SiC सीलिंग भाग

सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये SiC सीलिंग भाग महत्त्वाची भूमिका बजावते. त्याचे उत्कृष्ट भौतिक गुणधर्म आणि विश्वसनीय सीलिंग प्रभाव केवळ उत्पादन कार्यक्षमता सुधारत नाही तर उत्पादनाची गुणवत्ता आणि सुरक्षितता देखील सुनिश्चित करते.

सिलिकॉन कार्बाइड सीलिंग भागाचे मुख्य फायदे:

उत्कृष्ट गंज प्रतिकार: प्रगत सिरेमिक मटेरियलमध्ये, VeTeksemi SiC सीलिंग पार्टमध्ये अम्लीय आणि अल्कधर्मी वातावरणात सर्वोत्तम गंज प्रतिकार असू शकतो. हे अतुलनीय गंज प्रतिकार हे सुनिश्चित करते की SiC सीलिंग पार्ट रासायनिकदृष्ट्या गंजलेल्या वातावरणात प्रभावीपणे कार्य करू शकतो, ज्यामुळे ते उद्योगांमध्ये एक अपरिहार्य सामग्री बनते जे सहसा संक्षारक पदार्थांच्या संपर्कात येतात.

हलके आणि मजबूत: सिलिकॉन कार्बाइडची घनता अंदाजे 3.2 g/cm³ आहे, आणि एक हलकी सिरॅमिक सामग्री असूनही, सिलिकॉन कार्बाइडची ताकद हिऱ्याच्या तुलनेत आहे. हलकेपणा आणि ताकदीचे हे संयोजन यांत्रिक घटकांचे कार्यप्रदर्शन सुधारते, ज्यामुळे कार्यक्षमता वाढते आणि औद्योगिक अनुप्रयोगांची मागणी कमी होते. SiC सीलिंग पार्टचे हलके स्वरूप देखील घटकांची सुलभ हाताळणी आणि स्थापना सुलभ करते.

अत्यंत उच्च कडकपणा आणि उच्च थर्मल चालकता: सिलिकॉन कार्बाइडची Mohs कडकपणा 9~10 आहे, हिऱ्याशी तुलना करता येते. हा गुणधर्म, उच्च थर्मल चालकता (खोलीच्या तपमानावर अंदाजे 120-200 W/m·K) सह एकत्रित, SiC सीलला निकृष्ट सामग्रीचे नुकसान होईल अशा परिस्थितीत कार्य करण्यास सक्षम करते. SiC चे उत्कृष्ट यांत्रिक गुणधर्म 1600°C पर्यंत तापमानात राखले जातात, उच्च-तापमान अनुप्रयोगांमध्ये देखील SiC सील मजबूत आणि विश्वासार्ह राहतील याची खात्री करतात.

उच्च कडकपणा आणि पोशाख प्रतिकार: सिलिकॉन कार्बाइड हे त्याच्या क्रिस्टल जाळीतील मजबूत सहसंयोजक बंधांद्वारे वैशिष्ट्यीकृत आहे, ज्यामुळे ते उच्च कडकपणा आणि लक्षणीय लवचिक मॉड्यूलस देते. हे गुणधर्म उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोधात अनुवादित करतात, दीर्घकालीन वापरानंतरही वाकणे किंवा विकृत होण्याची शक्यता कमी करते. हे SiC ला SiC सीलिंग भागांसाठी एक उत्कृष्ट पर्याय बनवते जे सतत यांत्रिक ताण आणि अपघर्षक परिस्थितींच्या अधीन असतात.

संरक्षणात्मक सिलिकॉन डायऑक्साइड थर निर्मिती: जेव्हा ऑक्सिजन-समृद्ध वातावरणात अंदाजे 1300°C तापमानाला सामोरे जावे लागते तेव्हा सिलिकॉन कार्बाइड एक संरक्षणात्मक सिलिकॉन डायऑक्साइड (SiO) बनवते₂) त्याच्या पृष्ठभागावर थर. हा थर अडथळा म्हणून काम करतो, पुढील ऑक्सिडेशन आणि रासायनिक परस्परसंवाद रोखतो. SiO म्हणून₂थर जाड होतो, ते इतर प्रतिक्रियांपासून अंतर्निहित SiC चे संरक्षण करते. ही स्वयं-मर्यादित ऑक्सिडेशन प्रक्रिया SiC उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार आणि स्थिरता देते, ज्यामुळे SiC सील प्रतिक्रियाशील आणि उच्च-तापमान वातावरणात वापरण्यासाठी योग्य बनतात.

उच्च-कार्यक्षमता अनुप्रयोगांमध्ये अष्टपैलुत्व:सिलिकॉन कार्बाइडचे अनन्य गुणधर्म ते विविध उच्च-कार्यक्षमता अनुप्रयोगांमध्ये बहुमुखी आणि कार्यक्षम बनवतात. मेकॅनिकल सील आणि बेअरिंगपासून ते हीट एक्सचेंजर्स आणि टर्बाइन घटकांपर्यंत, SiC सीलिंग पार्टची अत्यंत परिस्थितीचा सामना करण्याची आणि त्याची अखंडता राखण्याची क्षमता प्रगत अभियांत्रिकी सोल्यूशन्समध्ये पसंतीची सामग्री बनवते.

VeTek Semiconductor सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी प्रगत तंत्रज्ञान आणि उत्पादन उपाय प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे. याव्यतिरिक्त, आमची SiC उत्पादने देखील समाविष्ट आहेतसिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग, सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्सआणिSiC Epitaxy प्रक्रियाउत्पादने तुमच्या पुढील सल्लामसलतीचे स्वागत आहे.

CVD SIC फिल्म क्रिस्टल स्ट्रक्चरचा SEM डेटा：