टँटलम कार्बाइड लेपित सच्छिद्र ग्रेफाइट हे अर्धसंवाहक प्रक्रिया प्रक्रियेत, विशेषत: SIC क्रिस्टल वाढीच्या प्रक्रियेत एक अपरिहार्य उत्पादन आहे. सतत R&D गुंतवणूक आणि तंत्रज्ञान सुधारणांनंतर, VeTek सेमीकंडक्टरच्या TaC कोटेड पोरस ग्रेफाइट उत्पादनाच्या गुणवत्तेने युरोपियन आणि अमेरिकन ग्राहकांकडून उच्च प्रशंसा मिळविली आहे. आपल्या पुढील सल्लामसलत मध्ये आपले स्वागत आहे.
VeTek सेमीकंडक्टर टँटलम कार्बाइड कोटेड पोरस ग्रेफाइट त्याच्या अतिउच्च तापमान प्रतिरोधकतेमुळे (3880°C च्या आसपास वितळण्याचा बिंदू), उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, यांत्रिक शक्ती आणि उच्च तापमान वातावरणात रासायनिक जडत्व यामुळे सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) क्रिस्टल बनले आहे. वाढीच्या प्रक्रियेत एक अपरिहार्य सामग्री. विशेषतः, त्याची सच्छिद्र रचना अनेक तांत्रिक फायदे प्रदान करतेक्रिस्टल वाढ प्रक्रिया.
● गॅस प्रवाह कार्यक्षमतेत सुधारणा करा आणि प्रक्रिया पॅरामीटर्स अचूकपणे नियंत्रित करा
सच्छिद्र ग्रॅफाइटची सूक्ष्म रचना प्रतिक्रिया वायूंच्या (जसे कार्बाइड वायू आणि नायट्रोजन) एकसमान वितरणास प्रोत्साहन देऊ शकते, ज्यामुळे प्रतिक्रिया क्षेत्रामध्ये वातावरण अनुकूल होते. हे वैशिष्ट्य प्रभावीपणे स्थानिक वायू साठणे किंवा अशांतता समस्या टाळू शकते, वाढीच्या प्रक्रियेत SiC क्रिस्टल्स समान रीतीने ताणलेले आहेत याची खात्री करतात आणि दोष दर मोठ्या प्रमाणात कमी केला जातो. त्याच वेळी, सच्छिद्र रचना गॅस प्रेशर ग्रेडियंटचे अचूक समायोजन करण्यास, क्रिस्टल वाढीचा दर अधिक अनुकूल करण्यास आणि उत्पादनाची सुसंगतता सुधारण्यास देखील अनुमती देते.
● थर्मल तणाव संचय कमी करा आणि क्रिस्टल अखंडता सुधारा
उच्च-तापमान ऑपरेशन्समध्ये, सच्छिद्र टँटलम कार्बाइड (TaC) चे लवचिक गुणधर्म तापमानातील फरकांमुळे उद्भवणारे थर्मल ताण एकाग्रता लक्षणीयरीत्या कमी करतात. ही क्षमता विशेषतः SiC क्रिस्टल्स वाढवताना, थर्मल क्रॅक तयार होण्याचा धोका कमी करते, अशा प्रकारे क्रिस्टल स्ट्रक्चरची अखंडता आणि प्रक्रिया स्थिरता सुधारते तेव्हा महत्त्वपूर्ण असते.
● उष्णता वितरण ऑप्टिमाइझ करा आणि ऊर्जा वापर कार्यक्षमता सुधारा
टँटलम कार्बाइड कोटिंग केवळ सच्छिद्र ग्रेफाइटला उच्च थर्मल चालकता देत नाही, तर त्याची सच्छिद्र वैशिष्ट्ये देखील उष्णता समान रीतीने वितरीत करू शकतात, ज्यामुळे प्रतिक्रिया क्षेत्रामध्ये उच्च सुसंगत तापमान वितरण सुनिश्चित होते. हे एकसमान थर्मल व्यवस्थापन ही उच्च-शुद्धता SiC क्रिस्टल तयार करण्यासाठी मुख्य अट आहे. हे हीटिंग कार्यक्षमतेत लक्षणीय सुधारणा करू शकते, ऊर्जेचा वापर कमी करू शकते आणि उत्पादन प्रक्रिया अधिक किफायतशीर आणि कार्यक्षम बनवू शकते.
● गंज प्रतिकार वाढवा आणि घटकांचे आयुष्य वाढवा
उच्च-तापमान वातावरणातील वायू आणि उप-उत्पादने (जसे की हायड्रोजन किंवा सिलिकॉन कार्बाइड वाष्प अवस्था) सामग्रीला गंभीर गंज आणू शकतात. TaC कोटिंग सच्छिद्र ग्रेफाइटसाठी उत्कृष्ट रासायनिक अडथळा प्रदान करते, ज्यामुळे घटकाचा गंज दर लक्षणीयरीत्या कमी होतो, ज्यामुळे त्याचे सेवा आयुष्य वाढते. याव्यतिरिक्त, कोटिंग सच्छिद्र संरचनेची दीर्घकालीन स्थिरता सुनिश्चित करते, हे सुनिश्चित करते की गॅस वाहतूक गुणधर्म प्रभावित होत नाहीत.
● अशुद्धतेचा प्रसार प्रभावीपणे अवरोधित करते आणि क्रिस्टल शुद्धता सुनिश्चित करते
अनकोटेड ग्रेफाइट मॅट्रिक्स अशुद्धतेचे ट्रेस प्रमाण सोडू शकते आणि उच्च-तापमान वातावरणात या अशुद्धींना SiC क्रिस्टलमध्ये पसरण्यापासून रोखण्यासाठी TaC कोटिंग अलगाव अडथळा म्हणून कार्य करते. क्रिस्टल शुद्धता सुधारण्यासाठी आणि उच्च-गुणवत्तेच्या SiC सामग्रीसाठी सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या कठोर आवश्यकता पूर्ण करण्यात मदत करण्यासाठी हा संरक्षण प्रभाव महत्त्वपूर्ण आहे.
VeTek सेमीकंडक्टरचे टँटलम कार्बाइड कोटेड सच्छिद्र ग्रेफाइट गॅस प्रवाह अनुकूल करून, थर्मल ताण कमी करून, थर्मल एकरूपता सुधारून, गंज प्रतिरोध वाढवून आणि SiC क्रिस्टल Gro प्रक्रिया दरम्यान अशुद्धता प्रसार रोखून प्रक्रियेची कार्यक्षमता आणि क्रिस्टल गुणवत्ता लक्षणीयरीत्या सुधारते. या सामग्रीचा वापर केवळ उत्पादनात उच्च सुस्पष्टता आणि शुद्धता सुनिश्चित करत नाही तर ऑपरेटिंग खर्च देखील मोठ्या प्रमाणात कमी करतो, ज्यामुळे ते आधुनिक सेमीकंडक्टर उत्पादनात एक महत्त्वपूर्ण आधारस्तंभ बनते.
महत्त्वाचे म्हणजे, VeTeksemi अर्धसंवाहक उत्पादन उद्योगाला प्रगत तंत्रज्ञान आणि उत्पादन उपाय प्रदान करण्यासाठी दीर्घकाळापासून वचनबद्ध आहे आणि सानुकूलित टँटलम कार्बाइड कोटेड पोरस ग्रेफाइट उत्पादन सेवांना समर्थन देते. चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी आम्ही प्रामाणिकपणे उत्सुक आहोत.
TaC कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म |
|
TaC कोटिंग घनता |
14.3 (g/cm³) |
विशिष्ट उत्सर्जन |
0.3 |
थर्मल विस्तार गुणांक |
६.३*१०-6/के |
TaC कोटिंग कडकपणा (HK) |
2000 HK |
टँटलम कार्बाइड कोटिंग प्रतिरोध |
1×10-5ओम* सेमी |
थर्मल स्थिरता |
<2500℃ |
ग्रेफाइटचा आकार बदलतो |
-10~-20um |
कोटिंग जाडी |
≥20um ठराविक मूल्य (35um±10um) |