SiC लेपित खोल UV LED ससेप्टर

SiC कोटेड डीप UV LED ससेप्टर कार्यक्षम आणि स्थिर डीप UV LED एपिटॅक्सियल लेयरच्या वाढीस समर्थन देण्यासाठी MOCVD प्रक्रियेसाठी डिझाइन केले आहे. VeTek सेमीकंडक्टर चीनमधील SiC कोटेड डीप UV LED ससेप्टरचा एक अग्रगण्य निर्माता आणि पुरवठादार आहे. आमच्याकडे समृद्ध अनुभव आहे आणि आम्ही अनेक LED epitaxial उत्पादकांशी दीर्घकालीन सहकारी संबंध प्रस्थापित केले आहेत. आम्ही LEDs साठी ससेप्टर उत्पादनांचे सर्वोच्च देशांतर्गत उत्पादक आहोत. अनेक वर्षांच्या पडताळणीनंतर, आमच्या उत्पादनाचा कालावधी सर्वोच्च आंतरराष्ट्रीय उत्पादकांच्या बरोबरीने आहे. तुमच्या चौकशीची वाट पाहत आहे.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

SiC लेपित खोल UV LED ससेप्टर हा कोर बेअरिंग घटक आहेMOCVD (मेटल सेंद्रिय रासायनिक वाष्प जमा) उपकरणे. ससेप्टर खोल UV LED एपिटॅक्सियल ग्रोथची एकरूपता, जाडी नियंत्रण आणि सामग्रीच्या गुणवत्तेवर थेट परिणाम करतो, विशेषत: उच्च ॲल्युमिनियम सामग्रीसह ॲल्युमिनियम नायट्राइड (AlN) एपिटॅक्सियल लेयरच्या वाढीमध्ये, ससेप्टरची रचना आणि कार्यप्रदर्शन महत्त्वपूर्ण आहे.

SiC कोटेड डीप UV LED ससेप्टर विशेषत: डीप UV LED epitaxy साठी ऑप्टिमाइझ केलेले आहे, आणि कडक प्रक्रिया आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी थर्मल, यांत्रिक आणि रासायनिक पर्यावरणीय वैशिष्ट्यांवर आधारित अचूकपणे डिझाइन केलेले आहे.

VeTek सेमीकंडक्टर ऑपरेटिंग तापमान श्रेणीमध्ये ससेप्टरचे समान उष्णता वितरण सुनिश्चित करण्यासाठी प्रगत प्रक्रिया तंत्रज्ञान वापरते, तापमान ग्रेडियंटमुळे होणारी एपिटॅक्सियल लेयरची एकसमान वाढ टाळून. अचूक प्रक्रिया पृष्ठभागाचा खडबडीतपणा नियंत्रित करते, कणांचे प्रदूषण कमी करते आणि वेफर पृष्ठभागाच्या संपर्काची थर्मल चालकता कार्यक्षमता सुधारते.

VeTek सेमीकंडक्टर सामग्री म्हणून SGL ग्रेफाइट वापरते आणि पृष्ठभागावर उपचार केले जातातCVD SiC कोटिंग, जे NH3, HCl आणि उच्च तापमान वातावरणाचा दीर्घकाळ सामना करू शकते. VeTek सेमीकंडक्टरचा SiC कोटेड डीप UV LED ससेप्टर AlN/GaN एपिटॅक्सियल वेफर्सच्या थर्मल विस्तार गुणांकाशी जुळतो, प्रक्रियेदरम्यान थर्मल तणावामुळे वेफर वार्पिंग किंवा क्रॅकिंग कमी करतो.

सर्वात महत्त्वाचे म्हणजे, VeTek सेमीकंडक्टरचे SiC कोटेड डीप UV LED ससेप्टर मुख्य प्रवाहातील MOCVD उपकरणे (Veco K465i, EPIK 700, Aixtron Crius, इत्यादीसह) उत्तम प्रकारे जुळवून घेतो. वेफर आकार (2~8 इंच), वेफर स्लॉट डिझाइन, प्रक्रिया तापमान आणि इतर आवश्यकतांसाठी सानुकूलित सेवांना समर्थन देते.

अर्ज परिस्थिती:

● खोल UV LED तयारी: 260 nm (UV-C निर्जंतुकीकरण, निर्जंतुकीकरण आणि इतर फील्ड) खाली असलेल्या बँडमधील उपकरणांच्या एपिटॅक्सियल प्रक्रियेस लागू.

● नायट्राइड सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी: गॅलियम नायट्राइड (GaN) आणि ॲल्युमिनियम नायट्राइड (AlN) सारख्या सेमीकंडक्टर सामग्रीच्या एपिटॅक्सियल तयारीसाठी वापरला जातो.

● संशोधन-स्तरीय एपिटॅक्सियल प्रयोग: विद्यापीठे आणि संशोधन संस्थांमध्ये डीप यूव्ही एपिटॅक्सी आणि नवीन साहित्य विकास प्रयोग.

सशक्त तांत्रिक संघाच्या पाठिंब्याने, VeTek Semiconductor ग्राहकांच्या गरजेनुसार अद्वितीय वैशिष्ट्य आणि कार्ये असलेले ससेप्टर्स विकसित करण्यास, विशिष्ट उत्पादन प्रक्रियेस समर्थन देण्यास आणि दीर्घकालीन सेवा प्रदान करण्यास सक्षम आहे.

CVD SIC कोटिंग फिल्मचा SEM डेटा:

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म
मालमत्ता	ठराविक मूल्य
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड
SiC कोटिंग घनता	3.21 g/cm³
CVD SiC कोटिंग कडकपणा	2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड)
धान्य आकार	2~10μm
रासायनिक शुद्धता	99.99995%
उष्णता क्षमता	640 J·kg^-1· के^-1
उदात्तीकरण तापमान	2700℃
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	415 MPa RT 4-पॉइंट
तरुणांचे मॉड्यूलस	430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
थर्मल चालकता	300W·m^-1· के^-1
थर्मल विस्तार (CTE)	४.५×१०^-6K^-1