TaC कोटिंग रोटेशन प्लेट

VeTek सेमीकंडक्टरच्या TaC कोटिंग रोटेशन प्लेटमध्ये उच्च शुद्धता रचना, 5ppm पेक्षा कमी अशुद्धता सामग्री आणि दाट आणि एकसमान रचना आहे, जी LPE EPI प्रणाली, Aixtron प्रणाली, Nuflare प्रणाली, TEL CVD प्रणाली, VEECO प्रणाली, TEL मध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरली जाते. प्रणाली

उत्कृष्ट यांत्रिक गुणधर्म:

कोटिंग कडकपणा 2300HV पर्यंत, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोधासह.

कोटिंग आणि सब्सट्रेटमधील चिकटपणा मजबूत आहे आणि ते पडणे किंवा सोलणे सोपे नाही.

कोटिंग अजूनही उच्च तापमानात चांगली संरचनात्मक स्थिरता राखू शकते.

उत्कृष्ट गंज प्रतिकार:

टीएसी सामग्रीमध्ये उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता आणि गंज प्रतिरोधक क्षमता असते.

VeTek सेमीकंडक्टरचे कोटिंग्स विविध प्रकारच्या आक्रमक वायू वातावरणात चांगली कामगिरी करतात.

गंज नुकसान पासून उपकरणे अंतर्गत घटक प्रभावीपणे संरक्षण करू शकता.

उच्च पृष्ठभाग समाप्त:

VeTek सेमीकंडक्टर इच्छित फिनिश तयार करण्यासाठी एक अचूक कोटिंग प्रक्रिया वापरते.

कमी पृष्ठभागावरील खडबडीत कण जमा होणे आणि जमा होणे कमी होण्यास मदत होते.

कोटिंगची सुसंगतता चांगली आहे:

VeTek सेमीकंडक्टरमध्ये बॅच दरम्यान सातत्यपूर्ण कामगिरी सुनिश्चित करण्यासाठी ध्वनी गुणवत्ता नियंत्रण प्रणाली आहे.

कोटिंगची जाडी समान रीतीने वितरीत केली जाते आणि कोणतेही स्पष्ट स्थानिक दोष नाहीत.

उत्कृष्ट व्यावहारिक अनुप्रयोग कामगिरी:

VeTek सेमीकंडक्टरचे TaC कोटिंग देश-विदेशातील अनेक सुप्रसिद्ध एपिटॅक्सियल उपकरण उत्पादकांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते.

TaC कोटेड रोटेशन प्लेटचे उत्पादन भौतिक मापदंड: