चीन सिलिकॉन एपिटॅक्सी उत्पादक, पुरवठादार, कारखाना

सिलिकॉन एपिटॅक्सी, EPI, Epitaxy, Epitaxial हे एकाच क्रिस्टलीय सिलिकॉन सब्सट्रेटवर समान क्रिस्टल दिशा आणि भिन्न क्रिस्टल जाडी असलेल्या क्रिस्टलच्या थराच्या वाढीचा संदर्भ देते. सेमीकंडक्टर वेगळे घटक आणि एकात्मिक सर्किट्सच्या निर्मितीसाठी एपिटॅक्सियल ग्रोथ तंत्रज्ञान आवश्यक आहे, कारण सेमीकंडक्टरमध्ये असलेल्या अशुद्धतेमध्ये एन-टाइप आणि पी-टाइपचा समावेश आहे. विविध प्रकारांच्या संयोजनाद्वारे, सेमीकंडक्टर उपकरणे विविध कार्ये प्रदर्शित करतात.

सिलिकॉन एपिटॅक्सी ग्रोथ मेथडला गॅस फेज एपिटॅक्सी, लिक्विड फेज एपिटॅक्सी (एलपीई), सॉलिड फेज एपिटॅक्सी, रासायनिक बाष्प डिपॉझिशन ग्रोथ पद्धतीमध्ये विभागले जाऊ शकते आणि जाळीच्या अखंडतेची पूर्तता करण्यासाठी जगात मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते.

ठराविक सिलिकॉन एपिटॅक्सियल उपकरणे इटालियन कंपनी LPE द्वारे दर्शविली जातात, ज्यात पॅनकेक एपिटॅक्सियल हाय नॉटिक टॉर, बॅरल प्रकार हाय नॉटिक टॉर, सेमीकंडक्टर हाय नॉटिक, वेफर कॅरिअर इत्यादी आहेत. बॅरल-आकाराच्या एपिटॅक्सियल हाय पेलेक्टर रिॲक्शन चेंबरचे योजनाबद्ध आकृती खालीलप्रमाणे आहे. VeTek सेमीकंडक्टर बॅरल-आकाराचे वेफर एपिटॅक्सियल हाय पेलेक्टर प्रदान करू शकतो. SiC कोटेड HY पेलेक्टरची गुणवत्ता खूप परिपक्व आहे. गुणवत्ता SGL समतुल्य; त्याच वेळी, VeTek सेमीकंडक्टर सिलिकॉन एपिटॅक्सियल रिॲक्शन कॅव्हिटी क्वार्ट्ज नोजल, क्वार्ट्ज बॅफल, बेल जार आणि इतर संपूर्ण उत्पादने देखील प्रदान करू शकतात.

सिलिकॉन एपिटॅक्सीसाठी वर्टियल एपिटॅक्सियल ससेप्टर:

सिलिकॉन एपिटॅक्सियल ससेप्टर बॅरल-प्रकार वेफर ससेप्टर सेमीकंडक्टर रिसीव्हर SiC लेपित ससेप्टर

सिलिकॉन एपिटॅक्सीसाठी क्षैतिज एपिटॅक्सियल ससेप्टर:

जर एपिटॅक्सियल रिसीव्हर पॅनकेक घेणारा SiC लेपित ससेप्टर