EPI प्राप्तकर्ता

VeTek सेमीकंडक्टरचे EPI ससेप्टर मागणी असलेल्या एपिटॅक्सियल उपकरणांच्या अनुप्रयोगांसाठी डिझाइन केले आहे. त्याची उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट रचना उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता, एकसमान औष्णिक एकसमानता प्रदान करते ज्यामध्ये सातत्यपूर्ण एपिटॅक्सियल लेयरची जाडी आणि प्रतिकार आणि दीर्घकाळ टिकणारा रासायनिक प्रतिकार असतो. आम्ही तुमच्या सहकार्यासाठी उत्सुक आहोत.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

VeTek सेमीकंडक्टर एक व्यावसायिक लीडर चायना EPI रिसीव्हर, ALD प्लॅनेटरी रिसीव्हर आणि TaC कोटेड ग्रेफाइट रिसीव्हर निर्माता आहे. आणि आमचा EPI ससेप्टर हा एक महत्त्वाचा घटक आहेएपिटॅक्सियल वाढसेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत. त्याचे मुख्य कार्य वेफरला आधार देणे आणि गरम करणे हे आहे जेणेकरून वेफरच्या पृष्ठभागावर उच्च-गुणवत्तेचा एपिटॅक्सियल लेयर समान रीतीने वाढू शकेल.

VeTek सेमीकंडक्टर्सचे EPI ससेप्टर्स सहसा उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइटचे बनलेले असतात आणि सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) च्या थराने लेपित असतात.या डिझाइनचे खालील प्रमुख फायदे आहेत:

● उच्च तापमान स्थिरता: EPI ससेप्टर उच्च तापमानाच्या वातावरणात स्थिर राहू शकतो, ज्यामुळे एपिटॅक्सियल लेयरची एकसमान वाढ होते.

● गंज प्रतिकार: SiC कोटिंगमध्ये उत्कृष्ट गंज प्रतिरोधक क्षमता असते आणि ते रासायनिक वायूंच्या धूपला प्रतिकार करू शकते, ट्रेचे सेवा आयुष्य वाढवते.

● थर्मल चालकता: SiC मटेरियलची उच्च थर्मल चालकता गरम करताना वेफरचे समान तापमान वितरण सुनिश्चित करते, ज्यामुळे एपिटॅक्सियल लेयरची गुणवत्ता सुधारते.

● थर्मल विस्तार गुणांक जुळणी: SiC चे थर्मल विस्तार गुणांक ग्रेफाइट प्रमाणेच आहे, थर्मल विस्तार आणि आकुंचन यामुळे कोटिंग शेडिंगची समस्या टाळते.