SiC लेपित सपोर्ट रिंग

VeTek सेमीकंडक्टर, चीनमध्ये स्थित एक अग्रगण्य निर्माता आणि पुरवठादार, विविध उत्पादनांच्या निर्मितीमध्ये माहिर आहेSiC लेपित समर्थन रिंग, CVD सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्ज, टँटलम कार्बाइड कोटिंग्ज, बल्क SiC, SiC पावडर आणि उच्च-शुद्धता SiC साहित्य. आमचे समर्पण सर्वसमावेशक तांत्रिक सहाय्य आणि सेमीकंडक्टर क्षेत्रासाठी तयार केलेले इष्टतम उत्पादन संकल्प प्रदान करण्यात आहे. अधिक माहिती आणि सहाय्यासाठी मोकळ्या मनाने आमच्याशी संपर्क साधा.

VeTek सेमीकंडक्टरच्याSiC लेपित समर्थन रिंगउच्च तापमान प्रतिरोधक सामग्रीची नवीन पिढी आहे. गंज प्रतिरोधक कोटिंग्ज, ऑक्सिडेशन प्रतिरोधक कोटिंग्स आणि परिधान प्रतिरोधक कोटिंग्स म्हणून, ते 1650℃ वरील वातावरणात वापरले जाऊ शकतात आणि सेमीकंडक्टर फील्डमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात.

ची उच्च-गुणवत्तेची वैशिष्ट्येSiC लेपित समर्थन रिंगतिसऱ्या पिढीतील सेमीकंडक्टर घटकांच्या एपिटॅक्सियल वाढीमध्ये खूप महत्त्वाची भूमिका बजावते.

तापमान एकसमान राखणे: SiC कोटेड सपोर्ट रिंग्समध्ये उत्कृष्ट थर्मल चालकता असते आणि ते एपिटॅक्सियल वाढीदरम्यान समान तापमान वितरण प्रदान करू शकतात. हे वेफर पृष्ठभागावरील थर्मल ग्रेडियंट आणि ताण कमी करण्यास मदत करते, ज्यामुळे एपिटॅक्सियल लेयरची गुणवत्ता सुधारते.

अत्यंत रासायनिक स्थिरता: एपिटॅक्सियल वाढ प्रक्रियेदरम्यान,SiC लेपित समर्थन रिंगप्रतिक्रिया वायूंच्या रासायनिक हल्ल्याचा प्रतिकार करण्यास सक्षम आहेत, सपोर्ट रिंगचे आयुष्य वाढवतात आणि प्रक्रियेची अखंडता राखतात. ही रासायनिक स्थिरता दूषित होण्याचा धोका कमी करण्यास आणि सेमीकंडक्टर उपकरणांची शुद्धता आणि कार्यप्रदर्शन सुधारण्यास मदत करते.

अचूक पोझिशनिंग: SiC कोटेड सपोर्ट रिंग्स वेफरची अचूक स्थिती राखण्यास सक्षम आहेत, जे एकसमान थर ठेवण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे. ही अचूक स्थिती एपिटॅक्सियल लेयरची जाडी आणि गुणवत्तेची सुसंगतता सुनिश्चित करण्यात मदत करते.

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

VeTek सेमीकंडक्टर उत्पादन दुकान:

सेमीकंडक्टर चिप एपिटॅक्सी इंडस्ट्री चेनचे विहंगावलोकन: