सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटर

चीनमध्ये व्यावसायिक सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटर निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून, सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटर हे ग्रेफाइट सब्सट्रेटने बनलेले आणि त्याच्या पृष्ठभागावर सिलिकॉन कार्बन सिरेमिक (SiC) कोटिंगसह लेपित केलेले उच्च-कार्यक्षमता हीटर आहे. त्याच्या संमिश्र मटेरियल डिझाइनसह, हे उत्पादन सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये उत्कृष्ट हीटिंग सोल्यूशन्स प्रदान करते. आपल्या चौकशीचे स्वागत आहे.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

VeTek सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटरग्रेफाइटची उत्कृष्ट विद्युत आणि थर्मल चालकता उच्च तापमान प्रतिरोध, गंज प्रतिकार आणि सिलिकॉन कार्बन सिरॅमिक कोटिंगची परिधान प्रतिरोधकता एकत्र करते आणि कठोर सेमीकंडक्टर उत्पादन वातावरणासाठी डिझाइन केलेले आहे.

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटरहे मुख्यत्वे व्हॅक्यूम कोटिंग (बाष्पीभवन) उपकरणांमध्ये वापरले जाते आणि PCD (प्लाझ्मा केमिकल ड्रायिंग) आणि PVD (भौतिक वाष्प निक्षेप) या पद्धती सामान्यतः वापरल्या जातात. सेमीकंडक्टर उद्योगात तांत्रिक प्रगती आणि उत्पादन कार्यक्षमता सुधारण्यात या उत्पादनाने महत्त्वाची भूमिका बजावली आहे.आम्ही तुमच्या पुढील सहकार्यासाठी प्रामाणिकपणे उत्सुक आहोत.

सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटरची सामग्री आणि संरचनात्मक वैशिष्ट्ये खालीलप्रमाणे आहेत:

ग्रेफाइट सब्सट्रेट: ग्रेफाइट त्याच्या उच्च थर्मल चालकता आणि कमी थर्मल विस्तार गुणांकासाठी ओळखले जाते. हे तापमान बदलांना त्वरीत प्रतिसाद देऊ शकते आणि उच्च तापमानात संरचनात्मक स्थिरता राखू शकते.

सिलिकॉन कार्बन सिरेमिक कोटिंग: SiC कोटिंग ग्रेफाइटच्या पृष्ठभागावर रासायनिक वाष्प साठा किंवा इतर प्रगत प्रक्रियेद्वारे समान रीतीने लेपित केले जाते. SiC मध्ये अत्यंत उच्च कडकपणा आणि रासायनिक गंज प्रतिरोधक क्षमता आहे, जे उच्च-तापमान ऑक्सिडेशन आणि संक्षारक वातावरणापासून ग्रेफाइट सब्सट्रेटचे संरक्षण करू शकते.

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटरचे विशेष उत्पादन संरचनात्मक डिझाइन निर्धारित करतेसेमीकंडक्टर प्रक्रिया प्रक्रियेत या उत्पादनाचे अपरिवर्तनीय उत्पादन फायदे:

कार्यक्षम आणि एकसमान हीटिंग:

थर्मल चालकता: ग्रेफाइटची उच्च थर्मल चालकता हीटरला आवश्यक तपमान पटकन पोहोचण्यास आणि राखण्यास सक्षम करते आणि SiC कोटिंग उष्णतेचे एकसमान वितरण सुनिश्चित करते. हे विशेषतः सेमीकंडक्टर प्रक्रियांसाठी महत्वाचे आहे ज्यांना अचूक तापमान नियंत्रण आवश्यक आहे, जसे की जलद थर्मल प्रोसेसिंग (RTP) आणि रासायनिक वाष्प जमा करणे (CVD).

तापमान एकसमानता: एकसमान उष्णता वितरणाद्वारे, सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटर थर्मल ताण आणि तापमान ग्रेडियंट प्रभावीपणे कमी करू शकते, ज्यामुळे संपूर्ण हीटिंग प्रक्रियेत सेमीकंडक्टर वेफर्सची स्थिरता आणि गुणवत्ता स्थिरता सुनिश्चित होते.

विरोधी गंज संरक्षण:

रासायनिक प्रतिकार: SiC कोटिंगचा रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध हीटरला संक्षारक वायू आणि रासायनिक वातावरणात स्थिरपणे आणि दीर्घकाळ काम करण्यास सक्षम करते, ग्रेफाइट सब्सट्रेटला होणारे नुकसान टाळते. रासायनिक वाष्प संचय (CVD) आणि प्लाझ्मा वर्धित रासायनिक वाष्प संचय (PECVD) सारख्या प्रक्रियांमध्ये हे वैशिष्ट्य विशेषतः गंभीर आहे.

ऑक्सिडेशन प्रतिकार: उच्च तापमानात, SiC कोटिंग ग्रेफाइट सब्सट्रेटचे ऑक्सिडेशन रोखू शकते, हीटरचे सेवा आयुष्य वाढवू शकते आणि उपकरणांच्या देखभालीची वारंवारता आणि खर्च कमी करू शकते.

कण दूषित होणे कमी करा:

पृष्ठभाग स्थिरता: SiC कोटिंग केवळ पोशाख-प्रतिरोधक नाही, तर थर्मल सायकलिंग किंवा रासायनिक अभिक्रियांमुळे कणांना सामग्रीच्या पृष्ठभागावरून पडण्यापासून प्रतिबंधित करते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उत्पादनादरम्यान उद्भवू शकणारे कण दूषित होण्याचा धोका कमी होतो आणि उच्च-स्वच्छता प्रक्रिया वातावरण सुनिश्चित होते.

प्रक्रिया विश्वसनीयता आणि कार्यक्षमता सुधारित करा:

दीर्घ आयुष्य डिझाइन: ग्रेफाइटची यांत्रिक शक्ती आणि SiC कोटिंगचा पोशाख प्रतिरोध यांच्या संयोगामुळे, सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटर कठोर प्रक्रियेच्या परिस्थितीत दीर्घकाळ उच्च-कार्यक्षमता राखू शकते, ज्यामुळे उपकरणांच्या एकूण विश्वासार्हतेमध्ये लक्षणीय सुधारणा होते.

कार्यक्षम ऊर्जा वापर: ग्रेफाइटची उच्च थर्मल चालकता आणि SiC कोटिंगची उच्च-तापमान स्थिरता हीटरला तापमान नियंत्रण अचूकता सुधारताना ऊर्जेचा वापर कमी करण्यास सक्षम करते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उत्पादनाची एकूण कार्यक्षमता सुधारते.

चे मूलभूत भौतिक गुणधर्मसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटर: