सेमीकंडक्टर थर्मल फवारणी तंत्रज्ञान

सेमीकंडक्टर थर्मल फवारणी तंत्रज्ञान ही एक प्रगत प्रक्रिया आहे जी वितळलेल्या किंवा अर्ध-वितळलेल्या अवस्थेतील पदार्थांना थराच्या पृष्ठभागावर कोटिंग तयार करण्यासाठी फवारते. हे तंत्रज्ञान सेमीकंडक्टर उत्पादनाच्या क्षेत्रात मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते, मुख्यत्वे सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर विशिष्ट कार्ये, जसे की चालकता, इन्सुलेशन, गंज प्रतिरोध आणि ऑक्सिडेशन प्रतिरोधनासह कोटिंग्स तयार करण्यासाठी वापरली जाते. थर्मल फवारणी तंत्रज्ञानाच्या मुख्य फायद्यांमध्ये उच्च कार्यक्षमता, नियंत्रण करण्यायोग्य कोटिंगची जाडी आणि चांगले कोटिंग आसंजन यांचा समावेश होतो, ज्यामुळे उच्च सुस्पष्टता आणि विश्वासार्हता आवश्यक असलेल्या सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत हे विशेषतः महत्वाचे आहे.

सेमीकंडक्टरमध्ये थर्मल फवारणी तंत्रज्ञानाचा वापर

प्लाझ्मा बीम एचिंग (ड्राय एचिंग)

सामान्यतः ग्लो डिस्चार्जचा वापर प्लाझ्मा आणि इलेक्ट्रॉन सारख्या चार्ज केलेले कण आणि अत्यंत रासायनिक सक्रिय तटस्थ अणू आणि रेणू आणि मुक्त रॅडिकल्स असलेले प्लाझ्मा सक्रिय कण निर्माण करण्यासाठी संदर्भित करते, जे खोदल्या जाणाऱ्या भागापर्यंत पसरतात, खोदलेल्या सामग्रीसह प्रतिक्रिया देतात, अस्थिर बनतात. उत्पादने आणि काढली जातात, ज्यामुळे पॅटर्न ट्रान्सफरचे एचिंग तंत्रज्ञान पूर्ण होते. अल्ट्रा-लार्ज-स्केल इंटिग्रेटेड सर्किट्सच्या निर्मितीमध्ये फोटोलिथोग्राफी टेम्प्लेट्सपासून वेफर्समध्ये उत्कृष्ट पॅटर्नचे उच्च-विश्वस्ततेचे हस्तांतरण साकार करण्यासाठी ही एक अपरिवर्तनीय प्रक्रिया आहे.

Cl आणि F सारख्या मोठ्या प्रमाणात सक्रिय मुक्त रॅडिकल्स तयार होतील. जेव्हा ते सेमीकंडक्टर उपकरणे खोदतात तेव्हा ते उपकरणांच्या इतर भागांच्या आतील पृष्ठभागांना कोरड करतात, ज्यामध्ये ॲल्युमिनियम मिश्र धातु आणि सिरॅमिक संरचनात्मक भागांचा समावेश होतो. या मजबूत इरोशनमुळे मोठ्या प्रमाणात कण तयार होतात, ज्यासाठी केवळ उत्पादन उपकरणांची वारंवार देखभाल करणे आवश्यक नसते, परंतु एचिंग प्रक्रियेच्या चेंबरमध्ये बिघाड आणि गंभीर प्रकरणांमध्ये डिव्हाइसचे नुकसान देखील होते.

Y2O3 ही अत्यंत स्थिर रासायनिक आणि थर्मल गुणधर्म असलेली सामग्री आहे. त्याचा वितळण्याचा बिंदू 2400℃ च्या वर आहे. ते मजबूत संक्षारक वातावरणात स्थिर राहू शकते. प्लाझ्मा बॉम्बर्डमेंटचा त्याचा प्रतिकार घटकांचे सेवा आयुष्य मोठ्या प्रमाणात वाढवू शकतो आणि एचिंग चेंबरमधील कण कमी करू शकतो.

एचिंग चेंबर आणि इतर प्रमुख घटकांचे संरक्षण करण्यासाठी उच्च-शुद्धतेच्या Y2O3 कोटिंगची फवारणी करणे हा मुख्य प्रवाहातील उपाय आहे.