उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट वाहक

VeTek सेमीकंडक्टर सानुकूलित उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट कॅरियर ऑफर करते. उच्च शुद्धतेच्या सिलिकॉन कार्बाइडने बनविलेले, त्यात वेफरला जागोजागी ठेवण्यासाठी स्लॉट आहेत, प्रक्रियेदरम्यान ते सरकण्यापासून प्रतिबंधित करते. आवश्यक असल्यास CVD SiC कोटिंग देखील उपलब्ध आहे. एक व्यावसायिक आणि मजबूत सेमीकंडक्टर निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून, VeTek सेमीकंडक्टरची उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट वाहक किंमत स्पर्धात्मक आणि उच्च दर्जाची आहे. VeTek Semiconductor चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी उत्सुक आहे.

चौकशी पाठवा

उत्पादन वर्णन

VeTekSemi उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट वाहक हा एक महत्त्वाचा बेअरिंग घटक आहे जो सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत ॲनिलिंग फर्नेस, डिफ्यूजन फर्नेस आणि इतर उपकरणांमध्ये वापरला जातो. उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट वाहक सहसा उच्च शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड सामग्रीपासून बनविलेले असते आणि त्यात प्रामुख्याने खालील भाग समाविष्ट असतात:

• बोट समर्थन शरीर: कंस सारखी रचना, खास वाहून नेण्यासाठी वापरली जातेसिलिकॉन वेफर्सकिंवा इतर सेमीकंडक्टर साहित्य.

• समर्थन रचना: त्याची सपोर्ट स्ट्रक्चर डिझाईन उच्च तापमानात जड भार सहन करण्यास सक्षम करते आणि उच्च तापमान उपचारादरम्यान ते विकृत किंवा नुकसान होणार नाही.

silicon carbide material

सिलिकॉन कार्बाइड साहित्य

चे भौतिक गुणधर्मसिलिकॉन कार्बाइड रीक्रिस्टॉल：

मालमत्ता	ठराविक मूल्य
कार्यरत तापमान (°C)	1600°C (ऑक्सिजनसह), 1700°C (वातावरण कमी करणारे)
SiC सामग्री	> 99.96%
मोफत Si सामग्री	< ०.१%
मोठ्या प्रमाणात घनता	2.60-2.70 ग्रॅम/सेमी3
उघड सच्छिद्रता	< 16%
संक्षेप शक्ती	> 600 MPa
थंड झुकण्याची ताकद	80-90 MPa (20°C)
गरम झुकण्याची ताकद	90-100 MPa (1400°C)
थर्मल विस्तार @1500°C	४.७०*१०^-6/°से
थर्मल चालकता @1200°C	23 W/m•K
लवचिक मापांक	लवचिक मॉड्यूलस 240 GPa
थर्मल शॉक प्रतिकार	अत्यंत चांगले

उत्पादन प्रक्रियेची आवश्यकता जास्त असल्यास,CVD SiC कोटिंगउच्च शुद्धता असलेल्या SiC वेफर बोट कॅरियरवर शुद्धता 99.99995% पेक्षा जास्त पोहोचण्यासाठी, उच्च तापमान प्रतिरोधकता आणखी सुधारण्यासाठी केली जाऊ शकते.

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

मालमत्ता	ठराविक मूल्य
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड
घनता	3.21 g/cm³
कडकपणा	2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड)
धान्य आकार	2~10μm
रासायनिक शुद्धता	99.99995%
उष्णता क्षमता	640 J·kg^-1· के^-1
उदात्तीकरण तापमान	2700℃
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	415 MPa RT 4-पॉइंट
तरुणांचे मॉड्यूलस	430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
थर्मल चालकता	300W·m^-1· के^-1
थर्मल विस्तार (CTE)	४.५×१०^-6K^-1

उच्च तापमान उपचारादरम्यान, उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट वाहक सिलिकॉन वेफरला स्थानिक ओव्हरहाटिंग टाळण्यासाठी समान रीतीने गरम करण्यास सक्षम करते. याव्यतिरिक्त, सिलिकॉन कार्बाइड सामग्रीचा उच्च तापमान प्रतिरोधक 1200°C किंवा त्याहूनही अधिक तापमानात संरचनात्मक स्थिरता राखण्यास सक्षम करते. working principle of High purity SiC wafer boat carrier

प्रसार किंवा ॲनिलिंग प्रक्रियेदरम्यान, कॅन्टीलिव्हर पॅडल आणि उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट कॅरियर एकत्र काम करतात. दcantilever पॅडलसिलिकॉन वेफर फर्नेस चेंबरमध्ये घेऊन जाणाऱ्या उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट कॅरियरला हळूहळू ढकलते आणि प्रक्रियेसाठी नियुक्त केलेल्या स्थानावर थांबवते.

उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट कॅरियर सिलिकॉन वेफरशी संपर्क राखते आणि उष्णता उपचार प्रक्रियेदरम्यान एका विशिष्ट स्थितीत निश्चित केले जाते, तर कॅन्टिलिव्हर पॅडल तापमान एकसमानता सुनिश्चित करताना संपूर्ण रचना योग्य स्थितीत ठेवण्यास मदत करते.

उच्च तापमान प्रक्रियेची अचूकता आणि स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट वाहक आणि कॅन्टीलिव्हर पॅडल एकत्रितपणे कार्य करतात.

VeTek सेमीकंडक्टर तुम्हाला तुमच्या गरजेनुसार सानुकूलित उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट कॅरियर पुरवतो. तुमच्या चौकशीची वाट पाहत आहे.

VeTek सेमीकंडक्टरउच्च शुद्धता असलेली SiC वेफर बोट वाहक दुकाने:

VeTek Semiconductor High purity SiC wafer boat carrier shops