि नवोदित आहे. आम्ही अनेक वर्षांपासून SiC कोटिंग मटेरियलमध्ये खास आहोत. आम्ही उच्च दर्जाचे, उच्च तापमान प्रतिरोधक, अतिशय पातळ असलेले रॅपिड थर्मल ॲनिलिंग ससेप्टर ऑफर करतो. आमच्या भेटीसाठी आम्ही तुमचे स्वागत करतो. चीन मध्ये कारखाना.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

VeTek सेमीकंडक्टर रॅपिड थर्मल एनीलिंग ससेप्टर उच्च दर्जाचे आणि दीर्घ आयुष्यासह आहे, आमच्या चौकशीसाठी आपले स्वागत आहे.

रॅपिड थर्मल एनील (आरटीए) हा सेमीकंडक्टर डिव्हाइस फॅब्रिकेशनमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या रॅपिड थर्मल प्रक्रियेचा एक महत्त्वपूर्ण उपसंच आहे. विविध लक्ष्यित उष्णता उपचारांद्वारे त्यांच्या विद्युत गुणधर्मांमध्ये बदल करण्यासाठी वैयक्तिक वेफर्स गरम करणे समाविष्ट आहे. आरटीए प्रक्रिया डोपेंट्सचे सक्रियकरण, फिल्म-टू-फिल्म किंवा फिल्म-टू-वेफर सब्सट्रेट इंटरफेसमध्ये बदल, जमा केलेल्या फिल्म्सचे घनता, वाढलेल्या फिल्म स्टेटसमध्ये बदल, आयन इम्प्लांटेशनच्या नुकसानाची दुरुस्ती, डोपेंट्सची हालचाल आणि फिल्म्स दरम्यान डोपंट चालविण्यास सक्षम करते. किंवा वेफर सब्सट्रेटमध्ये.

VeTek सेमीकंडक्टर उत्पादन, रॅपिड थर्मल एनीलिंग ससेप्टर, RTP प्रक्रियेत महत्त्वाची भूमिका बजावते. हे इनर्ट सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) च्या संरक्षक आवरणासह उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट सामग्री वापरून तयार केले आहे. SiC-कोटेड सिलिकॉन सब्सट्रेट 1100°C पर्यंत तापमानाचा सामना करू शकतो, अगदी अत्यंत परिस्थितीतही विश्वसनीय कामगिरी सुनिश्चित करतो. SiC कोटिंग गॅस गळती आणि कण शेडिंगपासून उत्कृष्ट संरक्षण प्रदान करते, ज्यामुळे उत्पादनाचे दीर्घायुष्य सुनिश्चित होते.

तंतोतंत तापमान नियंत्रण राखण्यासाठी, चिपला SiC सह लेपित दोन उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट घटकांमध्ये अंतर्भूत केले जाते. एकात्मिक उच्च-तापमान सेन्सर किंवा थराच्या संपर्कात असलेल्या थर्मोकपल्सद्वारे अचूक तापमान मोजमाप मिळू शकते.

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म
मालमत्ता	ठराविक मूल्य
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड
घनता	3.21 g/cm³
कडकपणा	2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड)
धान्य आकार	2~10μm
रासायनिक शुद्धता	99.99995%
उष्णता क्षमता	640 J·kg-1·K-1
उदात्तीकरण तापमान	2700℃
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	415 MPa RT 4-पॉइंट
तरुणांचे मॉड्यूलस	430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
औष्मिक प्रवाहकता	300W·m-1·K-1
थर्मल विस्तार (CTE)	4.5×10-6K-1