TaC कोटिंग ससेप्टर

VeTek सेमीकंडक्टरचे TaC कोटेड ससेप्टर आणि रिंग LPE सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सियल ग्रोथ रिॲक्टरमध्ये एकत्र काम करतात:

उच्च-तापमान प्रतिरोध: TaC कोटिंग ससेप्टरमध्ये उत्कृष्ट उच्च-तापमान प्रतिरोध आहे, जो LPE अणुभट्टीमध्ये 1500°C पर्यंत अत्यंत तापमानाचा सामना करण्यास सक्षम आहे. हे सुनिश्चित करते की उपकरणे आणि घटक दीर्घकालीन ऑपरेशन दरम्यान विकृत किंवा खराब होणार नाहीत.

रासायनिक स्थिरता: TaC कोटिंग ससेप्टर उपरोधिक सिलिकॉन कार्बाइड वाढीच्या वातावरणात असाधारणपणे चांगले कार्य करते, अणुभट्टीच्या घटकांना संक्षारक रासायनिक हल्ल्यापासून प्रभावीपणे संरक्षित करते, ज्यामुळे त्यांचे सेवा आयुष्य वाढते.

थर्मल स्टेबिलिटी: TaC कोटिंग ससेप्टरमध्ये चांगली थर्मल स्थिरता आहे, पृष्ठभागाची आकारविज्ञान आणि खडबडीतपणा राखून अणुभट्टीतील तापमान क्षेत्राची एकसमानता सुनिश्चित करते, जे सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सियल स्तरांच्या उच्च-गुणवत्तेच्या वाढीसाठी फायदेशीर आहे.

अँटी-कंटॅमिनेशन: गुळगुळीत TaC लेपित पृष्ठभाग आणि उत्कृष्ट TPD (टेम्परेचर प्रोग्राम्ड डिसॉर्प्शन) कार्यप्रदर्शन अणुभट्टीच्या आत कण आणि अशुद्धतेचे संचय आणि शोषण कमी करू शकते, एपिटॅक्सियल स्तरांचे दूषित होण्यास प्रतिबंध करते.

सारांश, एलपीई सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सियल ग्रोथ रिॲक्टरमध्ये TaC कोटेड ससेप्टर आणि रिंग महत्त्वपूर्ण संरक्षणात्मक भूमिका बजावतात, ज्यामुळे उपकरणांचे दीर्घकालीन स्थिर ऑपरेशन आणि एपिटॅक्सियल लेयरची उच्च-गुणवत्तेची वाढ सुनिश्चित होते.

TaC कोटिंग ससेप्टरचे उत्पादन मापदंड:

औद्योगिक साखळी:

उत्पादन दुकान