VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील CVD SiC कोटेड बॅरल ससेप्टरचा अग्रगण्य निर्माता आणि नवोदित आहे. आमचे CVD SiC कोटेड बॅरल ससेप्टर उत्कृष्ट उत्पादन वैशिष्ट्यांसह वेफर्सवरील सेमीकंडक्टर सामग्रीच्या एपिटॅक्सियल वाढीस चालना देण्यात महत्त्वाची भूमिका बजावते. आपल्या पुढील सल्लामसलत मध्ये आपले स्वागत आहे.
VeTek सेमीकंडक्टर CVD SiC कोटेड बॅरल ससेप्टर यासाठी तयार केले आहेएपिटॅक्सियल प्रक्रियासेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये आणि उत्पादनाची गुणवत्ता आणि उत्पन्न सुधारण्यासाठी एक आदर्श पर्याय आहे. हा SiC कोटिंग बॅरल ससेप्टर बेस एक घन ग्रेफाइट रचना स्वीकारतो आणि तंतोतंत SiC लेयरसह लेपित आहेCVD प्रक्रिया, ज्यामुळे त्यात उत्कृष्ट थर्मल चालकता, गंज प्रतिकार आणि उच्च तापमान प्रतिरोधक क्षमता असते आणि एपिटॅक्सियल वाढीदरम्यान कठोर वातावरणाचा प्रभावीपणे सामना करू शकतो.
● एपिटॅक्सियल लेयरची गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यासाठी एकसमान हीटिंग: SiC कोटिंगची उत्कृष्ट थर्मल चालकता वेफरच्या पृष्ठभागावर समान तापमान वितरण सुनिश्चित करते, प्रभावीपणे दोष कमी करते आणि उत्पादन उत्पादन सुधारते.
● बेसची सेवा आयुष्य वाढवा: दSiC कोटिंगउत्कृष्ट गंज प्रतिकार आणि उच्च तापमान प्रतिरोधक क्षमता आहे, जे प्रभावीपणे बेसचे सेवा आयुष्य वाढवू शकते आणि उत्पादन खर्च कमी करू शकते.
● उत्पादन कार्यक्षमता सुधारित करा: बॅरल डिझाइन वेफर लोडिंग आणि अनलोडिंग प्रक्रियेस अनुकूल करते आणि उत्पादन कार्यक्षमता सुधारते.
● विविध सेमीकंडक्टर सामग्रीसाठी लागू: हा आधार विविध अर्धसंवाहक पदार्थांच्या एपिटॅक्सियल वाढीसाठी मोठ्या प्रमाणावर वापरला जाऊ शकतो जसे कीSiCआणिGaN.
●उत्कृष्ट थर्मल कामगिरी: उच्च थर्मल चालकता आणि थर्मल स्थिरता एपिटॅक्सियल वाढीदरम्यान तापमान नियंत्रण अचूकता सुनिश्चित करते.
●गंज प्रतिकार: SiC कोटिंग उच्च तापमान आणि संक्षारक वायूच्या क्षरणास प्रभावीपणे प्रतिकार करू शकते, बेसचे सेवा आयुष्य वाढवते.
●उच्च शक्ती: ग्रेफाइट बेस एपिटॅक्सियल प्रक्रियेची स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी ठोस आधार प्रदान करतो.
●सानुकूलित सेवा: VeTek सेमीकंडक्टर विविध प्रक्रिया आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी ग्राहकांच्या गरजेनुसार सानुकूलित सेवा देऊ शकतो.
CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म |
|
मालमत्ता |
ठराविक मूल्य |
क्रिस्टल स्ट्रक्चर |
FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड |
SiC कोटिंग घनता |
3.21 g/cm³ |
कडकपणा |
2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड) |
धान्य आकार |
2~10μm |
रासायनिक शुद्धता |
99.99995% |
उष्णता क्षमता |
640 J·kg-1· के-1 |
उदात्तीकरण तापमान |
2700℃ |
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ |
415 MPa RT 4-पॉइंट |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃ |
थर्मल चालकता |
300W·m-1· के-1 |
थर्मल विस्तार (CTE) |
४.५×१०-6K-1 |