सॉलिड SiC गॅस शॉवर हेड

VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील एक आघाडीचा सॉलिड SiC गॅस शॉवर हेड निर्माता आणि नवोदित आहे. आम्ही अनेक वर्षांपासून सेमीकंडक्टर मटेरियलमध्ये खास आहोत. VeTek सेमीकंडक्टर सॉलिड SiC गॅस शॉवर हेडचे मल्टी-पोरोसिटी डिझाइन हे सुनिश्चित करते की CVD प्रक्रियेत निर्माण होणारी उष्णता विखुरली जाऊ शकते. , सब्सट्रेट समान रीतीने गरम केले जाईल याची खात्री करून. आम्ही चीनमध्ये तुमच्यासोबत दीर्घकालीन सेट अप करण्यास उत्सुक आहोत.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

सॉलिड SiC गॅस शॉवर हेड

VeTek Semiconductor ही एक एकीकृत कंपनी आहे जी संशोधन, उत्पादन आणि विक्रीसाठी समर्पित आहे. 20 वर्षांहून अधिक अनुभवांसह, आमची टीम SiC, TaC कोटिंग्ज आणि CVD सॉलिड SiC मध्ये माहिर आहे. आमच्याकडून सॉलिड SiC गॅस शॉवर हेड खरेदी करण्यासाठी आपले स्वागत आहे.

VeTek सेमीकंडक्टर सॉलिड SiC गॅस शॉवर हेडचा वापर सेमीकंडक्टर CVD प्रक्रियेदरम्यान सब्सट्रेट पृष्ठभागावर समान रीतीने पूर्ववर्ती वायू वितरित करण्यासाठी केला जातो. शॉवर हेडसाठी CVD-SiC मटेरियल वापरल्याने अनेक फायदे मिळतात. त्याची उच्च थर्मल चालकता CVD प्रक्रियेत निर्माण होणारी उष्णता नष्ट करण्यास मदत करते, ज्यामुळे सब्सट्रेटवर समान तापमान वितरण सुनिश्चित होते. याव्यतिरिक्त, CVD sic शॉवर हेडची रासायनिक स्थिरता ते संक्षारक वायू आणि सामान्यतः CVD प्रक्रियेमध्ये येणारे कठोर वातावरण सहन करण्यास सक्षम करते.

CVD SiC शॉवर हेड्सचे डिझाइन विशिष्ट CVD सिस्टम आणि प्रक्रियेच्या आवश्यकतांनुसार तयार केले जाऊ शकते. तथापि, त्यामध्ये विशेषत: सुस्पष्टता-ड्रिल केलेल्या छिद्रे किंवा स्लॉट्सच्या मालिकेसह प्लेट किंवा डिस्क-आकाराचे घटक असतात. सब्सट्रेट पृष्ठभागावर एकसमान गॅस वितरण आणि प्रवाह वेग सुनिश्चित करण्यासाठी छिद्र नमुना आणि भूमिती काळजीपूर्वक डिझाइन केली आहे.

सॉलिड SiC चे भौतिक गुणधर्म

सॉलिड SiC चे भौतिक गुणधर्म
घनता	3.21	g/cm3
विद्युत प्रतिरोधकता	102	Ω/सेमी
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	590	एमपीए	(6000kgf/सेमी²)
यंगचे मॉड्यूलस	450	GPa	(6000kgf/mm²)
विकर्स कडकपणा	26	GPa	(2650kgf/mm²)
C.T.E.(RT-1000℃)	4.0	x10^-6/के
थर्मल चालकता (RT)	250	W/mK