CVD TAC कोटिंग

CVD TaC कोटिंग (रासायनिक वाष्प निक्षेपण टँटलम कार्बाइड कोटिंग) हे मुख्यतः टँटलम कार्बाइड (TaC) बनलेले कोटिंग उत्पादन आहे. TaC कोटिंगमध्ये अत्यंत कडकपणा, पोशाख प्रतिरोध आणि उच्च तापमान प्रतिरोधकता आहे, ज्यामुळे ते मुख्य उपकरणांच्या घटकांचे संरक्षण करण्यासाठी आणि प्रक्रियेची विश्वासार्हता सुधारण्यासाठी एक आदर्श पर्याय बनते. सेमीकंडक्टर प्रक्रियेत ही एक अपरिहार्य सामग्री आहे.

CVD TaC कोटिंग उत्पादने सहसा प्रतिक्रिया कक्ष, वेफर वाहक आणि नक्षीकाम उपकरणांमध्ये वापरली जातात आणि त्यामध्ये खालील मुख्य भूमिका बजावतात.

CVD TaC कोटिंग बहुतेक वेळा प्रतिक्रिया कक्षांच्या अंतर्गत घटकांसाठी वापरली जाते जसे की सब्सट्रेट्स, वॉल पॅनेल आणि हीटिंग एलिमेंट्स. त्याच्या उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोधनासह, ते उच्च तापमान, संक्षारक वायू आणि प्लाझ्मा यांच्या क्षरणास प्रभावीपणे प्रतिकार करू शकते, ज्यामुळे उपकरणांचे सेवा आयुष्य प्रभावीपणे वाढवते आणि प्रक्रियेची स्थिरता आणि उत्पादन उत्पादनाची शुद्धता सुनिश्चित होते.

याव्यतिरिक्त, TaC-कोटेड वेफर वाहक (जसे की क्वार्ट्ज बोट्स, फिक्स्चर इ.) उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधक आणि रासायनिक गंज प्रतिरोधक असतात. वेफर वाहक उच्च तापमानात वेफरसाठी विश्वासार्ह समर्थन प्रदान करू शकतो, वेफरचे दूषित होणे आणि विकृत रूप टाळू शकतो आणि अशा प्रकारे एकूण चिप उत्पन्न सुधारू शकतो.

शिवाय, VeTek सेमीकंडक्टरचे TaC कोटिंग विविध नक्षीकाम आणि पातळ फिल्म डिपॉझिशन उपकरणांमध्ये देखील मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते, जसे की प्लाझ्मा एचर, रासायनिक वाष्प निक्षेप प्रणाली, इ. या प्रक्रिया प्रणालींमध्ये, CVD TAC कोटिंग उच्च-ऊर्जा आयन बॉम्बस्फोट आणि मजबूत रासायनिक प्रतिक्रियांना तोंड देऊ शकते. , ज्यामुळे प्रक्रियेची अचूकता आणि पुनरावृत्तीची खात्री होते.

तुमच्या विशिष्ट गरजा काहीही असोत, आम्ही तुमच्या CVD TAC कोटिंग गरजांसाठी सर्वोत्तम उपाय जुळवू आणि कधीही तुमच्या सल्ल्याची अपेक्षा करू.

CVD TAC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

VeTek सेमीकंडक्टर CVD TAC कोटिंग उत्पादनांची दुकाने:

सेमीकंडक्टर चिप एपिटॅक्सी उद्योग साखळीचे विहंगावलोकन: