TaC लेपित तीन-पाकळ्यांची रिंग

VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील अग्रगण्य TaC कोटेड थ्री-पेटल रिंग निर्माता आणि नवोदित आहे. आम्ही अनेक वर्षांपासून TaC आणि SiC कोटिंगमध्ये खास आहोत. आमच्या उत्पादनांमध्ये गंज प्रतिरोधक, उच्च ताकद आहे. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

VeTek सेमीकंडक्टर एक व्यावसायिक चायना TaC कोटेड तीन-पाकळ्या रिंग निर्माता आणि पुरवठादार आहे. TaC कोटेड थ्री-पाकळ्या रिंगचा वापर Aixtron G10-डिपॉझिशन सिस्टममध्ये कंपाऊंड सेमीकंडक्टर, G10-GaN 150/200 mm उच्च थ्रूपुट एपिटॅक्सी GaN पॉवर आणि RF साठी केला जातो. अनुप्रयोग

VeTek सेमीकंडक्टर TaC कोटिंग ही उच्च तापमान प्रतिरोधक सामग्रीची एक नवीन पिढी आहे, ज्यामध्ये SiC पेक्षा चांगली उच्च तापमान स्थिरता आहे, गंज प्रतिरोधक कोटिंग, ऑक्सिडेशन प्रतिरोधक कोटिंग, पोशाख-प्रतिरोधक कोटिंग, 2000℃ वरील वातावरणात मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाऊ शकते. एरोस्पेस अल्ट्रा-उच्च तापमान गरम अंत भाग, अर्धसंवाहक एकल क्रिस्टल वाढ आणि इतर फील्ड तिसरी पिढी.

उत्पादन वैशिष्ट्ये:

1. उच्च शुद्धता, अशुद्धता सामग्री < 5ppm

2. उच्च तापमान प्रतिकार, गंज प्रतिकार, उच्च घनता, उच्च घनता

3. हे उच्च तापमानात अमोनिया, हायड्रोजन, सिलेन आणि सिलिकॉनसाठी रासायनिकदृष्ट्या निष्क्रिय असते आणि त्याची थर्मल स्थिरता चांगली असते.

4. थर्मल शॉक प्रतिरोध, ऑपरेशन सायकल गती करू शकता

5. मजबूत ग्रेफाइट आसंजन दीर्घ सेवा आयुष्य आणि कोणतेही कोटिंग डिलेमिनेशन सुनिश्चित करते.

6. कठोर मितीय सहिष्णुता.

मुख्य अनुप्रयोग:

1. एपिटॅक्सियल वाढ

2. एकल क्रिस्टल वाढ

3. उच्च तापमान गंज वळवणे

4. उच्च तापमान आणि ऑक्सिडेशन प्रतिरोधक नोजल

5. गॅस टर्बाइन ब्लेड

TaC कोटेड थ्री-पेटल रिंगचे उत्पादन पॅरामीटर

TaC कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म
घनता	14.3 (g/cm³)
विशिष्ट उत्सर्जन	0.3
थर्मल विस्तार गुणांक	६.३ १०-६/के
कडकपणा (HK)	2000 HK
प्रतिकार	1×10-5 Ohm*cm
थर्मल स्थिरता	<2500℃
ग्रेफाइटचा आकार बदलतो	-10~-20um
कोटिंग जाडी	≥20um ठराविक मूल्य (35um±10um)