TaC कोटिंग चक

VeTek सेमीकंडक्टरचा TaC कोटिंग चक हा SiC EPI प्रक्रियेत अपवादात्मक परिणाम मिळविण्यासाठी एक आदर्श उपाय आहे. त्याचे TaC कोटिंग, उच्च-तापमान प्रतिरोध आणि रासायनिक जडत्व, आमचे उत्पादन आपल्याला अचूक आणि विश्वासार्हतेसह उच्च-गुणवत्तेचे क्रिस्टल्स तयार करण्यास सक्षम करते. आमच्या चौकशीसाठी आपले स्वागत आहे.

टीएसी (टँटलम कार्बाइड) ही एक सामग्री आहे जी सामान्यतः एपिटॅक्सियल उपकरणांच्या अंतर्गत भागांच्या पृष्ठभागावर कोट करण्यासाठी वापरली जाते. त्यात खालील वैशिष्ट्ये आहेत:

● उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिकार: TaC कोटिंग्स 2200°C पर्यंत तापमानाचा सामना करू शकतात, ज्यामुळे ते उच्च तापमान वातावरणात जसे की एपिटॅक्सियल रिॲक्शन चेंबर्समध्ये वापरण्यासाठी आदर्श बनतात.

● उच्च कडकपणा: TaC ची कठोरता सुमारे 2000 HK पर्यंत पोहोचते, जी सामान्यतः वापरल्या जाणाऱ्या स्टेनलेस स्टील किंवा ॲल्युमिनियम मिश्र धातुपेक्षा खूपच कठिण असते, ज्यामुळे पृष्ठभागावरील पोशाख प्रभावीपणे टाळता येतात.

● मजबूत रासायनिक स्थिरता: TaC कोटिंग रासायनिक दृष्ट्या संक्षारक वातावरणात चांगले कार्य करते आणि एपिटॅक्सियल उपकरणाच्या घटकांचे सेवा आयुष्य मोठ्या प्रमाणात वाढवू शकते.

● चांगली विद्युत चालकता: TaC कोटिंगमध्ये चांगली विद्युत चालकता असते, जी इलेक्ट्रोस्टॅटिक रिलीझ आणि उष्णता वहन करण्यास अनुकूल असते.

हे गुणधर्म TaC कोटिंगला अंतर्गत बुशिंग्ज, रिॲक्शन चेंबरच्या भिंती आणि एपिटॅक्सियल उपकरणांसाठी गरम करणारे घटक यासारख्या गंभीर भागांच्या निर्मितीसाठी एक आदर्श सामग्री बनवतात. या घटकांना TaC सह कोटिंग करून, एपिटॅक्सियल उपकरणांचे एकूण कार्यप्रदर्शन आणि सेवा जीवन सुधारले जाऊ शकते.

सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सीसाठी, TaC कोटिंग चंक देखील महत्त्वाची भूमिका बजावू शकतो. TaC ची पृष्ठभाग कोटिंग गुळगुळीत आणि दाट आहे, जे उच्च-गुणवत्तेच्या सिलिकॉन कार्बाइड फिल्म्सच्या निर्मितीसाठी अनुकूल आहे. त्याच वेळी, TaC ची उत्कृष्ट थर्मल चालकता उपकरणांच्या आत तापमान वितरणाची एकसमानता सुधारण्यास मदत करू शकते, ज्यामुळे एपिटॅक्सियल प्रक्रियेची तापमान नियंत्रण अचूकता सुधारते आणि शेवटी उच्च दर्जाची सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सियल लेयरची वाढ साध्य होते.