TaC कोटिंग पेडेस्टल सपोर्ट प्लेट

VeTek सेमीकंडक्टर हा चीन निर्माता आणि पुरवठादार आहे जो मुख्यत्वे CVD TaC कोटिंग ससेप्टर्स, इनलेट रिंग, वेफर चंक, TaC कोटेड होल्डर, TaC कोटिंग पेडेस्टल सपोर्ट प्लेटचे अनेक वर्षांच्या अनुभवासह उत्पादन करतो. तुमच्याशी व्यावसायिक संबंध निर्माण करण्याची आशा आहे.

TaC सिरॅमिक्सचा वितळण्याचा बिंदू 3880℃ पर्यंत असतो, उच्च कडकपणा (Mohs कठोरता 9 ~ 10), मोठी थर्मल चालकता (22W·m-1·K−1), मोठी झुकण्याची ताकद (340 ~ 400MPa) आणि लहान थर्मल विस्तार असतो. गुणांक (6.6×10−6K−1), आणि उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता आणि उत्कृष्ट भौतिक गुणधर्म दाखवतात. यात ग्रेफाइट आणि C/C संमिश्र सामग्रीसह चांगली रासायनिक आणि यांत्रिक सुसंगतता आहे, म्हणून TaC कोटिंग एरोस्पेस थर्मल संरक्षण, सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ आणि सेमीकंडक्टर उद्योगात Aixtron, LPE EPI अणुभट्टी सारख्या एपिटॅक्सियल रिॲक्टर्समध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरली जाते. TaC कोटेड ग्रेफाइटमध्ये बेअर स्टोन इंक किंवा SiC कोटेड ग्रेफाइटपेक्षा चांगला रासायनिक गंज प्रतिकार असतो, 2200° उच्च तापमानात स्थिरपणे वापरला जाऊ शकतो, अनेक धातू घटकांवर प्रतिक्रिया देत नाही, सेमीकंडक्टर सिंगल क्रिस्टल ग्रोथची तिसरी पिढी आहे, एपिटॅक्सी आणि वेफर एचिंग सीन सर्वोत्तम कामगिरीचे कोटिंग, तापमान आणि अशुद्धता नियंत्रण प्रक्रियेत लक्षणीय सुधारणा करू शकते, उच्च दर्जाचे सिलिकॉन कार्बाइड वेफर्स आणि संबंधित एपिटॅक्सियल वेफर्स तयार करू शकतात. हे विशेषतः MOCVD उपकरणांमध्ये GaN किंवा AlN सिंगल क्रिस्टल आणि PVT उपकरणांमध्ये SiC सिंगल क्रिस्टल वाढवण्यासाठी योग्य आहे आणि वाढलेल्या सिंगल क्रिस्टलची गुणवत्ता स्पष्टपणे सुधारली आहे.

TaC कोटिंग आणि SiC कोटिंगचे सुटे भाग आम्ही करू शकतो:

TaC कोटिंगचे पॅरामीटर:

औद्योगिक साखळी:

उत्पादन दुकान