VeTek सेमीकंडक्टर चीनमधील MOCVD साठी SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टरचा एक आघाडीचा निर्माता आणि पुरवठादार आहे, जो सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी SiC कोटिंग ऍप्लिकेशन्स आणि एपिटॅक्सियल सेमीकंडक्टर उत्पादनांमध्ये विशेषज्ञ आहे. आमचे MOCVD SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर्स स्पर्धात्मक गुणवत्ता आणि किंमत ऑफर करतात, युरोप आणि अमेरिकेतील बाजारपेठेत सेवा देतात. सेमीकंडक्टर उत्पादनात प्रगती करण्यासाठी आम्ही तुमचे दीर्घकालीन, विश्वासू भागीदार बनण्यासाठी वचनबद्ध आहोत.
एमओसीव्हीडीसाठी VeTek सेमीकंडक्टरचे SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर हे उच्च-शुद्धता असलेले SiC कोटेड ग्रेफाइट वाहक आहे, विशेषत: वेफर चिप्सवर एपिटॅक्सियल लेयर वाढीसाठी डिझाइन केलेले आहे. MOCVD प्रक्रियेतील मध्यवर्ती घटक म्हणून, सामान्यत: गियर किंवा रिंगच्या रूपात आकार दिला जातो, तो अत्यंत वातावरणात स्थिरता सुनिश्चित करून अपवादात्मक उष्णता प्रतिरोधक आणि गंज प्रतिरोधकपणा वाढवतो.
● फ्लेक-प्रतिरोधक कोटिंग: सर्व पृष्ठभागावर एकसमान SiC कोटिंग कव्हरेज सुनिश्चित करते, कण वेगळे होण्याचा धोका कमी करते
● उत्कृष्ट उच्च-तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोधकce: 1600°C पर्यंत तापमानात स्थिर राहते
● उच्च शुद्धता: CVD रासायनिक वाष्प साठा करून उत्पादित, उच्च-तापमान क्लोरीनेशन परिस्थितीसाठी योग्य
● उत्कृष्ट गंज प्रतिकार: आम्ल, क्षार, क्षार आणि सेंद्रिय अभिकर्मकांना अत्यंत प्रतिरोधक
● ऑप्टिमाइझ केलेले लॅमिनार एअरफ्लो पॅटर्न: एअरफ्लो डायनॅमिक्सची एकसमानता वाढवते
● एकसमान थर्मल वितरण: उच्च-तापमान प्रक्रियेदरम्यान स्थिर उष्णता वितरण सुनिश्चित करते
● प्रदूषण प्रतिबंध: दूषित किंवा अशुद्धता पसरवण्यास प्रतिबंध करते, वेफरची स्वच्छता सुनिश्चित करते
VeTek Semiconductor येथे, आम्ही आमच्या ग्राहकांना विश्वसनीय उत्पादने आणि सेवा वितरीत करून, गुणवत्ता मानकांचे कठोर पालन करतो. आम्ही केवळ प्रीमियम सामग्री निवडतो, उद्योग कार्यप्रदर्शन आवश्यकता पूर्ण करण्याचा आणि त्यापेक्षा जास्त करण्याचा प्रयत्न करतो. MOCVD साठी आमचा SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर गुणवत्तेसाठी या वचनबद्धतेचे उदाहरण देतो. आम्ही तुमच्या सेमीकंडक्टर वेफर प्रक्रियेच्या गरजा कशा पूर्ण करू शकतो याबद्दल अधिक जाणून घेण्यासाठी आमच्याशी संपर्क साधा.
CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म |
|
मालमत्ता |
ठराविक मूल्य |
क्रिस्टल स्ट्रक्चर |
FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड |
घनता |
3.21 g/cm³ |
कडकपणा |
2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड) |
धान्य आकार |
2~10μm |
रासायनिक शुद्धता |
99.99995% |
उष्णता क्षमता |
640 J·kg-1· के-1 |
उदात्तीकरण तापमान |
2700℃ |
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ |
415 MPa RT 4-पॉइंट |
तरुणांचे मॉड्यूलस |
430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃ |
थर्मल चालकता |
300W·m-1· के-1 |
थर्मल विस्तार (CTE) |
४.५×१०-6K-1 |