TaC कोटिंग मार्गदर्शक रिंग

VeTek सेमीकंडक्टर एक व्यावसायिक चायना TaC कोटिंग गाईड रिंग, TaC कोटिंग क्रूसिबल, सीड होल्डर निर्माता आणि पुरवठादार आहे.

SiC आणि AIN सिंगल क्रिस्टल फर्नेसमध्ये TaC कोटिंग क्रूसिबल, सीड होल्डर आणि TaC कोटिंग गाईड रिंग PVT पद्धतीने उगवले गेले.

जेव्हा SiC तयार करण्यासाठी भौतिक वाष्प वाहतूक पद्धत (PVT) वापरली जाते, तेव्हा बियाणे क्रिस्टल तुलनेने कमी तापमानाच्या प्रदेशात असते आणि SiC कच्चा माल तुलनेने उच्च तापमानाच्या प्रदेशात (2400 ℃ पेक्षा जास्त) असतो. कच्च्या मालाच्या विघटनाने SiXCy (प्रामुख्याने Si, SiC₂, Si₂C, इ.) तयार होते. बाष्प अवस्था सामग्री उच्च तापमानाच्या प्रदेशातून कमी तापमानाच्या प्रदेशात बीज क्रिस्टलमध्ये नेली जाते आणि न्यूक्लिट्स आणि वाढतात. एकच क्रिस्टल तयार करणे. या प्रक्रियेत वापरले जाणारे थर्मल फील्ड मटेरियल जसे की क्रूसिबल, फ्लो गाईड रिंग, सीड क्रिस्टल होल्डर, उच्च तापमानास प्रतिरोधक असावेत आणि SiC कच्चा माल आणि SiC सिंगल क्रिस्टल्स प्रदूषित करणार नाहीत. त्याचप्रमाणे, AlN सिंगल क्रिस्टल्सच्या वाढीतील गरम घटकांना Al वाष्प, N₂ गंजांना प्रतिरोधक असणे आवश्यक आहे आणि क्रिस्टल तयार करण्याचा कालावधी कमी करण्यासाठी उच्च युटेटिक तापमान (आणि AlN) असणे आवश्यक आहे.

असे आढळून आले की TaC लेपित ग्रेफाइट थर्मल फील्ड मटेरियलने तयार केलेले SiC आणि AlN स्वच्छ होते, जवळजवळ कोणतेही कार्बन (ऑक्सिजन, नायट्रोजन) आणि इतर अशुद्धता, कमी धार दोष, प्रत्येक प्रदेशात लहान प्रतिरोधकता, आणि मायक्रोपोर घनता आणि खोदकाम खड्डा घनता होती. लक्षणीयरीत्या कमी झाले (KOH एचिंग नंतर), आणि क्रिस्टल गुणवत्ता मोठ्या प्रमाणात सुधारली गेली. याव्यतिरिक्त, TaC क्रूसिबल वजन कमी करण्याचा दर जवळजवळ शून्य आहे, देखावा विना-विध्वंसक आहे, पुनर्नवीनीकरण केले जाऊ शकते (200h पर्यंतचे आयुष्य), अशा एकल क्रिस्टल तयारीची टिकाऊपणा आणि कार्यक्षमता सुधारू शकते.

TaC कोटिंग मार्गदर्शक रिंगचे उत्पादन मापदंड:

उत्पादन दुकाने:

सेमीकंडक्टर चिप एपिटॅक्सी उद्योग साखळीचे विहंगावलोकन: