अल्ट्रा प्युअर ग्रेफाइट लोअर हाफमून

VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील सानुकूलित अल्ट्रा प्युअर ग्रेफाइट लोअर हाफमूनचा अग्रगण्य पुरवठादार आहे, जो अनेक वर्षांपासून प्रगत सामग्रीमध्ये विशेष आहे. आमचे अल्ट्रा प्युअर ग्रेफाइट लोअर हाफमून विशेषतः SiC एपिटॅक्सियल उपकरणांसाठी डिझाइन केले आहे, जे उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करते. अल्ट्रा-प्युअर इंपोर्टेड ग्रेफाइटपासून बनवलेले, ते विश्वासार्हता आणि टिकाऊपणा देते. आमचे उच्च-गुणवत्तेचे अल्ट्रा प्युअर ग्रेफाइट लोअर हाफमून प्रत्यक्ष एक्सप्लोर करण्यासाठी चीनमधील आमच्या कारखान्याला भेट द्या.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

VeTek सेमीकंडक्टर अल्ट्रा प्युअर ग्रेफाइट लोअर हाफमून प्रदान करण्यासाठी समर्पित व्यावसायिक निर्माता आहे. आमची उत्पादने अल्ट्रा प्युअर ग्रेफाइट लोअर हाफमून विशेषत: SiC एपिटॅक्सियल चेंबर्ससाठी डिझाइन केलेली आहेत आणि विविध उपकरणांच्या मॉडेल्ससह उत्कृष्ट कामगिरी आणि सुसंगतता देतात.

वैशिष्ट्ये:

कनेक्शन: VeTek सेमीकंडक्टर अल्ट्रा प्युअर ग्रेफाइट लोअर हाफमून क्वार्ट्ज ट्यूब्सशी जोडण्यासाठी डिझाइन केले आहे, वाहक बेसचे रोटेशन चालविण्यासाठी गॅस प्रवाह सुलभ करते.

तापमान नियंत्रण: उत्पादन तापमान नियंत्रणास अनुमती देते, प्रतिक्रिया कक्षातील इष्टतम परिस्थिती सुनिश्चित करते.

नॉन-कॉन्टॅक्ट डिझाइन: रिॲक्शन चेंबरमध्ये स्थापित केलेले, आमचे अल्ट्रा प्युअर ग्रेफाइट लोअर हाफमून थेट वेफर्सशी संपर्क साधत नाही, प्रक्रियेची अखंडता सुनिश्चित करते.

अर्ज परिस्थिती:

आमचे अल्ट्रा प्युअर ग्रेफाइट लोअर हाफमून SiC एपिटॅक्सियल चेंबर्समध्ये एक महत्त्वपूर्ण घटक म्हणून काम करते, जेथे ते 5 ppm पेक्षा कमी अशुद्धता राखण्यास मदत करते. जाडी आणि डोपिंग एकाग्रता एकसारखेपणा यासारख्या पॅरामीटर्सचे बारकाईने निरीक्षण करून, आम्ही उच्च दर्जाचे एपिटॅक्सियल स्तर सुनिश्चित करतो.

सुसंगतता:

VeTek सेमीकंडक्टरचे अल्ट्रा प्युअर ग्रेफाइट लोअर हाफमून हे LPE, NAURA, JSG, CETC, NASO TECH आणि अशाच अनेक उपकरणांच्या मॉडेल्सशी सुसंगत आहे.

आमचे उच्च-गुणवत्तेचे अल्ट्रा प्युअर ग्रेफाइट लोअर हाफमून प्रत्यक्ष एक्सप्लोर करण्यासाठी आम्ही तुम्हाला चीनमधील आमच्या कारखान्याला भेट देण्यास आमंत्रित करतो.

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म
मालमत्ता	ठराविक मूल्य
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड
घनता	3.21 g/cm³
कडकपणा	2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड)
धान्य आकार	2~10μm
रासायनिक शुद्धता	99.99995%
उष्णता क्षमता	640 J·kg-1·K-1
उदात्तीकरण तापमान	2700℃
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	415 MPa RT 4-पॉइंट
तरुणांचे मॉड्यूलस	430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
औष्मिक प्रवाहकता	300W·m-1·K-1
थर्मल विस्तार (CTE)	4.5×10-6K-1