> उत्पादने > सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग > सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी

उत्पादने

नवीन उत्पादन

चीन सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी उत्पादक, पुरवठादार, कारखाना

उच्च-गुणवत्तेच्या सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सीची तयारी प्रगत तंत्रज्ञान आणि उपकरणे आणि उपकरणे उपकरणे यावर अवलंबून असते. सध्या, सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी ग्रोथ पद्धत सर्वात जास्त वापरली जाणारी रासायनिक वाष्प जमा करणे (CVD) आहे. यात एपिटॅक्सियल फिल्मची जाडी आणि डोपिंग एकाग्रता, कमी दोष, मध्यम वाढीचा दर, स्वयंचलित प्रक्रिया नियंत्रण इत्यादींचे अचूक नियंत्रण करण्याचे फायदे आहेत आणि हे एक विश्वासार्ह तंत्रज्ञान आहे जे यशस्वीरित्या व्यावसायिकरित्या लागू केले गेले आहे.

सिलिकॉन कार्बाइड सीव्हीडी एपिटॅक्सी सामान्यत: हॉट वॉल किंवा उबदार वॉल सीव्हीडी उपकरणे स्वीकारते, जे उच्च वाढ तापमान परिस्थितीत (1500 ~ 1700℃), गरम भिंत किंवा उबदार वॉल CVD च्या विकासाच्या वर्षांनंतर एपिटॅक्सी लेयर 4H क्रिस्टलीय SiC चालू ठेवण्याची खात्री देते. इनलेट एअर फ्लो दिशा आणि सब्सट्रेट पृष्ठभाग यांच्यातील संबंध, प्रतिक्रिया कक्ष क्षैतिज रचना अणुभट्टी आणि अनुलंब संरचना अणुभट्टीमध्ये विभागली जाऊ शकते.

एसआयसी एपिटॅक्सियल फर्नेसच्या गुणवत्तेसाठी तीन मुख्य निर्देशक आहेत, पहिले एपिटॅक्सियल वाढ कार्यप्रदर्शन आहे, ज्यामध्ये जाडी एकसमानता, डोपिंग एकसमानता, दोष दर आणि वाढीचा दर समाविष्ट आहे; दुसरे म्हणजे उपकरणांचे स्वतःचे तापमान कार्यप्रदर्शन, ज्यामध्ये हीटिंग/कूलिंग रेट, कमाल तापमान, तापमान एकसारखेपणा समाविष्ट आहे; शेवटी, एका युनिटची किंमत आणि क्षमता यासह उपकरणाची स्वतःची किंमत कामगिरी.

तीन प्रकारचे सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सियल ग्रोथ फर्नेस आणि कोर ॲक्सेसरीज फरक

हॉट वॉल क्षैतिज CVD (LPE कंपनीचे ठराविक मॉडेल PE1O6), उबदार वॉल प्लॅनेटरी CVD (नमुनेदार मॉडेल Aixtron G5WWC/G10) आणि अर्ध-हॉट वॉल CVD (नुफ्लेअर कंपनीच्या EPIREVOS6 द्वारे प्रस्तुत) ही मुख्य प्रवाहातील एपिटॅक्सियल उपकरणे आहेत जी वास्तविक आहेत. या टप्प्यावर व्यावसायिक अनुप्रयोगांमध्ये. तीन तांत्रिक उपकरणांची स्वतःची वैशिष्ट्ये देखील आहेत आणि मागणीनुसार निवडली जाऊ शकतात. त्यांची रचना खालीलप्रमाणे दर्शविली आहे:

संबंधित मुख्य घटक खालीलप्रमाणे आहेत:

(a) गरम भिंतीचा आडवा प्रकार कोर भाग- हाफमून पार्ट्स असतात

डाउनस्ट्रीम इन्सुलेशन

मुख्य इन्सुलेशन वरच्या

वरचा अर्धचंद्र

अपस्ट्रीम इन्सुलेशन

संक्रमण तुकडा 2

संक्रमण तुकडा 1

बाह्य हवा नोजल

टॅपर्ड स्नॉर्कल

बाह्य आर्गॉन गॅस नोजल

आर्गॉन गॅस नोजल

वेफर सपोर्ट प्लेट

मध्यभागी पिन

केंद्रीय रक्षक

डाउनस्ट्रीम डाव्या संरक्षण कव्हर

डाउनस्ट्रीम उजवे संरक्षण कव्हर

अपस्ट्रीम डाव्या संरक्षण कव्हर

अपस्ट्रीम उजव्या संरक्षण कव्हर

बाजूची भिंत

ग्रेफाइट रिंग

संरक्षक वाटले

आधार वाटला

संपर्क ब्लॉक

गॅस आउटलेट सिलेंडर

(b) उबदार भिंतीचा ग्रह प्रकार

SiC कोटिंग प्लॅनेटरी डिस्क आणि TaC लेपित प्लॅनेटरी डिस्क

नुफ्लरे (जपान): ही कंपनी दुहेरी-चेंबर उभ्या भट्टी देते जे उत्पादन वाढीसाठी योगदान देते. उपकरणांमध्ये प्रति मिनिट 1000 क्रांती पर्यंत उच्च-गती रोटेशन वैशिष्ट्यीकृत आहे, जे एपिटॅक्सियल एकरूपतेसाठी अत्यंत फायदेशीर आहे. याव्यतिरिक्त, त्याची वायुप्रवाह दिशा इतर उपकरणांपेक्षा वेगळी आहे, अनुलंब खाली असल्याने, त्यामुळे कणांची निर्मिती कमी होते आणि कणांचे थेंब वेफर्सवर पडण्याची शक्यता कमी करते. आम्ही या उपकरणासाठी कोर SiC कोटेड ग्रेफाइट घटक प्रदान करतो.

SiC epitaxial उपकरणे घटकांचा पुरवठादार म्हणून, VeTek Semiconductor ग्राहकांना SiC epitaxy च्या यशस्वी अंमलबजावणीला समर्थन देण्यासाठी उच्च-गुणवत्तेचे कोटिंग घटक प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे.

View as

अल्ट्रा प्युअर ग्रेफाइट लोअर हाफमून

VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील सानुकूलित अल्ट्रा प्युअर ग्रेफाइट लोअर हाफमूनचा अग्रगण्य पुरवठादार आहे, जो अनेक वर्षांपासून प्रगत सामग्रीमध्ये विशेष आहे. आमचे अल्ट्रा प्युअर ग्रेफाइट लोअर हाफमून विशेषतः SiC एपिटॅक्सियल उपकरणांसाठी डिझाइन केले आहे, जे उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करते. अल्ट्रा-प्युअर इंपोर्टेड ग्रेफाइटपासून बनवलेले, ते विश्वासार्हता आणि टिकाऊपणा देते. आमचे उच्च-गुणवत्तेचे अल्ट्रा प्युअर ग्रेफाइट लोअर हाफमून प्रत्यक्ष एक्सप्लोर करण्यासाठी चीनमधील आमच्या कारखान्याला भेट द्या.

पुढे वाचा चौकशी पाठवा

अप्पर हाफमून भाग SiC लेपित

VeTek सेमीकंडक्टर हे चीनमध्ये सानुकूलित अप्पर हाफमून पार्ट SiC कोटेडचा एक प्रमुख पुरवठादार आहे, जो 20 वर्षांहून अधिक काळ प्रगत सामग्रीमध्ये विशेष आहे. VeTek सेमीकंडक्टर अप्पर हाफमून पार्ट SiC coated विशेषतः SiC epitaxial उपकरणांसाठी डिझाइन केले आहे, प्रतिक्रिया चेंबरमध्ये एक महत्त्वपूर्ण घटक म्हणून काम करते. अल्ट्रा-प्युअर, सेमीकंडक्टर-ग्रेड ग्रेफाइटपासून बनविलेले, ते उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करते. आम्ही तुम्हाला चीनमधील आमच्या कारखान्याला भेट देण्यासाठी आमंत्रित करतो.

पुढे वाचा चौकशी पाठवा

सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी वेफर वाहक

VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील एक अग्रगण्य सानुकूलित सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी वेफर वाहक पुरवठादार आहे. आम्ही 20 वर्षांहून अधिक प्रगत सामग्रीमध्ये विशेषीकृत आहोत. SiC सब्सट्रेट वाहून नेण्यासाठी, SiC epitaxy थर वाढवण्यासाठी SiC epitaxy Wafer Carrier ऑफर करतो. हा सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी वेफर वाहक हाफमूनच्या भागाचा एक महत्त्वाचा SiC लेपित भाग आहे, उच्च तापमान प्रतिरोधकता, ऑक्सिडेशन प्रतिरोधकता, परिधान प्रतिरोधकता. चीनमधील आमच्या कारखान्याला भेट देण्यासाठी आम्ही आपले स्वागत करतो.

पुढे वाचा चौकशी पाठवा

LPE अणुभट्टीसाठी 8 इंच हाफमून भाग

VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील LPE अणुभट्टी उत्पादक आणि नवोदितांसाठी एक अग्रगण्य 8 इंच हाफमून पार्ट आहे. आम्ही अनेक वर्षांपासून SiC कोटिंग मटेरियलमध्ये खास आहोत. आम्ही LPE SiC epitaxy अणुभट्टीसाठी विशेषतः डिझाइन केलेला LPE अणुभट्टीसाठी 8 इंच हाफमून पार्ट ऑफर करतो. हा अर्धचंद्राचा भाग अर्धसंवाहक उत्पादनासाठी त्याच्या इष्टतम आकार, सुसंगतता आणि उच्च उत्पादकतेसाठी एक बहुमुखी आणि कार्यक्षम उपाय आहे. चीनमधील आमच्या कारखान्याला भेट देण्यासाठी आम्ही तुमचे स्वागत करतो.

पुढे वाचा चौकशी पाठवा

<1 2 3 4 >

चीनमध्ये व्यावसायिक सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून, आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. तुम्हाला तुमच्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा पूर्ण करण्यासाठी सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असेल किंवा चीनमध्ये बनवलेले प्रगत आणि टिकाऊ सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी खरेदी करायचे असेल, तुम्ही आम्हाला संदेश देऊ शकता.