VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील टँटलम कार्बाइड गाईड रिंग उत्पादनांचा व्यावसायिक निर्माता आणि नेता आहे. आमची टँटलम कार्बाइड (TaC) मार्गदर्शक रिंग हा टँटलम कार्बाइडचा बनलेला उच्च-कार्यक्षमता रिंग घटक आहे, जो सामान्यतः सेमीकंडक्टर प्रक्रिया उपकरणांमध्ये वापरला जातो, विशेषत: CVD, PVD, एचिंग आणि प्रसार यांसारख्या उच्च-तापमान आणि अत्यंत संक्षारक वातावरणात. VeTek Semiconductor सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी प्रगत तंत्रज्ञान आणि उत्पादन उपाय प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे आणि आपल्या पुढील चौकशीचे स्वागत करते.
VeTek सेमीकंडक्टरटँटलम कार्बाइड मार्गदर्शक Ringपासून तयार केले आहेग्रेफाइटआणिटँटलम कार्बाइड सह लेपित, एक संयोजन जे उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन आणि दीर्घायुष्य सुनिश्चित करण्यासाठी दोन्ही सामग्रीच्या उत्कृष्ट गुणधर्मांचा लाभ घेते.
दTaC कोटिंगटँटलम कार्बाइड गाईड रिंग वर हे सुनिश्चित करते की ते SiC क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसच्या प्रतिक्रियाशील वातावरणात रासायनिकदृष्ट्या निष्क्रिय राहते, ज्यामध्ये हायड्रोजन, आर्गॉन आणि नायट्रोजन सारख्या वायूंचा समावेश होतो. ही रासायनिक जडत्व वाढत्या क्रिस्टलची कोणतीही दूषितता रोखण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे, ज्यामुळे दोष निर्माण होऊ शकतात आणि अंतिम अर्धसंवाहक उत्पादनांची कार्यक्षमता कमी होऊ शकते. याव्यतिरिक्त, TaC कोटिंगद्वारे प्रदान केलेली थर्मल स्थिरता टँटलम कार्बाइड कोटिंग मार्गदर्शक रिंगला आवश्यक उच्च तापमानात प्रभावीपणे कार्य करण्यास अनुमती देते.SiC क्रिस्टल वाढ, सामान्यतः 2000°C पेक्षा जास्त.
याव्यतिरिक्त, टँटलम कार्बाइड कोटिंग रिंगमधील ग्रेफाइट आणि TaC चे संयोजन क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसमध्ये थर्मल व्यवस्थापनास अनुकूल करते. ग्रेफाइटची उच्च थर्मल चालकता कार्यक्षमतेने उष्णता वितरीत करते, हॉटस्पॉट्स प्रतिबंधित करते आणि एकसमान क्रिस्टल वाढीस प्रोत्साहन देते. दरम्यान, टँटलम कार्बाइड कोटिंग थर्मल अडथळा म्हणून काम करते, उच्च तापमान आणि प्रतिक्रियाशील वायूंच्या थेट प्रदर्शनापासून ग्रेफाइट कोरचे संरक्षण करते. कोर आणि कोटिंग मटेरियलमधील या समन्वयाचा परिणाम मार्गदर्शक रिंगमध्ये होतो जो केवळ SiC क्रिस्टल वाढीच्या कठोर परिस्थितीला तोंड देत नाही तर प्रक्रियेची एकूण कार्यक्षमता आणि गुणवत्ता देखील वाढवते.
VeTek सेमीकंडक्टर टँटलम कार्बाइडचे यांत्रिक गुणधर्म टँटलम कार्बाइड कोटिंग रिंगवरील झीज कमी करतात. च्या पुनरावृत्ती स्वरूपामुळे हे महत्त्वपूर्ण आहेक्रिस्टल वाढ प्रक्रिया, जे वारंवार थर्मल सायकल आणि यांत्रिक ताणांना मार्गदर्शक रिंग उघड करते. टँटलम कार्बाइडचा कडकपणा आणि पोशाख प्रतिरोध हे सुनिश्चित करते की मार्गदर्शक रिंग दीर्घ कालावधीत त्याची संरचनात्मक अखंडता आणि अचूक परिमाण कायम ठेवते, वारंवार बदलण्याची गरज कमी करते आणि उत्पादन प्रक्रियेत डाउनटाइम कमी करते.
VeTek सेमीकंडक्टर टँटलम कार्बाइड कोटिंग गाईड रिंग हा सेमीकंडक्टर उद्योगातील एक अत्यावश्यक घटक आहे, विशेषत: च्या वाढीसाठी डिझाइन केलेलेसिलिकॉन कार्बाइड क्रिस्टल्स. त्याची रचना उच्च-तापमान, उच्च-ताण वातावरणात अपवादात्मक कार्यप्रदर्शन देण्यासाठी ग्रेफाइट आणि टँटलम कार्बाइडच्या सामर्थ्याचा उपयोग करते. TaC कोटिंग रासायनिक जडत्व, यांत्रिक टिकाऊपणा आणि थर्मल स्थिरता सुनिश्चित करते, जे सर्व उच्च-गुणवत्तेचे SiC क्रिस्टल्स तयार करण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहेत. अत्यंत परिस्थितींमध्ये त्याची अखंडता आणि कार्यक्षमता राखून, मार्गदर्शक रिंग SiC क्रिस्टल्सच्या कार्यक्षम आणि दोषमुक्त वाढीस समर्थन देते, उच्च-शक्ती आणि उच्च-फ्रिक्वेंसी सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या प्रगतीमध्ये योगदान देते.
मायक्रोस्कोपिक क्रॉस-सेक्शनवर टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग:
TaC कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म:
TaC कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म
घनता
14.3 (g/cm³)
विशिष्ट उत्सर्जन
0.3
थर्मल विस्तार गुणांक
६.३*१०-6/के
कडकपणा (HK)
2000 HK
प्रतिकार
1×10-5ओम* सेमी
थर्मल स्थिरता
<2500℃
ग्रेफाइटचा आकार बदलतो
-10~-20um
कोटिंग जाडी
≥20um ठराविक मूल्य (35um±10um)