सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग

चीनमधील व्यावसायिक सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंग निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून, वेटेक सेमीकंडक्टरचे सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंग सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांच्या मुख्य घटकांवर मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते, विशेषत: जेव्हा CVD आणि PECVD प्रक्रियांचा समावेश असतो. आपल्या चौकशीचे स्वागत आहे.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

वेटेक सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगअत्यंत कठोर आणि पोशाख-प्रतिरोधक सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सामग्रीपासून बनविलेले उच्च-कार्यक्षम संरक्षणात्मक कोटिंग आहे, जे उत्कृष्ट रासायनिक गंज प्रतिरोधक आणि उच्च तापमान स्थिरता प्रदान करते. सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये हे गुणधर्म महत्त्वपूर्ण आहेत, म्हणून सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंग सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांच्या मुख्य घटकांवर मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते.

वेटेक सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगद्वारे सेमीकंडक्टर उत्पादनात विशिष्ट भूमिका बजावली जातेखालीलप्रमाणे:

उपकरणे टिकाऊपणा वाढवा: सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंग सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांसाठी अत्यंत उच्च कडकपणा आणि पोशाख प्रतिरोधकतेसह उत्कृष्ट पृष्ठभाग संरक्षण प्रदान करते. विशेषत: उच्च-तापमान, अत्यंत संक्षारक प्रक्रिया वातावरणात, जसे की रासायनिक वाफ जमा करणे (CVD) आणि प्लाझ्मा एचिंग, सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंग रासायनिक धूप किंवा भौतिक पोशाखांमुळे उपकरणाच्या पृष्ठभागाचे नुकसान प्रभावीपणे रोखू शकते, ज्यामुळे सेवा आयुष्य लक्षणीयरीत्या वाढवते. उपकरणे आणि वारंवार बदलणे आणि देखभाल यामुळे होणारा डाउनटाइम कमी करणे.

प्रक्रिया शुद्धता सुधारा: सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत, कोणत्याही लहान दूषिततेमुळे उत्पादनात दोष निर्माण होऊ शकतात. सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगची रासायनिक जडत्व अत्यंत परिस्थितीत स्थिर राहण्यास, सामग्रीला कण किंवा अशुद्धता सोडण्यापासून प्रतिबंधित करते आणि प्रक्रियेदरम्यान पर्यावरणाची शुद्धता सुनिश्चित करते. हे विशेषतः PECVD आणि आयन इम्प्लांटेशन सारख्या उच्च परिशुद्धता आणि उच्च स्वच्छता आवश्यक असलेल्या उत्पादन चरणांसाठी महत्वाचे आहे.

थर्मल व्यवस्थापन ऑप्टिमाइझ करा: उच्च-तापमान अर्धसंवाहक प्रक्रियेत, जसे की जलद थर्मल प्रक्रिया (RTP) आणि ऑक्सिडेशन प्रक्रिया, सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंगची उच्च थर्मल चालकता उपकरणांच्या आत एकसमान तापमान वितरण सक्षम करते. हे तापमानातील चढउतारांमुळे होणारे थर्मल ताण आणि सामग्रीचे विकृती कमी करण्यास मदत करते, ज्यामुळे उत्पादनाची अचूकता आणि सुसंगतता सुधारते.

जटिल प्रक्रिया वातावरणास समर्थन द्या: ICP एचिंग आणि PSS एचिंग प्रक्रियांसारख्या जटिल वातावरणीय नियंत्रणाची आवश्यकता असलेल्या प्रक्रियांमध्ये, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटरची स्थिरता आणि ऑक्सिडेशन प्रतिरोधक दीर्घकालीन ऑपरेशनमध्ये उपकरणांची स्थिर कार्यक्षमता सुनिश्चित करते, ज्यामुळे साहित्याचा ऱ्हास किंवा उपकरणे कमी होण्याचा धोका कमी होतो. पर्यावरणीय बदलांमुळे होणारे नुकसान.

वेटेक सेमीकंडक्टरउच्च-कार्यक्षमता उत्पादन आणि पुरवठा यावर लक्ष केंद्रित करतेसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग, आणि सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी प्रगत तंत्रज्ञान आणि उत्पादन उपाय प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे.आम्ही प्रामाणिकपणे चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार होण्याची आशा करतो.

चे मूलभूत भौतिक गुणधर्मसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग: