चीन सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड उत्पादक, पुरवठादार, कारखाना

VeTek सेमीकंडक्टर सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड हा प्लाझ्मा एचिंग उपकरण, सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये एक महत्त्वाचा सिरेमिक घटक आहेCVD सिलिकॉन कार्बाइड) नक्षीकाम उपकरणांमधील भागांचा समावेश होतोफोकसिंग रिंग, गॅस शॉवरहेड, ट्रे, एज रिंग्स इ. घन सिलिकॉन कार्बाइड (सीव्हीडी सिलिकॉन कार्बाइड) ची क्लोरीन - आणि फ्लोरिनयुक्त नक्षी वायूंची कमी प्रतिक्रिया आणि चालकता यामुळे, हे प्लाझ्मा एचिंग उपकरणे फोकस करणाऱ्या रिंग्ज आणि इतरांसाठी एक आदर्श सामग्री आहे. घटक

उदाहरणार्थ, फोकस रिंग हा एक महत्त्वाचा भाग आहे जो वेफरच्या बाहेर ठेवला जातो आणि वेफरच्या थेट संपर्कात असतो, रिंगमधून जाणारा प्लाझ्मा फोकस करण्यासाठी रिंगला व्होल्टेज लागू करून, त्याद्वारे प्लाझ्मा वेफरवर फोकस करून एकसमानता सुधारते. प्रक्रिया करत आहे. पारंपारिक फोकस रिंग सिलिकॉन किंवा बनलेले आहेक्वार्ट्ज, एक सामान्य फोकस रिंग सामग्री म्हणून प्रवाहकीय सिलिकॉन, ते जवळजवळ सिलिकॉन वेफर्सच्या चालकतेच्या जवळ आहे, परंतु कमतरता फ्लोरिन-युक्त प्लाझ्मामध्ये खराब कोरीव प्रतिरोधक आहे, एचिंग मशीन भाग साहित्य अनेकदा ठराविक कालावधीसाठी वापरले जाते, तेथे गंभीर समस्या असतील. गंज घटना, गंभीरपणे त्याची उत्पादन कार्यक्षमता कमी.

Solid SiC फोकस रिंगकार्य तत्त्व：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

आणि आधारित फोकसिंग रिंग आणि CVD SiC फोकसिंग रिंगची तुलना:

आणि आधारित फोकसिंग रिंग आणि CVD SiC फोकसिंग रिंगची तुलना
आयटम	आणि	CVD SiC
घनता (g/cm³)	2.33	3.21
बँड गॅप (eV)	1.12	2.3
थर्मल चालकता (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
लवचिक मापांक (GPa)	150	440
कडकपणा (GPa)	11.4	24.5
पोशाख आणि गंज प्रतिकार	गरीब	उत्कृष्ट

VeTek सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उपकरणांसाठी SiC फोकसिंग रिंगसारखे प्रगत सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड (CVD सिलिकॉन कार्बाइड) भाग ऑफर करते. यांत्रिक शक्ती, रासायनिक प्रतिकार, थर्मल चालकता, उच्च-तापमान टिकाऊपणा आणि आयन एचिंग प्रतिरोधकता या बाबतीत आमची घन सिलिकॉन कार्बाइड फोकसिंग रिंग पारंपारिक सिलिकॉनला मागे टाकते.

आमच्या SiC फोकसिंग रिंग्सची प्रमुख वैशिष्ट्ये समाविष्ट आहेत:

कमी नक्षी दरांसाठी उच्च घनता.

उच्च बँडगॅपसह उत्कृष्ट इन्सुलेशन.

उच्च थर्मल चालकता आणि थर्मल विस्तार कमी गुणांक.

उत्कृष्ट यांत्रिक प्रभाव प्रतिकार आणि लवचिकता.

उच्च कडकपणा, पोशाख प्रतिकार आणि गंज प्रतिकार.

वापरून उत्पादितप्लाझ्मा-वर्धित रासायनिक वाष्प संचय (PECVD)तंत्रे, आमच्या SiC फोकसिंग रिंग्स सेमीकंडक्टर उत्पादनातील एचिंग प्रक्रियेच्या वाढत्या मागण्या पूर्ण करतात. ते विशेषतः उच्च प्लाझ्मा पॉवर आणि उर्जेचा सामना करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेतकॅपेसिटिवली कपल्ड प्लाझ्मा (सीसीपी)प्रणाली

VeTek सेमीकंडक्टरच्या SiC फोकसिंग रिंग्स सेमीकंडक्टर उपकरण निर्मितीमध्ये अपवादात्मक कामगिरी आणि विश्वासार्हता प्रदान करतात. उत्कृष्ट गुणवत्ता आणि कार्यक्षमतेसाठी आमचे SiC घटक निवडा.

View as

SiC क्रिस्टल ग्रोथ नवीन तंत्रज्ञान

रासायनिक वाष्प साठा (CVD) द्वारे तयार झालेले Vetek सेमीकंडक्टरचे अल्ट्रा-हाय प्युरिटी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) भौतिक बाष्प वाहतूक (PVT) द्वारे सिलिकॉन कार्बाइड क्रिस्टल्स वाढवण्यासाठी स्त्रोत सामग्री म्हणून वापरले जाऊ शकते. SiC क्रिस्टल ग्रोथ न्यू टेक्नॉलॉजीमध्ये, स्त्रोत सामग्री क्रुसिबलमध्ये लोड केली जाते आणि सीड क्रिस्टलवर sublimated केली जाते. टाकून दिलेल्या CVD-SiC ब्लॉक्सचा वापर SiC क्रिस्टल्स वाढवण्यासाठी स्त्रोत म्हणून सामग्रीचा पुनर्वापर करण्यासाठी करा. आमच्यासोबत भागीदारी स्थापित करण्यासाठी आपले स्वागत आहे.

पुढे वाचा चौकशी पाठवा

CVD SiC शॉवर हेड

VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील एक आघाडीचा CVD SiC शॉवर हेड निर्माता आणि नवोदित आहे. आम्ही अनेक वर्षांपासून SiC मटेरियलमध्ये विशेषीकृत आहोत. CVD SiC शॉवर हेड उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता, उच्च यांत्रिक शक्ती आणि प्रतिकारशक्ती यामुळे फोकसिंग रिंग मटेरियल म्हणून निवडले आहे. प्लाझ्मा इरोशन. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.

पुढे वाचा चौकशी पाठवा

SiC शॉवर हेड

VeTek Semiconductor हा चीनमधील एक आघाडीचा SiC शॉवर हेड निर्माता आणि नवोदित आहे. आम्ही अनेक वर्षांपासून SiC मटेरियलमध्ये विशेषीकृत आहोत. उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता, उच्च यांत्रिक शक्ती आणि प्लाझ्मा इरोशनला प्रतिकार यामुळे SiC शॉवर हेड फोकसिंग रिंग मटेरियल म्हणून निवडले जाते. .आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.

पुढे वाचा चौकशी पाठवा

सॉलिड SiC गॅस शॉवर हेड

VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील एक आघाडीचा सॉलिड SiC गॅस शॉवर हेड निर्माता आणि नवोदित आहे. आम्ही अनेक वर्षांपासून सेमीकंडक्टर मटेरियलमध्ये खास आहोत. VeTek सेमीकंडक्टर सॉलिड SiC गॅस शॉवर हेडचे मल्टी-पोरोसिटी डिझाइन हे सुनिश्चित करते की CVD प्रक्रियेत निर्माण होणारी उष्णता विखुरली जाऊ शकते. , सब्सट्रेट समान रीतीने गरम केले जाईल याची खात्री करून. आम्ही चीनमध्ये तुमच्यासोबत दीर्घकालीन सेट अप करण्यास उत्सुक आहोत.

पुढे वाचा चौकशी पाठवा

रासायनिक वाफ जमा करण्याची प्रक्रिया सॉलिड SiC एज रिंग

VeTek सेमीकंडक्टर ही चीनमधील एक आघाडीची रासायनिक वाफ डिपॉझिशन प्रोसेस सॉलिड SiC एज रिंग निर्माता आणि नवोदित आहे. आम्ही अनेक वर्षांपासून सेमीकंडक्टर मटेरियलमध्ये खास आहोत. VeTek सेमीकंडक्टर सॉलिड SiC एज रिंग सुधारित एचिंग एकसमानता आणि अचूक वेफर पोझिशनिंग ऑफर करते जेव्हा इलेक्ट्रोस्टाकसह वापरले जाते. , सुसंगत आणि विश्वासार्ह नक्षीकाम सुनिश्चित करणे परिणाम. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.

पुढे वाचा चौकशी पाठवा

सॉलिड SiC एचिंग फोकसिंग रिंग

VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील एक आघाडीचा सॉलिड SiC एचिंग फोकसिंग रिंग निर्माता आणि नवोदित आहे. आम्ही अनेक वर्षांपासून SiC मटेरियलमध्ये विशेषीकृत आहोत. उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता, उच्च यांत्रिक शक्ती आणि प्लाझ्माचा प्रतिकार यामुळे सॉलिड SiC ची फोकसिंग रिंग सामग्री म्हणून निवड केली जाते. erosion.आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्यास उत्सुक आहोत.

पुढे वाचा चौकशी पाठवा

<1 2 >

चीनमध्ये व्यावसायिक सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून, आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. तुम्हाला तुमच्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा पूर्ण करण्यासाठी सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असेल किंवा चीनमध्ये बनवलेले प्रगत आणि टिकाऊ सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड खरेदी करायचे असेल, तुम्ही आम्हाला संदेश देऊ शकता.