SiC लेपित बॅरल ससेप्टर

VeTek सेमीकंडक्टर एलपीई सिलिकॉन एपिटॅक्सी रिॲक्शन चेंबर्ससाठी घटक सोल्यूशन्सचा एक सर्वसमावेशक संच ऑफर करते, दीर्घ आयुष्य, स्थिर गुणवत्ता आणि सुधारित एपिटॅक्सियल लेयर उत्पन्न देते. आमच्या उत्पादनास जसे की SiC कोटेड बॅरल ससेप्टरला ग्राहकांकडून पोझिशन फीडबॅक मिळाला आहे. आम्ही Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy आणि अधिकसाठी तांत्रिक समर्थन देखील प्रदान करतो. किंमतीच्या माहितीसाठी मोकळ्या मनाने चौकशी करा.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील एक आघाडीचा SiC कोटिंग आणि TaC कोटिंग निर्माता, पुरवठादार आणि निर्यातक आहे. उत्पादनांच्या परिपूर्ण गुणवत्तेचा पाठपुरावा करणे, जेणेकरुन आमच्या SiC कोटेड बॅरल ससेप्टरचे अनेक ग्राहक समाधानी आहेत. अत्यंत डिझाइन, दर्जेदार कच्चा माल, उच्च कार्यक्षमता आणि स्पर्धात्मक किंमत ही प्रत्येक ग्राहकाला हवी असते आणि तेच आम्ही तुम्हाला देऊ शकतो. अर्थात, आमची परिपूर्ण विक्री-पश्चात सेवा देखील आवश्यक आहे. तुम्हाला आमच्या SiC कोटेड बॅरल ससेप्टर सेवांमध्ये स्वारस्य असल्यास, तुम्ही आता आमचा सल्ला घेऊ शकता, आम्ही तुम्हाला वेळेत उत्तर देऊ!

SiC Coated Barrel Susceptor Application Scenarios

VeTek सेमीकंडक्टर SiC कोटेड बॅरल ससेप्टर प्रामुख्याने LPE Si EPI अणुभट्ट्यांसाठी वापरला जातो

एलपीई (लिक्विड फेज एपिटॅक्सी) सिलिकॉन एपिटॅक्सी हे सिलिकॉन सब्सट्रेट्सवर सिंगल-क्रिस्टल सिलिकॉनचे पातळ थर जमा करण्यासाठी सामान्यतः वापरले जाणारे सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल ग्रोथ तंत्र आहे. क्रिस्टल वाढ साध्य करण्यासाठी द्रावणातील रासायनिक अभिक्रियांवर आधारित ही द्रव-चरण वाढीची पद्धत आहे.

एलपीई सिलिकॉन एपिटॅक्सीच्या मूलभूत तत्त्वामध्ये सब्सट्रेटला इच्छित सामग्री असलेल्या सोल्युशनमध्ये बुडवणे, तापमान आणि द्रावणाची रचना नियंत्रित करणे, द्रावणातील सामग्री सिंगल-क्रिस्टल सिलिकॉन थर म्हणून वाढू देते.

थर पृष्ठभाग वर. एपिटॅक्सियल वाढीदरम्यान वाढीची परिस्थिती आणि सोल्यूशनची रचना समायोजित करून, इच्छित क्रिस्टल गुणवत्ता, जाडी आणि डोपिंग एकाग्रता मिळवता येते.

LPE सिलिकॉन एपिटॅक्सी अनेक वैशिष्ट्ये आणि फायदे देते. प्रथम, ते तुलनेने कमी तापमानात केले जाऊ शकते, ज्यामुळे सामग्रीमध्ये थर्मल ताण आणि अशुद्धता प्रसार कमी होतो. दुसरे म्हणजे, LPE सिलिकॉन एपिटॅक्सी उच्च एकसमानता आणि उत्कृष्ट क्रिस्टल गुणवत्ता प्रदान करते, उच्च-कार्यक्षमता सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मितीसाठी योग्य आहे. याव्यतिरिक्त, एलपीई तंत्रज्ञान जटिल संरचनांची वाढ सक्षम करते, जसे की मल्टीलेअर आणि हेटरोस्ट्रक्चर्स.

एलपीई सिलिकॉन एपिटॅक्सीमध्ये, SiC कोटेड बॅरल ससेप्टर हा एक महत्त्वाचा एपिटॅक्सियल घटक आहे. हे सामान्यत: तापमान आणि वातावरण नियंत्रण प्रदान करताना एपिटॅक्सियल वाढीसाठी आवश्यक सिलिकॉन सब्सट्रेट्स ठेवण्यासाठी आणि समर्थन देण्यासाठी वापरले जाते. SiC कोटिंग उच्च-तापमान टिकाऊपणा आणि ससेप्टरची रासायनिक स्थिरता वाढवते, एपिटॅक्सियल वाढ प्रक्रियेच्या आवश्यकता पूर्ण करते. SiC कोटेड बॅरल ससेप्टरचा वापर करून, उच्च-गुणवत्तेच्या एपिटॅक्सियल स्तरांची वाढ सुनिश्चित करून, एपिटॅक्सियल वाढीची कार्यक्षमता आणि सातत्य सुधारले जाऊ शकते.

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म
मालमत्ता	ठराविक मूल्य
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड
घनता	3.21 g/cm³
कडकपणा	2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड)
धान्य आकार	2~10μm
रासायनिक शुद्धता	99.99995%
उष्णता क्षमता	640 J·kg^-1· के^-1
उदात्तीकरण तापमान	2700℃
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	415 MPa RT 4-पॉइंट
तरुणांचे मॉड्यूलस	430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
थर्मल चालकता	300W·m^-1· के^-1
थर्मल विस्तार (CTE)	४.५×१०^-6K^-1