चीन सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड उत्पादक, पुरवठादार, कारखाना

VeTek सेमीकंडक्टर सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड हा प्लाझ्मा एचिंग उपकरण, सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये एक महत्त्वाचा सिरेमिक घटक आहेCVD सिलिकॉन कार्बाइड) नक्षीकाम उपकरणांमधील भागांचा समावेश होतोफोकसिंग रिंग, गॅस शॉवरहेड, ट्रे, एज रिंग्स इ. घन सिलिकॉन कार्बाइड (सीव्हीडी सिलिकॉन कार्बाइड) ची क्लोरीन - आणि फ्लोरिनयुक्त नक्षी वायूंची कमी प्रतिक्रिया आणि चालकता यामुळे, हे प्लाझ्मा एचिंग उपकरणे फोकस करणाऱ्या रिंग्ज आणि इतरांसाठी एक आदर्श सामग्री आहे. घटक

उदाहरणार्थ, फोकस रिंग हा एक महत्त्वाचा भाग आहे जो वेफरच्या बाहेर ठेवला जातो आणि वेफरच्या थेट संपर्कात असतो, रिंगमधून जाणारा प्लाझ्मा फोकस करण्यासाठी रिंगला व्होल्टेज लागू करून, त्याद्वारे प्लाझ्मा वेफरवर फोकस करून एकसमानता सुधारते. प्रक्रिया करत आहे. पारंपारिक फोकस रिंग सिलिकॉन किंवा बनलेले आहेक्वार्ट्ज, एक सामान्य फोकस रिंग सामग्री म्हणून प्रवाहकीय सिलिकॉन, ते जवळजवळ सिलिकॉन वेफर्सच्या चालकतेच्या जवळ आहे, परंतु कमतरता फ्लोरिन-युक्त प्लाझ्मामध्ये खराब कोरीव प्रतिरोधक आहे, एचिंग मशीन भाग साहित्य अनेकदा ठराविक कालावधीसाठी वापरले जाते, तेथे गंभीर समस्या असतील. गंज घटना, गंभीरपणे त्याची उत्पादन कार्यक्षमता कमी.

Solid SiC फोकस रिंगकार्य तत्त्व：

आणि आधारित फोकसिंग रिंग आणि CVD SiC फोकसिंग रिंगची तुलना: