SiC लेपित ICP एचिंग वाहक

VeTek सेमीकंडक्टरचे SiC Coated ICP Etching Carrier सर्वात जास्त मागणी असलेल्या एपिटॅक्सी उपकरणांसाठी डिझाइन केलेले आहे. उच्च-गुणवत्तेच्या अल्ट्रा-प्युअर ग्रेफाइट सामग्रीपासून बनविलेले, आमच्या SiC कोटेड ICP एचिंग कॅरियरमध्ये अत्यंत सपाट पृष्ठभाग आणि हाताळणीदरम्यान कठोर परिस्थितींना तोंड देण्यासाठी उत्कृष्ट गंज प्रतिकार आहे. SiC कोटेड कॅरियरची उच्च थर्मल चालकता उत्कृष्ट नक्षी परिणामांसाठी समान उष्णता वितरण सुनिश्चित करते. VeTek Semiconductor तुमच्यासोबत दीर्घकालीन भागीदारी तयार करण्यास उत्सुक आहे.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

SiC लेपित ICP एचिंग वाहकच्या उत्पादनातील वर्षांच्या अनुभवासह, VeTek सेमीकंडक्टर विस्तृत श्रेणीचा पुरवठा करू शकतोSiC लेपितकिंवाTaC लेपितसेमीकंडक्टर उद्योगासाठी सुटे भाग. खाली दिलेल्या उत्पादनांच्या सूचीव्यतिरिक्त, तुम्ही तुमच्या विशिष्ट गरजांनुसार तुमचे स्वतःचे अद्वितीय SiC कोटेड किंवा TaC लेपित भाग देखील सानुकूलित करू शकता. आमच्या चौकशीसाठी आपले स्वागत आहे.

VeTek सेमीकंडक्टरचे SiC Coated ICP Etching Carrier, ज्यांना ICP वाहक, PSS वाहक, RTP वाहक किंवा RTP वाहक असेही म्हणतात, हे सेमीकंडक्टर उद्योगातील विविध ऍप्लिकेशन्समध्ये वापरले जाणारे महत्त्वाचे घटक आहेत. या वर्तमान वाहकांच्या निर्मितीसाठी सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट ही प्राथमिक सामग्री आहे. यात उच्च थर्मल चालकता आहे, नीलम सब्सट्रेटच्या थर्मल चालकता 10 पट जास्त आहे. या गुणधर्माने, त्याच्या उच्च रोलर इलेक्ट्रिक फील्ड सामर्थ्य आणि कमाल वर्तमान घनतेसह, सिलिकॉन कार्बाइडचा शोध विविध अनुप्रयोगांमध्ये, विशेषत: सेमीकंडक्टर उच्च-पॉवर घटकांमध्ये, सिलिकॉनसाठी संभाव्य बदली म्हणून शोधण्यास प्रवृत्त केले आहे. SiC वर्तमान वाहक प्लेट्समध्ये उच्च थर्मल चालकता असते, ज्यामुळे ते आदर्श बनतातएलईडी उत्पादन प्रक्रिया.

ते कार्यक्षम उष्णतेचे अपव्यय सुनिश्चित करतात आणि उत्कृष्ट विद्युत चालकता प्रदान करतात, उच्च-शक्तीच्या एलईडीच्या निर्मितीमध्ये योगदान देतात. याव्यतिरिक्त, या वाहक प्लेट्समध्ये उत्कृष्ट आहेप्लाझ्मा प्रतिकारआणि दीर्घ सेवा जीवन, मागणी असलेल्या सेमीकंडक्टर उत्पादन वातावरणात विश्वसनीय कार्यप्रदर्शन आणि जीवन सुनिश्चित करणे.

SiC लेपित ICP एचिंग वाहकचे उत्पादन पॅरामीटर:

चे मूलभूत भौतिक गुणधर्मCVD SiC कोटिंग
मालमत्ता	ठराविक मूल्य
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड
घनता	3.21 g/cm³
कडकपणा	2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड)
धान्य आकार	2~10μm
रासायनिक शुद्धता	99.99995%
उष्णता क्षमता	640 J·kg^-1· के^-1
उदात्तीकरण तापमान	2700℃
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	415 MPa RT 4-पॉइंट
तरुणांचे मॉड्यूलस	430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
थर्मल चालकता	300W·m^-1· के^-1
थर्मल विस्तार (CTE)	4.5×10-6K^-1