VeTek सेमीकंडक्टर सिलिकॉन पेडेस्टल हा सेमीकंडक्टर डिफ्यूजन आणि ऑक्सिडेशन प्रक्रियेतील प्रमुख घटक आहे. उच्च-तापमान भट्टीमध्ये सिलिकॉन बोटी वाहून नेण्यासाठी एक समर्पित व्यासपीठ म्हणून, सिलिकॉन पेडेस्टलमध्ये सुधारित तापमान एकसमानता, ऑप्टिमाइझ्ड वेफर गुणवत्ता आणि सेमीकंडक्टर उपकरणांची वर्धित कार्यक्षमता यासह अनेक अद्वितीय फायदे आहेत. अधिक उत्पादन माहितीसाठी, कृपया आमच्याशी संपर्क साधा.
VeTek सेमीकंडक्टर सिलिकॉन ससेप्टर हे शुद्ध सिलिकॉन उत्पादन आहे जे सिलिकॉन वेफर प्रक्रियेदरम्यान थर्मल रिॲक्टर ट्यूबमध्ये तापमान स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे, ज्यामुळे थर्मल इन्सुलेशन कार्यक्षमता सुधारते. सिलिकॉन वेफर प्रक्रिया ही एक अत्यंत अचूक प्रक्रिया आहे आणि तापमान महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते, सिलिकॉन वेफर फिल्मची जाडी आणि एकसमानतेवर थेट परिणाम करते.
सिलिकॉन पेडेस्टल भट्टीच्या थर्मल रिॲक्टर ट्यूबच्या खालच्या भागात स्थित आहे, सिलिकॉनला आधार देतेवेफर वाहकप्रभावी थर्मल इन्सुलेशन प्रदान करताना. प्रक्रियेच्या शेवटी, ते सिलिकॉन वेफर कॅरियरसह हळूहळू सभोवतालच्या तापमानात थंड होते.
प्रक्रियेची अचूकता सुनिश्चित करण्यासाठी स्थिर समर्थन प्रदान करा
सिलिकॉन पेडेस्टल उच्च-तापमान भट्टीच्या चेंबरमध्ये सिलिकॉन बोटसाठी स्थिर आणि उच्च उष्णता-प्रतिरोधक समर्थन प्लॅटफॉर्म प्रदान करते. ही स्थिरता प्रक्रिया करताना सिलिकॉन बोट हलवण्यापासून किंवा झुकण्यापासून प्रभावीपणे रोखू शकते, ज्यामुळे वायुप्रवाहाच्या एकसमानतेवर परिणाम होण्यापासून किंवा तापमान वितरणाचा नाश होण्यापासून टाळता येते, प्रक्रियेची उच्च सुस्पष्टता आणि सुसंगतता सुनिश्चित होते.
भट्टीत तापमान एकसारखेपणा वाढवा आणि वेफर गुणवत्ता सुधारा
भट्टीच्या तळाशी किंवा भिंतीच्या थेट संपर्कापासून सिलिकॉन बोट वेगळे करून, सिलिकॉन बेसमुळे वहनामुळे होणारे उष्णतेचे नुकसान कमी होऊ शकते, ज्यामुळे थर्मल रिॲक्शन ट्यूबमध्ये अधिक समान तापमान वितरण प्राप्त होते. हे एकसमान थर्मल वातावरण वेफर डिफ्यूजन आणि ऑक्साईड लेयरची एकसमानता प्राप्त करण्यासाठी आवश्यक आहे, ज्यामुळे वेफरच्या एकूण गुणवत्तेत मोठ्या प्रमाणात सुधारणा होते.
थर्मल इन्सुलेशन कार्यप्रदर्शन ऑप्टिमाइझ करा आणि उर्जेचा वापर कमी करा
सिलिकॉन बेस मटेरियलचे उत्कृष्ट थर्मल इन्सुलेशन गुणधर्म फर्नेस चेंबरमध्ये उष्णतेचे नुकसान कमी करण्यास मदत करतात, ज्यामुळे प्रक्रियेची ऊर्जा कार्यक्षमता लक्षणीयरीत्या सुधारते. ही कार्यक्षम थर्मल मॅनेजमेंट मेकॅनिझम केवळ हीटिंग आणि कूलिंगच्या चक्राला गती देत नाही तर ऊर्जेचा वापर आणि ऑपरेटिंग खर्च देखील कमी करते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी अधिक किफायतशीर समाधान मिळते.
उत्पादनाची रचना |
एकात्मिक, वेल्डिंग |
प्रवाहकीय प्रकार/डोपिंग |
सानुकूल |
प्रतिरोधकता |
कमी प्रतिकार (उदा.<0.015,<0.02...). ; |
मध्यम प्रतिकार (E.G.1-4); |
|
उच्च प्रतिकार (उदा. 60-90); |
|
ग्राहक सानुकूलन |
|
साहित्य प्रकार |
पॉलीक्रिस्टल/सिंगल क्रिस्टल |
क्रिस्टल ओरिएंटेशन |
सानुकूलित |