TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टर

VeTek सेमीकंडक्टर TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टर सेमीकंडक्टर प्रक्रियेत वेफर हाताळणीसाठी एक प्रमुख घटक आहे. त्याचीTaC कंआमचेउत्कृष्ट उच्च तापमान सहिष्णुता (3880 डिग्री सेल्सिअस पर्यंत वितळण्याचा बिंदू), रासायनिक स्थिरता आणि गंज प्रतिरोधकता आहे, जे वेफर प्रक्रियेमध्ये उच्च अचूकता आणि उच्च गुणवत्ता सुनिश्चित करते.

TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टर (टँटलम कार्बन कोटिंग रोटेशन ससेप्टर) हा सेमीकंडक्टर प्रक्रियेत वापरला जाणारा प्रमुख उपकरण घटक आहे. हे सहसा मध्ये स्थापित केले जातेरासायनिक वाफ जमा करणे (CVD)आणि मॉलिक्युलर बीम एपिटॅक्सी (MBE) उपकरणे वेफर्सना सपोर्ट करण्यासाठी आणि फिरवण्यासाठी एकसमान सामग्री जमा करणे आणि कार्यक्षम प्रतिक्रिया सुनिश्चित करण्यासाठी. या प्रकारच्या उत्पादनामुळे सब्सट्रेटला कोटिंग करून उच्च तापमान आणि संक्षारक वातावरणात उपकरणांचे सेवा जीवन आणि कार्यक्षमता लक्षणीयरीत्या सुधारते.टँटलम कार्बन (TaC) कोटिंग.

TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टर सामान्यतः TaC कोटिंग आणि ग्रेफाइट किंवा सिलिकॉन कार्बाइडचा थर सामग्री म्हणून बनलेला असतो. TaC अत्यंत उच्च वितळ बिंदू (3880°C पर्यंत वितळण्याचा बिंदू), कडकपणा (विकर्स कडकपणा सुमारे 2000 HK आहे) आणि उत्कृष्ट रासायनिक गंज प्रतिरोधक असलेली अति-उच्च तापमानाची सिरेमिक सामग्री आहे. VeTek सेमीकंडक्टर CVD तंत्रज्ञानाद्वारे सब्सट्रेट सामग्रीवरील टँटलम कार्बन कोटिंग प्रभावीपणे आणि समान रीतीने कव्हर करू शकतो.

रोटेशन ससेप्टर सामान्यतः उच्च थर्मल चालकता आणि उच्च शक्ती सामग्री (ग्रेफाइट किंवासिलिकॉन कार्बाइड), जे उच्च तापमान वातावरणात चांगले यांत्रिक समर्थन आणि थर्मल स्थिरता प्रदान करू शकते. या दोघांचे परिपूर्ण संयोजन TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टरची सपोर्टिंग आणि रोटेटिंग वेफर्सची अचूक कामगिरी निर्धारित करते.

TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टर CVD प्रक्रियेत वेफरला समर्थन देते आणि फिरवते. TaC ची विकर्स कडकपणा सुमारे 2000 HK आहे, ज्यामुळे ते सामग्रीच्या वारंवार घर्षणाचा प्रतिकार करू शकते आणि चांगली सहाय्यक भूमिका बजावते, ज्यामुळे प्रतिक्रिया वायू वेफर पृष्ठभागावर समान रीतीने वितरीत केला जातो आणि सामग्री समान रीतीने जमा केली जाते याची खात्री करते. त्याच वेळी, उच्च तापमान सहिष्णुता आणि TaC कोटिंगची गंज प्रतिरोधकता हे उच्च तापमान आणि संक्षारक वातावरणात दीर्घकाळ वापरण्यास सक्षम करते, जे प्रभावीपणे वेफर आणि वाहक दूषित होण्यापासून टाळते.

शिवाय, TaC ची थर्मल चालकता 21 W/m·K आहे, ज्यामध्ये चांगले उष्णता हस्तांतरण आहे. त्यामुळे, TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टर उच्च तापमानाच्या परिस्थितीत वेफरला समान रीतीने गरम करू शकतो आणि रोटेशनल मोशनद्वारे गॅस जमा होण्याच्या प्रक्रियेची एकसमानता सुनिश्चित करू शकतो, ज्यामुळे स्थिरता आणि उच्च गुणवत्ता राखली जाते.वेफर वाढ.

मायक्रोस्कोपिक क्रॉस-सेक्शनवर टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग：

TaC कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म：

TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टर दुकाने: