CVD SiC लेपित स्कर्ट

VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील CVD SiC कोटिंग आणि TAC कोटिंगचा अग्रगण्य निर्माता, नवोदित आणि नेता आहे. अनेक वर्षांपासून, आम्ही CVD SiC कोटिंग उत्पादनांवर लक्ष केंद्रित करत आहोत जसे की CVD SiC कोटेड स्कर्ट, CVD SiC कोटिंग रिंग, CVD SiC कोटिंग वाहक इ. VeTek सेमीकंडक्टर सानुकूलित उत्पादन सेवा आणि समाधानकारक उत्पादनांच्या किमतींना समर्थन देतो आणि तुमच्या पुढील वाटचालीची अपेक्षा करतो. सल्लामसलत

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

Vetek Semiconductor ही चीनमधील CVD SiC कोटेड स्कर्टची व्यावसायिक उत्पादक आहे.

Aixtron उपकरणांचे खोल अल्ट्राव्हायोलेट एपिटॅक्सी तंत्रज्ञान सेमीकंडक्टर उत्पादनात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते. हे तंत्रज्ञान वेफरच्या पृष्ठभागावर विविध सामग्री जमा करण्यासाठी एपिटॅक्सियल ग्रोथद्वारे वेफरच्या कार्यप्रदर्शन आणि कार्याचे अचूक नियंत्रण मिळविण्यासाठी खोल अल्ट्राव्हायोलेट प्रकाश स्रोत वापरते. डीप अल्ट्राव्हायोलेट एपिटॅक्सी तंत्रज्ञानाचा वापर विस्तृत ऍप्लिकेशन्समध्ये केला जातो, ज्यामध्ये विविध इलेक्ट्रॉनिक उपकरणांचे उत्पादन लीड्सपासून सेमीकंडक्टर लेसरपर्यंत समाविष्ट आहे.

या प्रक्रियेत, CVD SiC कोटेड स्कर्ट महत्त्वाची भूमिका बजावते. एपिटॅक्सियल शीटला सपोर्ट करण्यासाठी आणि एपिटॅक्सियल वाढीदरम्यान एकसमानता आणि स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी एपिटॅक्सियल शीट फिरवण्यासाठी हे डिझाइन केले आहे. ग्रेफाइट ससेप्टरच्या रोटेशनची गती आणि दिशा अचूकपणे नियंत्रित करून, एपिटॅक्सियल वाहकाच्या वाढीची प्रक्रिया अचूकपणे नियंत्रित केली जाऊ शकते.

उत्पादन उच्च दर्जाचे ग्रेफाइट आणि सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगचे बनलेले आहे, त्याची उत्कृष्ट कार्यक्षमता आणि दीर्घ सेवा आयुष्य सुनिश्चित करते. आयात केलेली ग्रेफाइट सामग्री उत्पादनाची स्थिरता आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करते, ज्यामुळे ते विविध कार्य वातावरणात चांगले कार्य करू शकते. कोटिंगच्या बाबतीत, कोटिंगची एकसमानता आणि स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी 5ppm पेक्षा कमी सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री वापरली जाते. त्याच वेळी, नवीन प्रक्रिया आणि ग्रेफाइट सामग्रीचा थर्मल विस्तार गुणांक चांगला जुळतो, उत्पादनाचा उच्च तापमान प्रतिरोध आणि थर्मल शॉक प्रतिरोध सुधारतो, जेणेकरून ते उच्च तापमान वातावरणात स्थिर कामगिरी राखू शकेल.

CVD SiC कोटेड स्कर्टचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म
मालमत्ता	ठराविक मूल्य
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड
घनता	3.21 g/cm³
कडकपणा	2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड)
धान्य आकार	2~10μm
रासायनिक शुद्धता	99.99995%
उष्णता क्षमता	640 J·kg-1·K-1
उदात्तीकरण तापमान	2700℃
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	415 MPa RT 4-पॉइंट
तरुणांचे मॉड्यूलस	430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
थर्मल चालकता	300W·m-1·K-1
थर्मल विस्तार (CTE)	4.5×10-6K-1