VeTek सेमीकंडक्टर SiC कोटेड ग्रेफाइट बॅरल ससेप्टर हा सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेला उच्च-कार्यक्षमता वेफर ट्रे आहे, उत्कृष्ट थर्मल चालकता, उच्च-तापमान आणि रासायनिक प्रतिरोधकता, उच्च-शुद्धता पृष्ठभाग आणि उत्पादन कार्यक्षमता वाढविण्यासाठी सानुकूल पर्याय ऑफर करतो. तुमच्या पुढील चौकशीचे स्वागत आहे.
VeTek Semiconductor SiC Coated Graphite Barrel Susceptor हे विशेषत: LPE अणुभट्ट्यांमध्ये सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेले प्रगत समाधान आहे. हा अत्यंत कार्यक्षम वेफर ट्रे सेमीकंडक्टर मटेरियलच्या वाढीस अनुकूल करण्यासाठी, मागणी असलेल्या उत्पादन वातावरणात उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करण्यासाठी इंजिनिअर केले आहे.
उच्च-तापमान आणि रासायनिक प्रतिकार: उच्च-तापमान अनुप्रयोगांच्या कठोरतेला तोंड देण्यासाठी तयार केलेले, SiC कोटेड बॅरल ससेप्टर थर्मल ताण आणि रासायनिक गंज यांना उल्लेखनीय प्रतिकार प्रदर्शित करते. त्याची SiC कोटिंग ग्रेफाइट सब्सट्रेटचे ऑक्सिडेशन आणि कठोर प्रक्रिया वातावरणात होऊ शकणाऱ्या इतर रासायनिक प्रतिक्रियांपासून संरक्षण करते. ही टिकाऊपणा केवळ उत्पादनाची आयुर्मान वाढवत नाही तर बदलण्याची वारंवारता देखील कमी करते, कमी ऑपरेशनल खर्च आणि उत्पादकता वाढण्यास योगदान देते.
अपवादात्मक थर्मल चालकता: SiC कोटेड ग्रेफाइट बॅरल ससेप्टरचे एक वैशिष्ट्य म्हणजे त्याची उत्कृष्ट थर्मल चालकता. हे गुणधर्म संपूर्ण वेफरमध्ये समान तापमान वितरणास अनुमती देते, उच्च-गुणवत्तेचे एपिटॅक्सियल स्तर प्राप्त करण्यासाठी आवश्यक आहे. कार्यक्षम उष्णता हस्तांतरण थर्मल ग्रेडियंट्स कमी करते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर स्ट्रक्चर्समध्ये दोष निर्माण होऊ शकतात, ज्यामुळे एपिटॅक्सी प्रक्रियेचे एकूण उत्पन्न आणि कार्यक्षमता वाढते.
उच्च-शुद्धता पृष्ठभाग: उच्च-पुCVD SiC कोटेड बॅरल ससेप्टरची रिटी पृष्ठभाग प्रक्रिया होत असलेल्या सेमीकंडक्टर सामग्रीची अखंडता राखण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे. दूषित घटक अर्धसंवाहकांच्या विद्युत गुणधर्मांवर विपरित परिणाम करू शकतात, ज्यामुळे सब्सट्रेटची शुद्धता यशस्वी एपिटॅक्सीमध्ये एक महत्त्वपूर्ण घटक बनते. त्याच्या परिष्कृत उत्पादन प्रक्रियेसह, SiC लेपित पृष्ठभाग कमीतकमी दूषिततेची खात्री देते, चांगल्या-गुणवत्तेच्या क्रिस्टल वाढीस आणि एकूण उपकरणाच्या कार्यक्षमतेस प्रोत्साहन देते.
SiC कोटेड ग्रेफाइट बॅरल ससेप्टरचा प्राथमिक उपयोग LPE अणुभट्ट्यांमध्ये आहे, जेथे ते उच्च-गुणवत्तेच्या अर्धसंवाहक स्तरांच्या वाढीमध्ये महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते. इष्टतम उष्णता वितरण सुलभ करताना अत्यंत परिस्थितीमध्ये स्थिरता राखण्याची त्याची क्षमता प्रगत सेमीकंडक्टर उपकरणांवर लक्ष केंद्रित करणाऱ्या उत्पादकांसाठी एक आवश्यक घटक बनवते. या ससेप्टरचा वापर करून, कंपन्या अत्याधुनिक तंत्रज्ञानाच्या विकासाचा मार्ग मोकळा करून उच्च-शुद्धता सेमीकंडक्टर सामग्रीच्या उत्पादनात वर्धित कामगिरीची अपेक्षा करू शकतात.
VeTeksemi सेमीकंडक्टर उद्योगाला प्रगत तंत्रज्ञान आणि उत्पादन उपाय प्रदान करण्यासाठी दीर्घकाळापासून वचनबद्ध आहे. VeTek सेमीकंडक्टरचे SiC-कोटेड ग्रेफाइट बॅरल ससेप्टर्स विशिष्ट अनुप्रयोग आणि आवश्यकतांनुसार तयार केलेले सानुकूलित पर्याय देतात. परिमाणे बदलणे असो, विशिष्ट थर्मल गुणधर्म वाढवणे असो, किंवा विशिष्ट प्रक्रियांसाठी अद्वितीय वैशिष्ट्ये जोडणे असो, VeTek सेमीकंडक्टर ग्राहकांच्या गरजा पूर्ण करणारी समाधाने प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे. चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी आम्ही प्रामाणिकपणे उत्सुक आहोत.
CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म |
|
मालमत्ता |
ठराविक मूल्य |
क्रिस्टल स्ट्रक्चर |
FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड |
कोटिंग घनता |
3.21 g/cm³ |
SiC कोटिंग कडकपणा |
2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड) |
धान्य आकार |
2~10μm |
रासायनिक शुद्धता |
99.99995% |
उष्णता क्षमता |
640 J·kg-1· के-1 |
उदात्तीकरण तापमान |
2700℃ |
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ |
415 MPa RT 4-पॉइंट |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃ |
थर्मल चालकता |
300W·m-1· के-1 |
थर्मल विस्तार (CTE) |
४.५×१०-6K-1 |