अप्पर हाफमून भाग SiC लेपित

VeTek सेमीकंडक्टर हे चीनमध्ये सानुकूलित अप्पर हाफमून पार्ट SiC कोटेडचा एक प्रमुख पुरवठादार आहे, जो 20 वर्षांहून अधिक काळ प्रगत सामग्रीमध्ये विशेष आहे. VeTek सेमीकंडक्टर अप्पर हाफमून पार्ट SiC coated विशेषतः SiC epitaxial उपकरणांसाठी डिझाइन केले आहे, प्रतिक्रिया चेंबरमध्ये एक महत्त्वपूर्ण घटक म्हणून काम करते. अल्ट्रा-प्युअर, सेमीकंडक्टर-ग्रेड ग्रेफाइटपासून बनविलेले, ते उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करते. आम्ही तुम्हाला चीनमधील आमच्या कारखान्याला भेट देण्यासाठी आमंत्रित करतो.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

व्यावसायिक निर्माता म्हणून, आम्ही तुम्हाला उच्च दर्जाचे अप्पर हाफमून पार्ट SiC कोटेड प्रदान करू इच्छितो.

VeTek सेमीकंडक्टर अप्पर हाफमून पार्ट SiC कोटेड विशेषतः SiC एपिटॅक्सियल चेंबरसाठी डिझाइन केलेले आहे. त्यांच्याकडे अनुप्रयोगांची विस्तृत श्रेणी आहे आणि विविध उपकरणांच्या मॉडेल्सशी सुसंगत आहेत.

अर्ज परिस्थिती:

VeTek सेमीकंडक्टरमध्ये, आम्ही उच्च-गुणवत्तेच्या अप्पर हाफमून पार्ट SiC कोटेड तयार करण्यात माहिर आहोत. आमची SiC आणि TaC कोटेड उत्पादने विशेषतः SiC एपिटॅक्सियल चेंबरसाठी डिझाइन केलेली आहेत आणि विविध उपकरणांच्या मॉडेल्ससह व्यापक सुसंगतता देतात.

VeTek सेमीकंडक्टर अप्पर हाफमून पार्ट SiC coated हे SiC एपिटॅक्सियल चेंबरमधील घटक म्हणून काम करते. ते नियंत्रित तापमान परिस्थिती आणि वेफर्सशी अप्रत्यक्ष संपर्क सुनिश्चित करतात, अशुद्धता सामग्री 5 पीपीएमपेक्षा कमी ठेवतात.

इष्टतम एपिटॅक्सियल लेयर गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यासाठी, आम्ही जाडी आणि डोपिंग एकाग्रता एकसमानता यासारख्या गंभीर पॅरामीटर्सचे काळजीपूर्वक निरीक्षण करतो. आमच्या मूल्यांकनामध्ये उत्कृष्ट उत्पादन गुणवत्ता प्राप्त करण्यासाठी फिल्मची जाडी, वाहक एकाग्रता, एकसमानता आणि पृष्ठभागाच्या खडबडीत डेटाचे विश्लेषण समाविष्ट आहे.

VeTek सेमीकंडक्टर अप्पर हाफमून पार्ट SiC कोटेड LPE, NAURA, JSG, CETC, NASO TECH, आणि बरेच काही यासह विविध उपकरण मॉडेल्सशी सुसंगत आहे.

आमच्या उच्च-गुणवत्तेच्या अप्पर हाफमून पार्ट SiC कोटेड एक्सप्लोर करण्यासाठी किंवा आमच्या कारखान्याला भेट देण्यासाठी आजच आमच्याशी संपर्क साधा.

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म
मालमत्ता	ठराविक मूल्य
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड
घनता	3.21 g/cm³
कडकपणा	2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड)
धान्य आकार	2~10μm
रासायनिक शुद्धता	99.99995%
उष्णता क्षमता	640 J·kg-1·K-1
उदात्तीकरण तापमान	2700℃
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	415 MPa RT 4-पॉइंट
तरुणांचे मॉड्यूलस	430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
औष्मिक प्रवाहकता	300W·m-1·K-1
थर्मल विस्तार (CTE)	4.5×10-6K-1