Aixtron MOCVD रिसेप्टर

द्वारे उत्पादित Susceptorsवेटेक सेमीकंडक्टरग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग सामग्रीपासून बनलेले आहेत. उच्च पोशाख प्रतिकार, गंज प्रतिकार आणि SiC सामग्रीची अत्यंत उच्च कडकपणा लक्षात घेता, ते विशेषतः कठोर प्रक्रिया वातावरणात वापरण्यासाठी योग्य आहे. म्हणून, वेटेक सेमीकंडक्टरद्वारे उत्पादित ससेप्टर्स उच्च-तापमान MOCVD प्रक्रियेमध्ये अतिरिक्त पृष्ठभागाच्या उपचारांशिवाय थेट वापरले जाऊ शकतात.

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये, विशेषत: पातळ फिल्म डिपॉझिशन प्रक्रियेसाठी MOCVD उपकरणांमध्ये ससेप्टर्स हे मुख्य घटक आहेत. ची मुख्य भूमिकाAixtron SiC रिसीव्हरMOCVD प्रक्रियेमध्ये सेमीकंडक्टर वेफर्स वाहून नेणे, एकसमान उष्णता वितरण आणि प्रतिक्रिया वातावरण प्रदान करून पातळ फिल्म्सचे एकसमान आणि उच्च-गुणवत्तेचे निक्षेप सुनिश्चित करणे, याद्वारे उच्च-गुणवत्तेची पातळ फिल्म निर्मिती साध्य करणे आहे.

Aixtron MOCVD रिसेप्टरसामान्यतः सेमीकंडक्टर वेफर्सच्या पायाला आधार देण्यासाठी आणि त्याचे निराकरण करण्यासाठी वापरले जाते जेणेकरुन डिपॉझिशन प्रक्रियेदरम्यान वेफरची स्थिरता सुनिश्चित होईल. त्याच वेळी, Aixtron MOCVD ससेप्टरचे पृष्ठभाग आवरण सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) पासून बनलेले आहे, एक अत्यंत थर्मलली प्रवाहकीय सामग्री. SiC कोटिंग वेफरच्या पृष्ठभागावर एकसमान तापमान सुनिश्चित करते आणि उच्च-गुणवत्तेचे चित्रपट मिळविण्यासाठी एकसमान गरम करणे आवश्यक आहे.

शिवाय, दAixtron MOCVD रिसेप्टरसामग्रीच्या ऑप्टिमाइझ केलेल्या डिझाइनद्वारे प्रतिक्रियाशील वायूंचा प्रवाह आणि वितरण नियंत्रित करण्यात आम्ही उत्पादन मोठी भूमिका बजावतो. एकसमान फिल्म डिपॉझिशन प्राप्त करण्यासाठी एडी प्रवाह आणि तापमान ग्रेडियंट टाळा.

महत्त्वाचे म्हणजे, MOCVD प्रक्रियेत, सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग सामग्रीला गंज प्रतिरोधक असतो, त्यामुळेवेटेक सेमीकंडक्टरच्याAixtron MOCVD रिसेप्टरउच्च तापमान आणि संक्षारक वायू देखील सहन करू शकतात.

चे मूलभूत भौतिक गुणधर्मSIC कोटिंग:

VeTek सेमीकंडक्टर वेफर बोट दुकाने:

सेमीकंडक्टर चिप एपिटॅक्सी इंडस्ट्री चेनचे विहंगावलोकन: