LPE PE3061S 6'' वेफर्ससाठी SiC कोटेड पॅनकेक ससेप्टर

व्यावसायिक निर्माता म्हणून, VeTek सेमीकंडक्टर तुम्हाला LPE PE3061S 6'' वेफर्ससाठी उच्च दर्जाचे SiC कोटेड पॅनकेक ससेप्टर प्रदान करू इच्छितो.

एलपीई PE3061S 6" वेफर्ससाठी VeTeK सेमीकंडक्टर SiC कोटेड पॅनकेक ससेप्टर हे सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत वापरले जाणारे महत्त्वपूर्ण उपकरण आहे.

LPE PE3061S 6" वेफर्ससाठी SiC कोटेड पॅनकेक ससेप्टर उत्पादन वैशिष्ट्ये:

उच्च-तापमान स्थिरता: SiC उत्कृष्ट उच्च-तापमान स्थिरता प्रदर्शित करते, उच्च-तापमान वातावरणात त्याची रचना आणि कार्यप्रदर्शन राखते.

उत्कृष्ट थर्मल चालकता: SiC मध्ये अपवादात्मक थर्मल चालकता आहे, जलद आणि अगदी गरम करण्यासाठी जलद आणि एकसमान उष्णता हस्तांतरण सक्षम करते.

गंज प्रतिकार: SiC मध्ये उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता आहे, विविध गरम वातावरणात गंज आणि ऑक्सिडेशनला प्रतिकार करते.

समान गरम वितरण: SiC-कोटेड वेफर वाहक एकसमान गरम वितरण प्रदान करते, गरम करताना वेफरच्या संपूर्ण पृष्ठभागावर समान तापमान सुनिश्चित करते.

सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी योग्य: Si epitaxy wafer वाहक मोठ्या प्रमाणावर सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत वापरले जाते, विशेषत: Si epitaxy वाढीसाठी आणि इतर उच्च-तापमान गरम प्रक्रियेसाठी.

उत्पादन फायदे:

सुधारित उत्पादन कार्यक्षमता: SiC-कोटेड पॅनकेक ससेप्टर जलद आणि एकसमान गरम करण्यास सक्षम करते, गरम होण्याची वेळ कमी करते आणि उत्पादन कार्यक्षमता वाढवते.

उत्पादनाची गुणवत्ता सुनिश्चित केली: एकसमान गरम वितरण वेफर प्रक्रियेदरम्यान सुसंगतता सुनिश्चित करते, ज्यामुळे उत्पादनाची गुणवत्ता सुधारते.

विस्तारित उपकरणे आयुर्मान: SiC सामग्री उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधक आणि रासायनिक स्थिरता देते, ज्यामुळे पॅनकेक ससेप्टरच्या दीर्घ आयुष्यासाठी योगदान होते.

सानुकूलित उपाय: SiC-coated susceptor, Si epitaxy wafer वाहक ग्राहकांच्या गरजेनुसार विविध आकार आणि वैशिष्ट्यांनुसार तयार केले जाऊ शकतात.

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

VeTek सेमीकंडक्टर उत्पादन दुकान

सेमीकंडक्टर चिप एपिटॅक्सी उद्योग साखळीचे विहंगावलोकन: