TaC कोटिंग प्लॅनेटरी ससेप्टर

VeTek Semiconductor'TaC कोटिंग प्लॅनेटरी ससेप्टर हे Aixtron epitaxy उपकरणांसाठी एक अपवादात्मक उत्पादन आहे. मजबूत TaC कोटिंग उत्कृष्ट उच्च-तापमान प्रतिरोध आणि रासायनिक जडत्व प्रदान करते. हे अद्वितीय संयोजन विश्वसनीय कार्यप्रदर्शन आणि दीर्घ सेवा जीवन सुनिश्चित करते, अगदी मागणी असलेल्या वातावरणातही. VeTek उच्च-गुणवत्तेची उत्पादने देण्यासाठी आणि चिनी बाजारपेठेत स्पर्धात्मक किंमतीसह दीर्घकालीन भागीदार म्हणून सेवा देण्यासाठी वचनबद्ध आहे.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

सेमीकंडक्टर उत्पादनाच्या क्षेत्रात, TaC कोटिंग प्लॅनेटरी ससेप्टर महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते. Aixtron G5 सिस्टीम सारख्या उपकरणांमध्ये सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) एपिटॅक्सियल लेयरच्या वाढीसाठी हे मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते. शिवाय, जेव्हा SiC एपिटॅक्सीसाठी टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग डिपॉझिशनमध्ये बाह्य डिस्क म्हणून वापरले जाते, तेव्हा TaC कोटिंग प्लॅनेटरी ससेप्टर आवश्यक समर्थन आणि स्थिरता प्रदान करते. हे टँटलम कार्बाइड लेयरचे एकसमान डिपॉझिशन सुनिश्चित करते, उत्कृष्ट पृष्ठभाग आकारविज्ञान आणि इच्छित फिल्म जाडीसह उच्च-गुणवत्तेच्या एपिटॅक्सियल लेयरच्या निर्मितीमध्ये योगदान देते. TaC कोटिंगची रासायनिक जडत्व अवांछित प्रतिक्रिया आणि दूषित होण्यापासून प्रतिबंधित करते, एपिटॅक्सियल स्तरांची अखंडता राखते आणि त्यांची उच्च गुणवत्ता सुनिश्चित करते.

TaC कोटिंगची अपवादात्मक थर्मल चालकता कार्यक्षम उष्णता हस्तांतरण सक्षम करते, समान तापमान वितरणास प्रोत्साहन देते आणि एपिटॅक्सियल वाढ प्रक्रियेदरम्यान थर्मल ताण कमी करते. यामुळे सुधारित क्रिस्टलोग्राफिक गुणधर्म आणि वर्धित विद्युत चालकतेसह उच्च-गुणवत्तेचे SiC एपिटॅक्सियल स्तर तयार होतात.

TaC कोटिंग प्लॅनेटरी डिस्कची अचूक परिमाणे आणि मजबूत बांधकाम विद्यमान प्रणालींमध्ये समाकलित करणे सोपे करते, अखंड सुसंगतता आणि कार्यक्षम ऑपरेशन सुनिश्चित करते. त्याची विश्वासार्ह कामगिरी आणि उच्च-गुणवत्तेचे TaC कोटिंग SiC epitaxy प्रक्रियांमध्ये सातत्यपूर्ण आणि एकसमान परिणामांमध्ये योगदान देते.

SiC epitaxy मधील अपवादात्मक कामगिरी आणि विश्वासार्हतेसाठी VeTek सेमीकंडक्टर आणि आमच्या TaC कोटिंग प्लॅनेटरी डिस्कवर विश्वास ठेवा. सेमीकंडक्टर उद्योगातील तांत्रिक प्रगतीमध्ये तुम्हाला आघाडीवर ठेवून आमच्या नाविन्यपूर्ण उपायांचे फायदे अनुभवा.

TaC कोटिंग आणि SiC कोटिंगचे सुटे भाग आम्ही पुरवतो:

TaC कोटिंग प्लॅनेटरी ससेप्टरचे उत्पादन मापदंड:

TaC कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म
घनता	14.3 (g/cm³)
विशिष्ट उत्सर्जन	0.3
थर्मल विस्तार गुणांक	६.३ १०-६/के
कडकपणा (HK)	2000 HK
प्रतिकार	1×10-5 Ohm*cm
थर्मल स्थिरता	<2500℃
ग्रेफाइटचा आकार बदलतो	-10~-20um
कोटिंग जाडी	≥20um ठराविक मूल्य (35um±10um)