TaC लेपित ग्रेफाइट वेफर वाहक

VeTek सेमीकंडक्टर हे चीनमधील अग्रगण्य TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर वाहक निर्माता आणि नवोन्मेषक आहे. आम्ही अनेक वर्षांपासून SiC आणि TaC कोटिंगमध्ये विशेषीकृत आहोत. आमच्या TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर कॅरियरमध्ये उच्च तापमान प्रतिरोधक आणि पोशाख-प्रतिरोधक आहे. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

VeTek सेमीकंडक्टरकडून कस्टमाइज्ड TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर कॅरियर खरेदी करण्यासाठी तुम्ही निश्चिंत राहू शकता. आम्ही तुमच्याशी सहकार्य करण्यास उत्सुक आहोत, तुम्हाला अधिक जाणून घ्यायचे असल्यास, तुम्ही आत्ताच आमचा सल्ला घेऊ शकता, आम्ही तुम्हाला वेळेत उत्तर देऊ!

VeTek सेमीकंडक्टर TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर वाहक एपिटॅक्सी रिॲक्टरमधील वेफर्सशी थेट संवाद साधतो, कार्यक्षमता आणि कार्यक्षमता वाढवतो. सिलिकॉन कार्बाइड किंवा टँटलम कार्बाइड कोटिंगच्या पर्यायासह, VeTek सेमीकंडक्टर TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर कॅरिअर टँटलम कार्बाइडसह 2-3 पट अधिक वाढलेले आयुष्य देते. LPE SiC epitaxy furnaces, JSG, NASO एपिटॅक्सियल फर्नेससह विविध मशीन मॉडेल्सशी सुसंगत.

VeTek सेमीकंडक्टर TaC-कोटेड ग्रेफाइट वाहक अचूक प्रतिक्रिया स्टोचिओमेट्री सुनिश्चित करते, अशुद्धतेचे स्थलांतर रोखते आणि 2000°C च्या पुढे तापमान स्थिरता राखते. हे H2, NH3, SiH4, आणि Si ला उल्लेखनीय प्रतिकार प्रदर्शित करते, कठोर रासायनिक वातावरणापासून संरक्षण करते. थर्मल झटके सहन करून, ते कोटिंग डिलेमिनेशनशिवाय वेगवान ऑपरेशनल चक्र सक्षम करते.

VeTek सेमीकंडक्टर TaC कोटिंग अति-उच्च शुद्धतेची हमी देते, अशुद्धता काढून टाकते आणि कठोर आयामी सहिष्णुता पूर्ण करण्यासाठी कॉन्फॉर्मल कव्हरेज सुनिश्चित करते. VeTek सेमीकंडक्टरच्या प्रगत ग्रेफाइट प्रक्रिया क्षमतांसह, आम्ही तुमच्या सानुकूलित गरजा पूर्ण करण्यासाठी सज्ज आहोत. तुम्हाला कोटिंग सेवा किंवा सर्वसमावेशक उपायांची आवश्यकता असल्यास, आमच्या तज्ज्ञ अभियंत्यांची टीम तुमच्या विशिष्ट ॲप्लिकेशनसाठी परिपूर्ण समाधान डिझाईन करण्यासाठी तयार आहे. तुमच्या गरजा आणि अपेक्षांनुसार तयार केलेली उच्च-गुणवत्तेची उत्पादने देण्यासाठी आमच्यावर विश्वास ठेवा.

PVT पद्धत SiC क्रिस्टल ग्रोथ

TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर कॅरियरचे उत्पादन पॅरामीटर

TaC कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म
घनता	14.3 (g/cm³)
विशिष्ट उत्सर्जन	0.3
थर्मल विस्तार गुणांक	६.३ १०-६/के
कडकपणा (HK)	2000 HK
प्रतिकार	1×10-5 Ohm*cm
थर्मल स्थिरता	<2500℃
ग्रेफाइटचा आकार बदलतो	-10~-20um
कोटिंग जाडी	≥20um ठराविक मूल्य (35um±10um)