> उत्पादने > सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग > सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी

उत्पादने

नवीन उत्पादन

चीन सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी उत्पादक, पुरवठादार, कारखाना

उच्च-गुणवत्तेच्या सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सीची तयारी प्रगत तंत्रज्ञान आणि उपकरणे आणि उपकरणे उपकरणे यावर अवलंबून असते. सध्या, सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी ग्रोथ पद्धत सर्वात जास्त वापरली जाणारी रासायनिक वाष्प जमा करणे (CVD) आहे. यात एपिटॅक्सियल फिल्मची जाडी आणि डोपिंग एकाग्रता, कमी दोष, मध्यम वाढीचा दर, स्वयंचलित प्रक्रिया नियंत्रण इत्यादींचे अचूक नियंत्रण करण्याचे फायदे आहेत आणि हे एक विश्वासार्ह तंत्रज्ञान आहे जे यशस्वीरित्या व्यावसायिकरित्या लागू केले गेले आहे.

सिलिकॉन कार्बाइड सीव्हीडी एपिटॅक्सी सामान्यत: हॉट वॉल किंवा उबदार वॉल सीव्हीडी उपकरणे स्वीकारते, जे उच्च वाढ तापमान परिस्थितीत (1500 ~ 1700℃), गरम भिंत किंवा उबदार वॉल CVD च्या विकासाच्या वर्षांनंतर एपिटॅक्सी लेयर 4H क्रिस्टलीय SiC चालू ठेवण्याची खात्री देते. इनलेट एअर फ्लो दिशा आणि सब्सट्रेट पृष्ठभाग यांच्यातील संबंध, प्रतिक्रिया कक्ष क्षैतिज रचना अणुभट्टी आणि अनुलंब संरचना अणुभट्टीमध्ये विभागली जाऊ शकते.

एसआयसी एपिटॅक्सियल फर्नेसच्या गुणवत्तेसाठी तीन मुख्य निर्देशक आहेत, पहिले एपिटॅक्सियल वाढ कार्यप्रदर्शन आहे, ज्यामध्ये जाडी एकसमानता, डोपिंग एकसमानता, दोष दर आणि वाढीचा दर समाविष्ट आहे; दुसरे म्हणजे उपकरणांचे स्वतःचे तापमान कार्यप्रदर्शन, ज्यामध्ये हीटिंग/कूलिंग रेट, कमाल तापमान, तापमान एकसारखेपणा समाविष्ट आहे; शेवटी, एका युनिटची किंमत आणि क्षमता यासह उपकरणाची स्वतःची किंमत कामगिरी.

तीन प्रकारचे सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सियल ग्रोथ फर्नेस आणि कोर ॲक्सेसरीज फरक

हॉट वॉल क्षैतिज CVD (LPE कंपनीचे ठराविक मॉडेल PE1O6), उबदार वॉल प्लॅनेटरी CVD (नमुनेदार मॉडेल Aixtron G5WWC/G10) आणि अर्ध-हॉट वॉल CVD (नुफ्लेअर कंपनीच्या EPIREVOS6 द्वारे प्रस्तुत) ही मुख्य प्रवाहातील एपिटॅक्सियल उपकरणे आहेत जी वास्तविक आहेत. या टप्प्यावर व्यावसायिक अनुप्रयोगांमध्ये. तीन तांत्रिक उपकरणांची स्वतःची वैशिष्ट्ये देखील आहेत आणि मागणीनुसार निवडली जाऊ शकतात. त्यांची रचना खालीलप्रमाणे दर्शविली आहे:

संबंधित मुख्य घटक खालीलप्रमाणे आहेत:

(a) गरम भिंतीचा आडवा प्रकार कोर भाग- हाफमून पार्ट्स असतात

डाउनस्ट्रीम इन्सुलेशन

मुख्य इन्सुलेशन वरच्या

वरचा अर्धचंद्र

अपस्ट्रीम इन्सुलेशन

संक्रमण तुकडा 2

संक्रमण तुकडा 1

बाह्य हवा नोजल

टॅपर्ड स्नॉर्कल

बाह्य आर्गॉन गॅस नोजल

आर्गॉन गॅस नोजल

वेफर सपोर्ट प्लेट

मध्यभागी पिन

केंद्रीय रक्षक

डाउनस्ट्रीम डाव्या संरक्षण कव्हर

डाउनस्ट्रीम उजवे संरक्षण कव्हर

अपस्ट्रीम डाव्या संरक्षण कव्हर

अपस्ट्रीम उजव्या संरक्षण कव्हर

बाजूची भिंत

ग्रेफाइट रिंग

संरक्षक वाटले

आधार वाटला

संपर्क ब्लॉक

गॅस आउटलेट सिलेंडर

(b) उबदार भिंतीचा ग्रह प्रकार

SiC कोटिंग प्लॅनेटरी डिस्क आणि TaC लेपित प्लॅनेटरी डिस्क

नुफ्लरे (जपान): ही कंपनी दुहेरी-चेंबर उभ्या भट्टी देते जे उत्पादन वाढीसाठी योगदान देते. उपकरणांमध्ये प्रति मिनिट 1000 क्रांती पर्यंत उच्च-गती रोटेशन वैशिष्ट्यीकृत आहे, जे एपिटॅक्सियल एकरूपतेसाठी अत्यंत फायदेशीर आहे. याव्यतिरिक्त, त्याची वायुप्रवाह दिशा इतर उपकरणांपेक्षा वेगळी आहे, अनुलंब खाली असल्याने, त्यामुळे कणांची निर्मिती कमी होते आणि कणांचे थेंब वेफर्सवर पडण्याची शक्यता कमी करते. आम्ही या उपकरणासाठी कोर SiC कोटेड ग्रेफाइट घटक प्रदान करतो.

SiC epitaxial उपकरणे घटकांचा पुरवठादार म्हणून, VeTek Semiconductor ग्राहकांना SiC epitaxy च्या यशस्वी अंमलबजावणीला समर्थन देण्यासाठी उच्च-गुणवत्तेचे कोटिंग घटक प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे.

View as

एक्सट्रॉन सॅटेलाइट वेफर वाहक

चीनमधील व्यावसायिक Aixtron Satellite Wafer Carrier उत्पादन निर्माता आणि नवोन्मेषक म्हणून, VeTek Semiconductor चे Aixtron Satellite Wafer Carrier हे AIXTRON उपकरणांमध्ये वापरले जाणारे वेफर वाहक आहे, जे मुख्यत्वे सेमीकंडक्टर प्रक्रियेत MOCVD प्रक्रियेमध्ये वापरले जाते, आणि विशेषतः उच्च-तापमान आणि उच्च-प्रसिशनसाठी योग्य आहे. सेमीकंडक्टर प्रक्रिया प्रक्रिया. MOCVD एपिटॅक्सियल ग्रोथ दरम्यान वाहक स्थिर वेफर सपोर्ट आणि एकसमान फिल्म डिपॉझिशन प्रदान करू शकतो, जे लेयर डिपॉझिशन प्रक्रियेसाठी आवश्यक आहे. तुमच्या पुढील सल्लामसलतीचे स्वागत आहे.

पुढे वाचा चौकशी पाठवा

LPE हाफमून SiC EPI अणुभट्टी

VeTek सेमीकंडक्टर हा एक व्यावसायिक LPE Halfmoon SiC EPI अणुभट्टी उत्पादन निर्माता, नवोदित आणि चीनमधील नेता आहे. LPE हाफमून SiC EPI अणुभट्टी हे विशेषत: उच्च-गुणवत्तेचे सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) एपिटॅक्सियल लेयर तयार करण्यासाठी डिझाइन केलेले उपकरण आहे, जे प्रामुख्याने सेमीकंडक्टर उद्योगात वापरले जाते. VeTek Semiconductor सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी आघाडीचे तंत्रज्ञान आणि उत्पादन उपाय प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे आणि तुमच्या पुढील चौकशीचे स्वागत करते.

पुढे वाचा चौकशी पाठवा

CVD SiC लेपित कमाल मर्यादा

चीनमधील व्यावसायिक CVD SiC कोटेड सीलिंग निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून, VeTek सेमीकंडक्टरच्या CVD SiC कोटेड सीलिंगमध्ये उच्च तापमान प्रतिरोध, गंज प्रतिकार, उच्च कडकपणा आणि कमी थर्मल विस्तार गुणांक यांसारखे उत्कृष्ट गुणधर्म आहेत, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर मॅन्युफ मॅन्युफमध्ये ते एक आदर्श सामग्री निवड होते. आम्ही तुमच्या पुढील सहकार्याची अपेक्षा करतो.

पुढे वाचा चौकशी पाठवा

CVD SiC ग्रेफाइट सिलेंडर

वेटेक सेमीकंडक्टरचा CVD SiC ग्रेफाइट सिलिंडर अर्धसंवाहक उपकरणांमध्ये महत्त्वाचा आहे, उच्च तापमान आणि दाब सेटिंग्जमध्ये अंतर्गत घटकांचे संरक्षण करण्यासाठी अणुभट्ट्यांमध्ये संरक्षणात्मक ढाल म्हणून काम करतो. हे रसायने आणि अति उष्णतेपासून प्रभावीपणे संरक्षण करते, उपकरणाची अखंडता टिकवून ठेवते. अपवादात्मक पोशाख आणि गंज प्रतिकारासह, ते आव्हानात्मक वातावरणात दीर्घायुष्य आणि स्थिरता सुनिश्चित करते. या कव्हर्सचा वापर केल्याने सेमीकंडक्टर उपकरणाची कार्यक्षमता वाढते, आयुर्मान वाढते आणि देखभाल आवश्यकता आणि नुकसानीचे धोके कमी होतात. आमच्या चौकशीसाठी आपले स्वागत आहे.

पुढे वाचा चौकशी पाठवा

CVD SiC कोटिंग नोजल

वेटेक सेमीकंडक्टरचे CVD SiC कोटिंग नोझल्स हे सेमीकंडक्टर उत्पादनादरम्यान सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री जमा करण्यासाठी LPE SiC एपिटॅक्सी प्रक्रियेत वापरले जाणारे महत्त्वपूर्ण घटक आहेत. कठोर प्रक्रिया वातावरणात स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी हे नोझल्स सामान्यत: उच्च-तापमान आणि रासायनिकदृष्ट्या स्थिर सिलिकॉन कार्बाइड सामग्रीचे बनलेले असतात. एकसमान डिपॉझिशनसाठी डिझाइन केलेले, सेमीकंडक्टर ऍप्लिकेशन्समध्ये वाढलेल्या एपिटॅक्सियल लेयरची गुणवत्ता आणि एकसमानता नियंत्रित करण्यात ते महत्त्वाची भूमिका बजावतात. तुमच्यासोबत दीर्घकालीन सहकार्याची अपेक्षा करत आहोत.

पुढे वाचा चौकशी पाठवा

CVD SiC कोटिंग प्रोटेक्टर

वेटेक सेमीकंडक्टर CVD SiC कोटिंग प्रोटेक्टर पुरवतो LPE SiC epitaxy वापरला जातो, "LPE" हा शब्द सामान्यतः कमी दाबाच्या रासायनिक वाष्प निक्षेपण (LPCVD) मध्ये लो प्रेशर एपिटॅक्सी (LPE) चा संदर्भ देतो. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये, एलपीई हे सिंगल क्रिस्टल थिन फिल्म्स वाढवण्यासाठी एक महत्त्वाचे प्रक्रिया तंत्रज्ञान आहे, ज्याचा वापर अनेकदा सिलिकॉन एपिटॅक्सियल लेयर्स किंवा इतर सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल लेयर वाढवण्यासाठी केला जातो. कृपया अधिक प्रश्नांसाठी आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

पुढे वाचा चौकशी पाठवा

<1 2 3 4 >

चीनमध्ये व्यावसायिक सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून, आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. तुम्हाला तुमच्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा पूर्ण करण्यासाठी सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असेल किंवा चीनमध्ये बनवलेले प्रगत आणि टिकाऊ सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी खरेदी करायचे असेल, तुम्ही आम्हाला संदेश देऊ शकता.